Cover Image

Вплив імплантації іонами гелію на форму елементарної комірки у приповерхневих шарах монокристалів ҐҐҐ

Досліджено трансформацію кристалічної ґратки в іонно-імплантованих шарах монокристалів
 ґалій-ґадолінієвого ґранату. Встановлено, що у площині пластин монокристалів ҐҐҐ при імплантації
 іонами Не⁺ деформація кристалічної ґратки в імплантованому шарі відбувається тільки у перпендику...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Published in:Физическая инженерия поверхности
Date:2013
ISSN:1999-8074
Main Authors: Яремій, І.П., Томин, У.О., Уманців, М.М., Кравець, В.І.
Format: Article
Language:Ukrainian
Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2013
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/99833
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Вплив імплантації іонами гелію на форму елементарної комірки у приповерхневих шарах монокристалів ҐҐҐ / І.П. Яремій, У.О. Томин, М.М. Уманців, В.І. Кравець // Физическая инженерия поверхности. — 2013. — Т. 11, № 2. — С. 237–242. — Бібліогр.: 14 назв. — укр.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Similar Items

Similar Items