Вплив імплантації іонами гелію на форму елементарної комірки у приповерхневих шарах монокристалів ҐҐҐ

• Published in: Физическая инженерия поверхности
• Date: 2013
• Main Authors: Яремій, І.П., Томин, У.О., Уманців, М.М., Кравець, В.І.
• Format: Article
• Language: Ukrainian
• Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2013
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/99833
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Вплив імплантації іонами гелію на форму елементарної комірки у приповерхневих шарах монокристалів ҐҐҐ / І.П. Яремій, У.О. Томин, М.М. Уманців, В.І. Кравець // Физическая инженерия поверхности. — 2013. — Т. 11, № 2. — С. 237–242. — Бібліогр.: 14 назв. — укр.

Досліджено трансформацію кристалічної ґратки в іонно-імплантованих шарах монокристалів ґалій-ґадолінієвого ґранату. Встановлено, що у площині пластин монокристалів ҐҐҐ при імплантації іонами Не⁺ деформація кристалічної ґратки в імплантованому шарі відбувається тільки у перпендикулярному до площи...