Получение высококачественных алмазных покрытий методами активированного газофазного осаждения

• Published in: Физическая инженерия поверхности
• Date: 2013
• Main Authors: Грицына, В.И., Дудник, С.Ф., Кошевой, К.И., Опалев, О.А., Стрельницкий, В.Е.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2013
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/99810
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Получение высококачественных алмазных покрытий методами активированного газофазного осаждения / В.И. Грицына, С.Ф. Дудник, К.И. Кошевой, О.А. Опалев, В.Е. Стрельницкий // Физическая инженерия поверхности. — 2013. — Т. 11, № 1. — С. 63–77. — Бібліогр.: 26 назв. — рос.

Проведен литературный обзор некоторых особенностей и общих закономерностей процесса получения алмазных покрытий химическим газофазным осаждением. Приведены теоретические и экспериментальные результаты исследований, посвященные вопросу получения высококачественных алмазных покрытий с большими скоростями роста. На основании анализа приведенных данных определены наиболее перспективные направления дальнейших исследований при разработке процессов производства высококачественных алмазных материалов. Проведено літературний огляд деяких особливостей та загальних закономірностей процесу отримання алмазних покриттів хімічним газофазним осадженням. Наведено теоретичні й експериментальні результати досліджень, що присвячені питанню отримання високоякісних алмазних покриттів з великою швидкістю росту. На підставі аналізу наведених даних визначені найбільш перспективні напрямки подальших досліджень при розробці процесів виробництва високоякісних алмазних матеріалів. Literature review of some features and common mechanism of processes of diamond coatings synthesis by a chemical vapor deposition have been presented. Theoretical and experimental results of study of high-quality diamond coatings synthesis with high deposition growth rates have been given. On the basis of the analysis of the given data the most perspective directions of further developments of technology of industrial production of high-quality diamond materials are determined.