Влияние нейтронного облучения на процессы модуляции базовой области кремниевой p⁺nn⁺-структуры

• Published in: Физическая инженерия поверхности
• Date: 2013
• Main Author: Рахматов, А.З.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2013
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/99817
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Влияние нейтронного облучения на процессы модуляции базовой области кремниевой p⁺nn⁺-структуры / А.З. Рахматов // Физическая инженерия поверхности. — 2013. — Т. 11, № 1. — С. 129–132. — Бібліогр.: 13 назв. — рос.

Приведены результаты исследования влияния нейтронного облучения на характер зависимости
 емкости от запирающего напряжения кремниевой p⁺nn⁺-структуры. Под воздействием
 нейтронного облучения дозой 3⋅10¹⁵ н/см² обнаружено увеличение исходной толщины слоя
 объемного заряда p...