Структурные исследования пленок оксида цинка и нитрида алюминия, полученных методами CVD и магнетронного распыления
Исследованы структурные свойства и морфология поверхности пленок оксида цинка и нитрида алюминия. Установлено, что пленки формируются высокотекстурированными с хорошей адгезией к подложке. В результате рентгеноструктурных исследований определено, что данные пленки имели преимущественную текстуру р...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Физическая инженерия поверхности |
|---|---|
| Дата: | 2012 |
| Автори: | , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2012
|
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98945 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Структурные исследования пленок оксида цинка и нитрида алюминия, полученных методами CVD и магнетронного распыления / А.Д. Погребняк, А.К.М. Мухаммед, М.Н. Иващенко, Н.Н. Опанасюк, И.В. Суджанская // Физическая инженерия поверхности. — 2012. — Т. 10, № 2. — С. 177–182. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-98945 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Погребняк, А.Д. Мухаммед, А.К.М. Иващенко, М.Н. Опанасюк, Н.Н. Суджанская, И.В. 2016-04-19T15:38:28Z 2016-04-19T15:38:28Z 2012 Структурные исследования пленок оксида цинка и нитрида алюминия, полученных методами CVD и магнетронного распыления / А.Д. Погребняк, А.К.М. Мухаммед, М.Н. Иващенко, Н.Н. Опанасюк, И.В. Суджанская // Физическая инженерия поверхности. — 2012. — Т. 10, № 2. — С. 177–182. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. 1999-8074 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98945 538.975 (043.3) Исследованы структурные свойства и морфология поверхности пленок оксида цинка и нитрида алюминия. Установлено, что пленки формируются высокотекстурированными с хорошей адгезией к подложке. В результате рентгеноструктурных исследований определено, что данные пленки имели преимущественную текстуру роста (002). Также проведены экспериментальные исследования частотно-емкостной зависимости. Досліджені структурні властивості плівок оксиду цинку та нітриду алюмінію, їх морфологія поверхні. За результатами досліджень встановлено, що плівки формуються високотекстурованими з хорошою адгезією до підкладки. У результаті рентгеноструктурних досліджень визначено, що дані плівки мали переважну текстуру росту (002). Також проведені експериментальні дослідження частотно-ємнісноїзалежності. Were investigated structural properties of zinc oxide and aluminium nitride films, their surface morphology. As a result of investigations it was estimated that films were high-textured and had a well adhesion to substrate. As a result of X-ray investigations it was determined that these films had a preference texture as (002). There are also carried out experimental investigations of such characteristics, as frequency-capacity dependence. ru Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України Физическая инженерия поверхности Структурные исследования пленок оксида цинка и нитрида алюминия, полученных методами CVD и магнетронного распыления Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Структурные исследования пленок оксида цинка и нитрида алюминия, полученных методами CVD и магнетронного распыления |
| spellingShingle |
Структурные исследования пленок оксида цинка и нитрида алюминия, полученных методами CVD и магнетронного распыления Погребняк, А.Д. Мухаммед, А.К.М. Иващенко, М.Н. Опанасюк, Н.Н. Суджанская, И.В. |
| title_short |
Структурные исследования пленок оксида цинка и нитрида алюминия, полученных методами CVD и магнетронного распыления |
| title_full |
Структурные исследования пленок оксида цинка и нитрида алюминия, полученных методами CVD и магнетронного распыления |
| title_fullStr |
Структурные исследования пленок оксида цинка и нитрида алюминия, полученных методами CVD и магнетронного распыления |
| title_full_unstemmed |
Структурные исследования пленок оксида цинка и нитрида алюминия, полученных методами CVD и магнетронного распыления |
| title_sort |
структурные исследования пленок оксида цинка и нитрида алюминия, полученных методами cvd и магнетронного распыления |
| author |
Погребняк, А.Д. Мухаммед, А.К.М. Иващенко, М.Н. Опанасюк, Н.Н. Суджанская, И.В. |
| author_facet |
Погребняк, А.Д. Мухаммед, А.К.М. Иващенко, М.Н. Опанасюк, Н.Н. Суджанская, И.В. |
| publishDate |
2012 |
| language |
Russian |
| container_title |
Физическая инженерия поверхности |
| publisher |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| format |
Article |
| description |
Исследованы структурные свойства и морфология поверхности пленок оксида цинка и нитрида
алюминия. Установлено, что пленки формируются высокотекстурированными с хорошей адгезией к подложке. В результате рентгеноструктурных исследований определено, что данные
пленки имели преимущественную текстуру роста (002). Также проведены экспериментальные
исследования частотно-емкостной зависимости.
Досліджені структурні властивості плівок оксиду цинку та нітриду алюмінію, їх морфологія
поверхні. За результатами досліджень встановлено, що плівки формуються високотекстурованими з хорошою адгезією до підкладки. У результаті рентгеноструктурних досліджень визначено,
що дані плівки мали переважну текстуру росту (002). Також проведені експериментальні дослідження частотно-ємнісноїзалежності.
Were investigated structural properties of zinc oxide and aluminium nitride films, their surface morphology.
As a result of investigations it was estimated that films were high-textured and had a well adhesion
to substrate. As a result of X-ray investigations it was determined that these films had a preference
texture as (002). There are also carried out experimental investigations of such characteristics,
as frequency-capacity dependence.
|
| issn |
1999-8074 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98945 |
| citation_txt |
Структурные исследования пленок оксида цинка и нитрида алюминия, полученных методами CVD и магнетронного распыления / А.Д. Погребняк, А.К.М. Мухаммед, М.Н. Иващенко, Н.Н. Опанасюк, И.В. Суджанская // Физическая инженерия поверхности. — 2012. — Т. 10, № 2. — С. 177–182. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT pogrebnâkad strukturnyeissledovaniâplenokoksidacinkainitridaalûminiâpolučennyhmetodamicvdimagnetronnogoraspyleniâ AT muhammedakm strukturnyeissledovaniâplenokoksidacinkainitridaalûminiâpolučennyhmetodamicvdimagnetronnogoraspyleniâ AT ivaŝenkomn strukturnyeissledovaniâplenokoksidacinkainitridaalûminiâpolučennyhmetodamicvdimagnetronnogoraspyleniâ AT opanasûknn strukturnyeissledovaniâplenokoksidacinkainitridaalûminiâpolučennyhmetodamicvdimagnetronnogoraspyleniâ AT sudžanskaâiv strukturnyeissledovaniâplenokoksidacinkainitridaalûminiâpolučennyhmetodamicvdimagnetronnogoraspyleniâ |
| first_indexed |
2025-12-07T18:50:51Z |
| last_indexed |
2025-12-07T18:50:51Z |
| _version_ |
1850876573916332032 |