Структурные исследования пленок оксида цинка и нитрида алюминия, полученных методами CVD и магнетронного распыления - Погребняк, А.Д.; Мухаммед, А.К.М.; Иващенко, М.Н.; Опанасюк, Н.Н.; Суджанская, И.В. (Физическая инженерия поверхности, 2012)
Исследованы структурные свойства и морфология поверхности пленок оксида цинка и нитрида
алюминия. Установлено, что пленки формируются высокотекстурированными с хорошей адгезией к подложке. В результате рентгеноструктурных исследований определено, что данные
пленки имели преимущественную текстуру роста (002). Также проведены экспериментальные
исследования частотно-емкостной зависимости. Досліджені структурні властивості плівок оксиду цинку та нітриду алюмінію, їх морфологія
поверхні. За результатами досліджень встановлено, що плівки формуються високотекстурованими з хорошою адгезією до підкладки. У результаті рентгеноструктурних досліджень визначено,
що дані плівки мали переважну текстуру росту (002). Також проведені експериментальні дослідження частотно-ємнісноїзалежності. Were investigated structural properties of zinc oxide and aluminium nitride films, their surface morphology.
As a result of investigations it was estimated that films were high-textured and had a well adhesion
to substrate. As a result of X-ray investigations it was determined that these films had a preference
texture as (002). There are also carried out experimental investigations of such characteristics,
as frequency-capacity dependence.