Синтез алмаза в СВЧ плазме: оборудование, пленки, применение
Выполнен краткий обзор развития работ по синтезу алмазных покрытий из плазмы газового разряда в СВЧ устройствах (метод MW CVD – microwave plasma chemical vapor deposition). Рассмотрены существующие СВЧ устройства для алмазного синтеза, а также методы компьютерного моделирования новых устройств и п...
Saved in:
| Published in: | Физическая инженерия поверхности |
|---|---|
| Date: | 2013 |
| Main Authors: | , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2013
|
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/99268 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Синтез алмаза в СВЧ плазме: оборудование, пленки, применение / Ю.Я. Волков, В.Е. Стрельницкий, В.А. Ушаков // Физическая инженерия поверхности. — 2013. — Т. 11, № 1. — С. 26–45. — Бібліогр.: 35 назв. — рос. |