Получение высококачественных алмазных покрытий методами активированного газофазного осаждения

Получение высококачественных алмазных покрытий методами активированного газофазного осаждения

Проведен литературный обзор некоторых особенностей и общих закономерностей процесса получения алмазных покрытий химическим газофазным осаждением. Приведены теоретические и экспериментальные результаты исследований, посвященные вопросу получения высококачественных алмазных покрытий с большими скорос...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :Физическая инженерия поверхности
Дата:2013
Автори: Грицына, В.И., Дудник, С.Ф., Кошевой, К.И., Опалев, О.А., Стрельницкий, В.Е.
Формат: Стаття
Мова:Russian
Опубліковано: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2013
Онлайн доступ:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/99810
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Получение высококачественных алмазных покрытий методами активированного газофазного осаждения / В.И. Грицына, С.Ф. Дудник, К.И. Кошевой, О.А. Опалев, В.Е. Стрельницкий // Физическая инженерия поверхности. — 2013. — Т. 11, № 1. — С. 63–77. — Бібліогр.: 26 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-99810
record_format dspace
spelling Грицына, В.И.
Дудник, С.Ф.
Кошевой, К.И.
Опалев, О.А.
Стрельницкий, В.Е.
2016-05-03T14:53:47Z
2016-05-03T14:53:47Z
2013
Получение высококачественных алмазных покрытий методами активированного газофазного осаждения / В.И. Грицына, С.Ф. Дудник, К.И. Кошевой, О.А. Опалев, В.Е. Стрельницкий // Физическая инженерия поверхности. — 2013. — Т. 11, № 1. — С. 63–77. — Бібліогр.: 26 назв. — рос.
1999-8074
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/99810
537.534.2:679.826
Проведен литературный обзор некоторых особенностей и общих закономерностей процесса получения алмазных покрытий химическим газофазным осаждением. Приведены теоретические и экспериментальные результаты исследований, посвященные вопросу получения высококачественных алмазных покрытий с большими скоростями роста. На основании анализа приведенных данных определены наиболее перспективные направления дальнейших исследований при разработке процессов производства высококачественных алмазных материалов.
Проведено літературний огляд деяких особливостей та загальних закономірностей процесу отримання алмазних покриттів хімічним газофазним осадженням. Наведено теоретичні й експериментальні результати досліджень, що присвячені питанню отримання високоякісних алмазних покриттів з великою швидкістю росту. На підставі аналізу наведених даних визначені найбільш перспективні напрямки подальших досліджень при розробці процесів виробництва високоякісних алмазних матеріалів.
Literature review of some features and common mechanism of processes of diamond coatings synthesis by a chemical vapor deposition have been presented. Theoretical and experimental results of study of high-quality diamond coatings synthesis with high deposition growth rates have been given. On the basis of the analysis of the given data the most perspective directions of further developments of technology of industrial production of high-quality diamond materials are determined.
ru
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
Физическая инженерия поверхности
Получение высококачественных алмазных покрытий методами активированного газофазного осаждения
Отримання високоякісних алмазних покриттів методами активованого газофазного осадження
Synthesis of high-quality diamond coatings by methods of activated chemical vapor deposition
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Получение высококачественных алмазных покрытий методами активированного газофазного осаждения
spellingShingle Получение высококачественных алмазных покрытий методами активированного газофазного осаждения
Грицына, В.И.
Дудник, С.Ф.
Кошевой, К.И.
Опалев, О.А.
Стрельницкий, В.Е.
title_short Получение высококачественных алмазных покрытий методами активированного газофазного осаждения
title_full Получение высококачественных алмазных покрытий методами активированного газофазного осаждения
title_fullStr Получение высококачественных алмазных покрытий методами активированного газофазного осаждения
