Зображення обкладинки

Структурные исследования пленок оксида цинка и нитрида алюминия, полученных методами CVD и магнетронного распыления

Исследованы структурные свойства и морфология поверхности пленок оксида цинка и нитрида алюминия. Установлено, что пленки формируются высокотекстурированными с хорошей адгезией к подложке. В результате рентгеноструктурных исследований определено, что данные пленки имели преимуществ...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :	Физическая инженерия поверхности
Дата:	2012
Автори:	Погребняк, А.Д., Мухаммед, А.К.М., Иващенко, М.Н., Опанасюк, Н.Н., Суджанская, И.В.
Формат:	Стаття
Мова:	Російська
Опубліковано:	Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2012
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98945
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Структурные исследования пленок оксида цинка и нитрида алюминия, полученных методами CVD и магнетронного распыления / А.Д. Погребняк, А.К.М. Мухаммед, М.Н. Иващенко, Н.Н. Опанасюк, И.В. Суджанская // Физическая инженерия поверхности. — 2012. — Т. 10, № 2. — С. 177–182. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Электрические и оптические свойства пленок ITO, полученных методом магнетронного распыления
за авторством: Юрченко, Г.В.
Опубліковано: (2000)

Низкотемпературный синтез и структура гибридных наноматериалов Ni@C, полученных методом реактивного магнетронного распыления
за авторством: Мохненко, М.И., та інші
Опубліковано: (2015)

Исследование микротопографии поверхности плёнок Al₂O₃, полученных методом магнетронного распыления при низком давлении
за авторством: Тесленко-Пономаренко, В.В.
Опубліковано: (2003)

Получение и исследование нанотрубок оксида цинка
за авторством: Горбик, П.П., та інші
Опубліковано: (2016)

Синтез наноструктур из кристаллического оксида цинка
за авторством: Горбик, П.П., та інші
Опубліковано: (2010)

Свойства металлических контактов на пленках TiO₂, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления
за авторством: Брус, В.В., та інші
Опубліковано: (2010)

Оптоэлектронные сенсорные структуры на основе пленок пористого оксида алюминия, полученных импульсным лазерным осаждением
за авторством: Ушенин, Ю.В., та інші
Опубліковано: (2012)

Кластерные модели γ-оксида алюминия
за авторством: Гунько, В.М., та інші
Опубліковано: (1984)

Особенности люминесценции наноструктурного оксида алюминия
за авторством: Кортов, В.С., та інші
Опубліковано: (2011)

Кинетика взаимодействия оксида алюминия с гидроксидом натрия
за авторством: Скриптун, И.Н.
Опубліковано: (2000)

Формирование высокодисперсного состояния в плазменно-детонационном покрытии из оксида алюминия
за авторством: Погребняк, А.Д., та інші
Опубліковано: (2006)

Влияние режима магнетронного распыления и состава реакционного газа на структуру и свойства пленок ITO
за авторством: Бажин, А.И., та інші
Опубліковано: (2012)

Низкополевая электронная эмиссия с квантоворазмерных структур оксида цинка
за авторством: Горбик, П.П., та інші
Опубліковано: (2006)

Свойства металлических контактов на пленках TiO2, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления
за авторством: Brus, V. V., та інші
Опубліковано: (2010)

Свойства металлических контактов на пленках TiO2, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления
за авторством: Khoverko, Yu. N.
Опубліковано: (2010)

Свойства покрытий из высокоэнтропийного сплава Al–Cr–Fe–Co–Ni–Cu–V, получаемых методом магнетронного распыления
за авторством: Шагинян, Л.Р., та інші
Опубліковано: (2016)

Фазовые превращения в композитах на основе пирогенного оксида алюминия, смешанных оксидов алюминия и кремния и оксида меди
за авторством: Оранская, Е.И.
Опубліковано: (2011)

