Получение высококачественных алмазных покрытий методами активированного газофазного осаждения

• Published in: Физическая инженерия поверхности
• Date: 2013
• Main Authors: Грицына, В.И., Дудник, С.Ф., Кошевой, К.И., Опалев, О.А., Стрельницкий, В.Е.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2013
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/99810
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Получение высококачественных алмазных покрытий методами активированного газофазного осаждения / В.И. Грицына, С.Ф. Дудник, К.И. Кошевой, О.А. Опалев, В.Е. Стрельницкий // Физическая инженерия поверхности. — 2013. — Т. 11, № 1. — С. 63–77. — Бібліогр.: 26 назв. — рос.

Проведен литературный обзор некоторых особенностей и общих закономерностей процесса получения алмазных покрытий химическим газофазным осаждением. Приведены теоретические и экспериментальные результаты исследований, посвященные вопросу получения высококачественных алмазных покрытий с большими скорос...