Структурные исследования пленок оксида цинка и нитрида алюминия, полученных методами CVD и магнетронного распыления
Исследованы структурные свойства и морфология поверхности пленок оксида цинка и нитрида алюминия. Установлено, что пленки формируются высокотекстурированными с хорошей адгезией к подложке. В результате рентгеноструктурных исследований определено, что данные пленки имели преимущественную текстуру р...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Физическая инженерия поверхности |
|---|---|
| Дата: | 2012 |
| Автори: | , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2012
|
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98945 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Структурные исследования пленок оксида цинка и нитрида алюминия, полученных методами CVD и магнетронного распыления / А.Д. Погребняк, А.К.М. Мухаммед, М.Н. Иващенко, Н.Н. Опанасюк, И.В. Суджанская // Физическая инженерия поверхности. — 2012. — Т. 10, № 2. — С. 177–182. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. |