Получение высококачественных алмазных покрытий методами активированного газофазного осаждения
Проведен литературный обзор некоторых особенностей и общих закономерностей процесса
 получения алмазных покрытий химическим газофазным осаждением. Приведены теоретические и экспериментальные результаты исследований, посвященные вопросу получения высококачественных алмазных покрытий с большим...
Saved in:
| Published in: | Физическая инженерия поверхности |
|---|---|
| Date: | 2013 |
| Main Authors: | , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2013
|
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/99810 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Получение высококачественных алмазных покрытий методами активированного газофазного осаждения / В.И. Грицына, С.Ф. Дудник, К.И. Кошевой, О.А. Опалев, В.Е. Стрельницкий // Физическая инженерия поверхности. — 2013. — Т. 11, № 1. — С. 63–77. — Бібліогр.: 26 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862644482672951296 |
|---|---|
| author | Грицына, В.И. Дудник, С.Ф. Кошевой, К.И. Опалев, О.А. Стрельницкий, В.Е. |
| author_facet | Грицына, В.И. Дудник, С.Ф. Кошевой, К.И. Опалев, О.А. Стрельницкий, В.Е. |
| citation_txt | Получение высококачественных алмазных покрытий методами активированного газофазного осаждения / В.И. Грицына, С.Ф. Дудник, К.И. Кошевой, О.А. Опалев, В.Е. Стрельницкий // Физическая инженерия поверхности. — 2013. — Т. 11, № 1. — С. 63–77. — Бібліогр.: 26 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Физическая инженерия поверхности |
| description | Проведен литературный обзор некоторых особенностей и общих закономерностей процесса
получения алмазных покрытий химическим газофазным осаждением. Приведены теоретические и экспериментальные результаты исследований, посвященные вопросу получения высококачественных алмазных покрытий с большими скоростями роста. На основании анализа
приведенных данных определены наиболее перспективные направления дальнейших исследований при разработке процессов производства высококачественных алмазных материалов.
Проведено літературний огляд деяких особливостей та загальних закономірностей процесу
отримання алмазних покриттів хімічним газофазним осадженням. Наведено теоретичні й
експериментальні результати досліджень, що присвячені питанню отримання високоякісних
алмазних покриттів з великою швидкістю росту. На підставі аналізу наведених даних визначені
найбільш перспективні напрямки подальших досліджень при розробці процесів виробництва
високоякісних алмазних матеріалів.
Literature review of some features and common mechanism of processes of diamond coatings synthesis
by a chemical vapor deposition have been presented. Theoretical and experimental results of study of
high-quality diamond coatings synthesis with high deposition growth rates have been given. On the
basis of the analysis of the given data the most perspective directions of further developments of
technology of industrial production of high-quality diamond materials are determined.
|
| first_indexed | 2025-12-01T09:19:14Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-99810 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1999-8074 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-01T09:19:14Z |
| publishDate | 2013 |
| publisher | Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Грицына, В.И. Дудник, С.Ф. Кошевой, К.И. Опалев, О.А. Стрельницкий, В.Е. 2016-05-03T14:53:47Z 2016-05-03T14:53:47Z 2013 Получение высококачественных алмазных покрытий методами активированного газофазного осаждения / В.И. Грицына, С.Ф. Дудник, К.И. Кошевой, О.А. Опалев, В.Е. Стрельницкий // Физическая инженерия поверхности. — 2013. — Т. 11, № 1. — С. 63–77. — Бібліогр.: 26 назв. — рос. 1999-8074 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/99810 537.534.2:679.826 Проведен литературный обзор некоторых особенностей и общих закономерностей процесса
 получения алмазных покрытий химическим газофазным осаждением. Приведены теоретические и экспериментальные результаты исследований, посвященные вопросу получения высококачественных алмазных покрытий с большими скоростями роста. На основании анализа