title_full_unstemmed Получение высококачественных алмазных покрытий методами активированного газофазного осаждения
title_sort получение высококачественных алмазных покрытий методами активированного газофазного осаждения
author Грицына, В.И.
Дудник, С.Ф.
Кошевой, К.И.
Опалев, О.А.
Стрельницкий, В.Е.
author_facet Грицына, В.И.
Дудник, С.Ф.
Кошевой, К.И.
Опалев, О.А.
Стрельницкий, В.Е.
publishDate 2013
language Russian
container_title Физическая инженерия поверхности
publisher Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
format Article
title_alt Отримання високоякісних алмазних покриттів методами активованого газофазного осадження
Synthesis of high-quality diamond coatings by methods of activated chemical vapor deposition
description Проведен литературный обзор некоторых особенностей и общих закономерностей процесса получения алмазных покрытий химическим газофазным осаждением. Приведены теоретические и экспериментальные результаты исследований, посвященные вопросу получения высококачественных алмазных покрытий с большими скоростями роста. На основании анализа приведенных данных определены наиболее перспективные направления дальнейших исследований при разработке процессов производства высококачественных алмазных материалов. Проведено літературний огляд деяких особливостей та загальних закономірностей процесу отримання алмазних покриттів хімічним газофазним осадженням. Наведено теоретичні й експериментальні результати досліджень, що присвячені питанню отримання високоякісних алмазних покриттів з великою швидкістю росту. На підставі аналізу наведених даних визначені найбільш перспективні напрямки подальших досліджень при розробці процесів виробництва високоякісних алмазних матеріалів. Literature review of some features and common mechanism of processes of diamond coatings synthesis by a chemical vapor deposition have been presented. Theoretical and experimental results of study of high-quality diamond coatings synthesis with high deposition growth rates have been given. On the basis of the analysis of the given data the most perspective directions of further developments of technology of industrial production of high-quality diamond materials are determined.
issn 1999-8074
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/99810
citation_txt Получение высококачественных алмазных покрытий методами активированного газофазного осаждения / В.И. Грицына, С.Ф. Дудник, К.И. Кошевой, О.А. Опалев, В.Е. Стрельницкий // Физическая инженерия поверхности. — 2013. — Т. 11, № 1. — С. 63–77. — Бібліогр.: 26 назв. — рос.
work_keys_str_mv AT gricynavi polučenievysokokačestvennyhalmaznyhpokrytiimetodamiaktivirovannogogazofaznogoosaždeniâ
AT dudniksf polučenievysokokačestvennyhalmaznyhpokrytiimetodamiaktivirovannogogazofaznogoosaždeniâ
AT koševoiki polučenievysokokačestvennyhalmaznyhpokrytiimetodamiaktivirovannogogazofaznogoosaždeniâ
AT opalevoa polučenievysokokačestvennyhalmaznyhpokrytiimetodamiaktivirovannogogazofaznogoosaždeniâ
AT strelʹnickiive polučenievysokokačestvennyhalmaznyhpokrytiimetodamiaktivirovannogogazofaznogoosaždeniâ
AT gricynavi otrimannâvisokoâkísnihalmaznihpokrittívmetodamiaktivovanogogazofaznogoosadžennâ
AT dudniksf otrimannâvisokoâkísnihalmaznihpokrittívmetodamiaktivovanogogazofaznogoosadžennâ
AT koševoiki otrimannâvisokoâkísnihalmaznihpokrittívmetodamiaktivovanogogazofaznogoosadžennâ
AT opalevoa otrimannâvisokoâkísnihalmaznihpokrittívmetodamiaktivovanogogazofaznogoosadžennâ
AT strelʹnickiive otrimannâvisokoâkísnihalmaznihpokrittívmetodamiaktivovanogogazofaznogoosadžennâ
AT gricynavi synthesisofhighqualitydiamondcoatingsbymethodsofactivatedchemicalvapordeposition
AT dudniksf synthesisofhighqualitydiamondcoatingsbymethodsofactivatedchemicalvapordeposition
AT koševoiki synthesisofhighqualitydiamondcoatingsbymethodsofactivatedchemicalvapordeposition
AT opalevoa synthesisofhighqualitydiamondcoatingsbymethodsofactivatedchemicalvapordeposition
AT strelʹnickiive synthesisofhighqualitydiamondcoatingsbymethodsofactivatedchemicalvapordeposition
first_indexed 2025-12-01T09:19:14Z
last_indexed 2025-12-01T09:19:14Z
_version_ 1850859789333037057

Схожі ресурси