Структурные исследования пленок оксида цинка и нитрида алюминия, полученных методами CVD и магнетронного распыления
Исследованы структурные свойства и морфология поверхности пленок оксида цинка и нитрида
 алюминия. Установлено, что пленки формируются высокотекстурированными с хорошей адгезией к подложке. В результате рентгеноструктурных исследований определено, что данные
 пленки имели преимуществ...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Физическая инженерия поверхности |
|---|---|
| Datum: | 2012 |
| Hauptverfasser: | , , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russisch |
| Veröffentlicht: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2012
|
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98945 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Структурные исследования пленок оксида цинка и нитрида алюминия, полученных методами CVD и магнетронного распыления / А.Д. Погребняк, А.К.М. Мухаммед, М.Н. Иващенко, Н.Н. Опанасюк, И.В. Суджанская // Физическая инженерия поверхности. — 2012. — Т. 10, № 2. — С. 177–182. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862725184558989312 |
|---|---|
| author | Погребняк, А.Д. Мухаммед, А.К.М. Иващенко, М.Н. Опанасюк, Н.Н. Суджанская, И.В. |
| author_facet | Погребняк, А.Д. Мухаммед, А.К.М. Иващенко, М.Н. Опанасюк, Н.Н. Суджанская, И.В. |
| citation_txt | Структурные исследования пленок оксида цинка и нитрида алюминия, полученных методами CVD и магнетронного распыления / А.Д. Погребняк, А.К.М. Мухаммед, М.Н. Иващенко, Н.Н. Опанасюк, И.В. Суджанская // Физическая инженерия поверхности. — 2012. — Т. 10, № 2. — С. 177–182. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Физическая инженерия поверхности |
| description | Исследованы структурные свойства и морфология поверхности пленок оксида цинка и нитрида
алюминия. Установлено, что пленки формируются высокотекстурированными с хорошей адгезией к подложке. В результате рентгеноструктурных исследований определено, что данные
пленки имели преимущественную текстуру роста (002). Также проведены экспериментальные
исследования частотно-емкостной зависимости.
Досліджені структурні властивості плівок оксиду цинку та нітриду алюмінію, їх морфологія
поверхні. За результатами досліджень встановлено, що плівки формуються високотекстурованими з хорошою адгезією до підкладки. У результаті рентгеноструктурних досліджень визначено,
що дані плівки мали переважну текстуру росту (002). Також проведені експериментальні дослідження частотно-ємнісноїзалежності.
Were investigated structural properties of zinc oxide and aluminium nitride films, their surface morphology.
As a result of investigations it was estimated that films were high-textured and had a well adhesion
to substrate. As a result of X-ray investigations it was determined that these films had a preference
texture as (002). There are also carried out experimental investigations of such characteristics,
as frequency-capacity dependence.
|
| first_indexed | 2025-12-07T18:50:51Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-98945 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1999-8074 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T18:50:51Z |
| publishDate | 2012 |
| publisher | Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Погребняк, А.Д. Мухаммед, А.К.М. Иващенко, М.Н. Опанасюк, Н.Н. Суджанская, И.В. 2016-04-19T15:38:28Z 2016-04-19T15:38:28Z 2012 Структурные исследования пленок оксида цинка и нитрида алюминия, полученных методами CVD и магнетронного распыления / А.Д. Погребняк, А.К.М. Мухаммед, М.Н. Иващенко, Н.Н. Опанасюк, И.В. Суджанская // Физическая инженерия поверхности. — 2012. — Т. 10, № 2. — С. 177–182. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. 1999-8074 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98945 538.975 (043.3) Исследованы структурные свойства и морфология поверхности пленок оксида цинка и нитрида
 алюминия. Установлено, что пленки формируются высокотекстурированными с хорошей адгезией к подложке. В результате рентгеноструктурных исследований определено, что данные
 пленки имели преимущественную текстуру роста (002). Также проведены экспериментальные
 исследования частотно-емкостной зависимости. Досліджені структурні властивості плівок оксиду цинку та нітриду алюмінію, їх морфологія
 поверхні. За результатами досліджень встановлено, що плівки формуються високотекстурованими з хорошою адгезією до підкладки. У результаті рентгеноструктурних досліджень визначено,
 що дані плівки мали переважну текстуру росту (002). Також проведені експериментальні дослідження частотно-ємнісноїзалежності. Were investigated structural properties of zinc oxide and aluminium nitride films, their surface morphology.
 As a result of investigations it was estimated that films were high-textured and had a well adhesion
 to substrate. As a result of X-ray investigations it was determined that these films had a preference
 texture as (002). There are also carried out experimental investigations of such characteristics,
 as frequency-capacity dependence. ru Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України Физическая инженерия поверхности Структурные исследования пленок оксида цинка и нитрида алюминия, полученных методами CVD и магнетронного распыления Article published earlier |
| spellingShingle | Структурные исследования пленок оксида цинка и нитрида алюминия, полученных методами CVD и магнетронного распыления Погребняк, А.Д. Мухаммед, А.К.М. Иващенко, М.Н. Опанасюк, Н.Н. Суджанская, И.В. |
| title | Структурные исследования пленок оксида цинка и нитрида алюминия, полученных методами CVD и магнетронного распыления |
| title_full | Структурные исследования пленок оксида цинка и нитрида алюминия, полученных методами CVD и магнетронного распыления |
| title_fullStr | Структурные исследования пленок оксида цинка и нитрида алюминия, полученных методами CVD и магнетронного распыления |
| title_full_unstemmed | Структурные исследования пленок оксида цинка и нитрида алюминия, полученных методами CVD и магнетронного распыления |
| title_short | Структурные исследования пленок оксида цинка и нитрида алюминия, полученных методами CVD и магнетронного распыления |
| title_sort | структурные исследования пленок оксида цинка и нитрида алюминия, полученных методами cvd и магнетронного распыления |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98945 |
| work_keys_str_mv | AT pogrebnâkad strukturnyeissledovaniâplenokoksidacinkainitridaalûminiâpolučennyhmetodamicvdimagnetronnogoraspyleniâ AT muhammedakm strukturnyeissledovaniâplenokoksidacinkainitridaalûminiâpolučennyhmetodamicvdimagnetronnogoraspyleniâ AT ivaŝenkomn strukturnyeissledovaniâplenokoksidacinkainitridaalûminiâpolučennyhmetodamicvdimagnetronnogoraspyleniâ AT opanasûknn strukturnyeissledovaniâplenokoksidacinkainitridaalûminiâpolučennyhmetodamicvdimagnetronnogoraspyleniâ AT sudžanskaâiv strukturnyeissledovaniâplenokoksidacinkainitridaalûminiâpolučennyhmetodamicvdimagnetronnogoraspyleniâ |