 приведенных данных определены наиболее перспективные направления дальнейших исследований при разработке процессов производства высококачественных алмазных материалов. Проведено літературний огляд деяких особливостей та загальних закономірностей процесу
 отримання алмазних покриттів хімічним газофазним осадженням. Наведено теоретичні й
 експериментальні результати досліджень, що присвячені питанню отримання високоякісних
 алмазних покриттів з великою швидкістю росту. На підставі аналізу наведених даних визначені
 найбільш перспективні напрямки подальших досліджень при розробці процесів виробництва
 високоякісних алмазних матеріалів. Literature review of some features and common mechanism of processes of diamond coatings synthesis
 by a chemical vapor deposition have been presented. Theoretical and experimental results of study of
 high-quality diamond coatings synthesis with high deposition growth rates have been given. On the
 basis of the analysis of the given data the most perspective directions of further developments of
 technology of industrial production of high-quality diamond materials are determined. ru Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України Физическая инженерия поверхности Получение высококачественных алмазных покрытий методами активированного газофазного осаждения Отримання високоякісних алмазних покриттів методами активованого газофазного осадження Synthesis of high-quality diamond coatings by methods of activated chemical vapor deposition Article published earlier |
| spellingShingle | Получение высококачественных алмазных покрытий методами активированного газофазного осаждения Грицына, В.И. Дудник, С.Ф. Кошевой, К.И. Опалев, О.А. Стрельницкий, В.Е. |
| title | Получение высококачественных алмазных покрытий методами активированного газофазного осаждения |
| title_alt | Отримання високоякісних алмазних покриттів методами активованого газофазного осадження Synthesis of high-quality diamond coatings by methods of activated chemical vapor deposition |
| title_full | Получение высококачественных алмазных покрытий методами активированного газофазного осаждения |
| title_fullStr | Получение высококачественных алмазных покрытий методами активированного газофазного осаждения |
| title_full_unstemmed | Получение высококачественных алмазных покрытий методами активированного газофазного осаждения |
| title_short | Получение высококачественных алмазных покрытий методами активированного газофазного осаждения |
| title_sort | получение высококачественных алмазных покрытий методами активированного газофазного осаждения |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/99810 |
| work_keys_str_mv | AT gricynavi polučenievysokokačestvennyhalmaznyhpokrytiimetodamiaktivirovannogogazofaznogoosaždeniâ AT dudniksf polučenievysokokačestvennyhalmaznyhpokrytiimetodamiaktivirovannogogazofaznogoosaždeniâ AT koševoiki polučenievysokokačestvennyhalmaznyhpokrytiimetodamiaktivirovannogogazofaznogoosaždeniâ AT opalevoa polučenievysokokačestvennyhalmaznyhpokrytiimetodamiaktivirovannogogazofaznogoosaždeniâ AT strelʹnickiive polučenievysokokačestvennyhalmaznyhpokrytiimetodamiaktivirovannogogazofaznogoosaždeniâ AT gricynavi otrimannâvisokoâkísnihalmaznihpokrittívmetodamiaktivovanogogazofaznogoosadžennâ AT dudniksf otrimannâvisokoâkísnihalmaznihpokrittívmetodamiaktivovanogogazofaznogoosadžennâ AT koševoiki otrimannâvisokoâkísnihalmaznihpokrittívmetodamiaktivovanogogazofaznogoosadžennâ AT opalevoa otrimannâvisokoâkísnihalmaznihpokrittívmetodamiaktivovanogogazofaznogoosadžennâ AT strelʹnickiive otrimannâvisokoâkísnihalmaznihpokrittívmetodamiaktivovanogogazofaznogoosadžennâ AT gricynavi synthesisofhighqualitydiamondcoatingsbymethodsofactivatedchemicalvapordeposition AT dudniksf synthesisofhighqualitydiamondcoatingsbymethodsofactivatedchemicalvapordeposition AT koševoiki synthesisofhighqualitydiamondcoatingsbymethodsofactivatedchemicalvapordeposition AT opalevoa synthesisofhighqualitydiamondcoatingsbymethodsofactivatedchemicalvapordeposition AT strelʹnickiive synthesisofhighqualitydiamondcoatingsbymethodsofactivatedchemicalvapordeposition |