Способ диагностики состояния поверхности вакуумной камеры торсатрона Ураган-2М

• Published in: Физическая инженерия поверхности
• Date: 2012
• Main Authors: Глазунов, Г.П., Пашнев, В.К.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2012
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98944
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Способ диагностики состояния поверхности вакуумной камеры торсатрона Ураган-2М / Г.П. Глазунов, В.К. Пашнев // Физическая инженерия поверхности. — 2012. — Т. 10, № 2. — С. 173–176. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.

Предложен метод оперативной оценки степени загрязненности стенки вакуумной камеры
 установки Ураган-2М основанный на процессе десорбции газов в вакууме c поверхности
 образца нержавеющей стали 12Х18Н10Т при его нагреве до 250 – 300 °С. Изготовлено, откалибровано на специальном стенде, и установлено в установке У-2М устройство, позволяющее
 регистрировать малые потоки десорбирующихся газов во время импульсного нагрева образца.
 Апробация метода во время предварительной откачки У-2М в течение нескольких дней
 показала снижение уровня загрязнения поверхности (уменьшение газовыделения при нагреве
 до 250 °С) примерно в 40 раз при улучшении вакуума с 1,6⋅10⁻⁶ Торр до 6,4⋅10⁻⁷ Торр. Предполагается использовать данную методику для оценки качества различных сценариев процесса
 чистки поверхности вакуумной камеры (wall conditioning) при подготовке торсатрона Ураган-2М к плазменным экспериментам. Запропоновано метод оперативної оцінки ступеня забрудненості стінки вакуумної камери
 установки Ураган-2М заснований на процесі десорбції газів у вакуумі з поверхні зразка
 неіржавіючої сталі 12Х18Н10Т при його нагріві до 250 – 300 °С. Виготовлено, відкалібровано
 на спеціальному стенді, і встановлено в установці У-2М пристрій, що дозволяє реєструвати
 малі потоки газів, що десорбуються, під час імпульсного нагріву зразка. Апробація методу під
 час попереднього відкачування У-2М протягом декількох днів показала зниження рівня
 забруднення поверхні (зменшення газовиділення при нагріві до 250 °С) приблизно в 40 разів при
 поліпшенні вакууму з 1,6⋅10⁻⁶ Торр до 6,5⋅10⁻⁷ Торр. Передбачається використовувати дану
 методику для оцінки якості різних сценаріїв процесу чищення (wall conditioning) при підготовці
 торсатрона Ураган-2М до плазмових експериментів. The method has been suggested for operative estimation of impurity level of Uragan-2M vacuum
 chamber surfaces. It is based on the desorption process in a vacuum from the surface of stainless
 steel probe during its heating up to temperature of 250 – 300 °С. To perform the experiments the
 device was designed, manufactured and installed in the U-2M vacuum chamber, which gives possibility
 to register low flows of gases desorbed from the 12KH8N10T stainless steel sample during its pulsed
 heating. Method approbation under U-2M preliminary pumping during some days had shown decrease
 of the surface impurity level (decrease of outgassing in a vacuum at the sample heating up to 250 °C)
 in 40 times at the vacuum improvement from 1,6⋅10⁻⁶ Torr 6,5⋅10⁻⁷ Torr. It is proposed to use this
 method to estimate the quality of various scenarios of wall conditioning process under Uragan-3M
 torsatron preparing to plasma experiments.