Эволюция структуры пленок Мо, полученных методом магнетронного распылении на a-Si
за авторством: Севрюкова, В.А., та інші
Опубліковано: (2011)

Структура, фазовый состав и модель роста аморфных многослойных рентгеновских зеркал W-Si, изготовленных методом магнетронного распыления
за авторством: Першин, Ю.П., та інші
Опубліковано: (2016)

Исследование процессов диспергирования оксида алюминия в среде полиорганосилоксана
за авторством: Пащенко, А.А., та інші
Опубліковано: (1983)

Влияние этиленгликоля на морфологию оксида цинка, получаемого из лимоннокислых растворов
за авторством: Романова, И.В.
Опубліковано: (2010)

Использование комплексно-легированных порошков, полученных методом термоцентробежного распыления, в порошковых проволоках
за авторством: Жудра, А.П., та інші
Опубліковано: (2014)

Изучение теплопроводности композиционных материалов на основе алмаза, кубического нитрида бора, карбида вольфрама и нитрида алюминия
за авторством: Осипов, А.С., та інші
Опубліковано: (2010)

Карбидовольфрамовый твердый сплав с добавками оксида алюминия и циркония
за авторством: Ильющенко, А.Ф., та інші
Опубліковано: (2010)

Кластерно-ассоциатная модель температурной зависимости динамической вязкости оксида алюминия
за авторством: Малышев, В.П., та інші
Опубліковано: (2016)

Свойства нитрида алюминия как защитного покрытия на биоинженерных материалах
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2005)

Свойства твердых растворов, легированных пленок и нанокомпозитных систем на основе оксида цинка
за авторством: Лашкарев, Г.В., та інші
Опубліковано: (2015)

Влияние высоких давлений и температур на микроструктуру и свойства нитрида алюминия
за авторством: Урбанович, В.С., та інші
Опубліковано: (2015)

Исследование свойств пленок нитрида и оксида кремния, полученных методом плазмохимического осаждения на кремниевую подложку
за авторством: Rubtsevich, I. I., та інші
Опубліковано: (2011)

Структурные переходы ГЦК—икосаэдр в нанокластерах алюминия и свинца
за авторством: Байдышев, В.С., та інші
Опубліковано: (2014)

Параметры оптически стимулированной люминесценции в нанопорошках на основе нитрида алюминия
за авторством: Вохминцев, А.С., та інші
Опубліковано: (2011)

Полевые эмиссионные катоды на основе пористого анодного оксида алюминия и углеродных нанотрубок
за авторством: Соловей, Д.В., та інші
Опубліковано: (2011)

Получение материалов из нанопорошков оксида алюминия с применением современных методов консолидации
за авторством: Кислый, П.С., та інші
Опубліковано: (2010)

Поглотители СВЧ-энергии на основе нитрида алюминия с высоким уровнем поглощения
за авторством: Chasnyk, V. I.
Опубліковано: (2014)

Применение высокотеплопроводной керамики из нитрида алюминия в вакуумных электронных приборах СВЧ
за авторством: Chasnyk, V. I.
Опубліковано: (2013)

Применение высокотеплопроводной керамики из нитрида алюминия в вакуумных электронных приборах СВЧ
за авторством: Часнык, В.И.
Опубліковано: (2013)

Поглотители СВЧ-энергии на основе нитрида алюминия с высоким уровнем поглощения
за авторством: Часнык В.И.
Опубліковано: (2014)

Взаимодействие наноструктурного оксида алюминия с силикатной матрицей Al₂O₃–SiO₂–MgO
за авторством: Ульянова, Т.М., та інші
Опубліковано: (2008)

Изучение свойств пленок сплава Si-Ge на пучке протонов, полученных методом CVD
за авторством: Ковальчук, И.К., та інші
Опубліковано: (2007)

Исследование влияния параметров инжекционного литья на физико-механические свойства керамики на основе нитрида алюминия
за авторством: Ивженко, В.В., та інші
Опубліковано: (2008)