Функціоналізація і наноструктурування поверхневих шарів поруватого кремнію

• Published in: Физическая инженерия поверхности
• Date: 2013
• Main Author: Зубко, Є.І.
• Format: Article
• Language: Ukrainian
• Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2013
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/99822
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Функціоналізація і наноструктурування поверхневих шарів поруватого кремнію / Є.І. Зубко // Физическая инженерия поверхности. — 2013. — Т. 11, № 2. — С. 154–159. — Бібліогр.: 17 назв. — укр.

Показана можливість створення багатошарових покрить шляхом модифікування методики електролітичного травлення поверхні монокристалічного кремнію. При травленні використовували добавки HСl і HBr. Методами електронної мікроскопії, рентгенофазового аналізу встановлено, що варіювання складом електроліту і густиною струму приводить до наноструктурування поверхні кремнію в виді шарів різної товщини (200 – 400 нм), морфології і поруватого кремнію. Показана возможность создания многослойных покрытий путем модифицирования методики электролитического травления поверхности монокристаллического кремния. При травлении использовали добавки HCl и HBr. Методами электронной микроскопии, рентгенофазового анализа установлено, что варьирование составом электролита и плотностью тока приводит к наноструктурированию поверхности кремния в виде слоев разной толщины (200 – 400 нм), морфологии и пористости. The possibility of creating multilayer coatings by modifying the method of electrolytic etching of single crystal silicon. Additives used in etching and HCl HBr. By electron microscopy, X-ray diffraction analysis showed that the variation in the composition of the electrolyte and the current density results in a nanostructured surface of silicon in the form of layers of different thickness (200 – 400 nm), morphology and porosity.