Применение многокомпонентных катодов, полученных электронно-лучевым плавлением, для формирования сверхтвердых нанокомпозитных покрытий

• Опубліковано в: : Физическая инженерия поверхности
• Дата: 2013
• Автори: Береснев, В.М., Турбин, П.В., Грудницкий, В.В., Торяник, И.Н., Дмитренко, А.Е., Кропотов, А.Ю., Гриценко, В.И., Маликов, Л.В., Гранкин, С.С.
• Формат: Стаття
• Мова: Russian
• Опубліковано: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2013
• Онлайн доступ: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/99827
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Цитувати: Применение многокомпонентных катодов, полученных электронно-лучевым плавлением, для формирования сверхтвердых нанокомпозитных покрытий / В.М. Береснев, П.В. Турбин, В.В. Грудницкий, И.Н. Торяник, А.Е. Дмитренко, А.Ю. Кропотов, В.И. Гриценко, Л.В. Маликов, С.С. Гранкин // Физическая инженерия поверхности. — 2013. — Т. 11, № 2. — С. 204–211. — Бібліогр.: 7 назв. — рос.

Изложены методы формирования и результаты применения многокомпонентных катодов, получаемых электронно-лучевым плавлением для формирования сверхтвердых покрытий на основе Zr, Ti, Si и N и Ti, Hf, Si и N способом вакуумно-дугового осаждения. Исследовано соответствие элементного состава синтезированных покрытий составу распыляемого катода. Викладені методи формування і результати застосування багатокомпонентних катодів, отриманих електронно-променевим плавленням для формування надтвердих покриттів на основі Zr, Ti, Si і N та Ti, Hf, Si і N способом вакуумно-дугового осадження. Досліджено відповідність елементного складу синтезованих покриттів складу розпиленого катоду. Methods for obtaining and results of the application of multi-component cathodes produced electronbeam melting to form a super-hard coatings on the basis of Zr, Ti, Si and N and Ti, Hf, Si and N means of vacuum arc deposition. Investigated compliance with the elemental composition of the synthesized coating composition of the sputtering cathode.