Аналіза кінетики росту нановіскерів кремнію
Наведено результати експериментальних досліджень з вирощування ниткуватих нанокристалів (ННК) кремнію методою хемічного парового осадження (CVD) в закритій бромідній системі та відкритій проточній системі. У результаті одержано ННК кремнію з середнім діяметром ≅ 100 нм. Показано, що поперечний розмі...
Saved in:
| Date: | 2011 |
|---|---|
| Main Authors: | , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Ukrainian |
| Published: |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
2011
|
| Series: | Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Аналіза кінетики росту нановіскерів кремнію / А.О. Дружинін, С.І. Нічкало, Ю.Р. Когут, А.М. Вуйцик // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2011. — Т. 9, № 4. — С. 933-940. — Бібліогр.: 13 назв. — укр. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
oai:nasplib.isofts.kiev.ua:123456789-75194 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
oai:nasplib.isofts.kiev.ua:123456789-751942025-02-23T17:20:03Z Аналіза кінетики росту нановіскерів кремнію Дружинін, А.О. Нічкало, С.І. Когут, Ю.Р. Вуйцик, А.М. Наведено результати експериментальних досліджень з вирощування ниткуватих нанокристалів (ННК) кремнію методою хемічного парового осадження (CVD) в закритій бромідній системі та відкритій проточній системі. У результаті одержано ННК кремнію з середнім діяметром ≅ 100 нм. Показано, що поперечний розмір ННК прямо пропорційно залежить від товщини попередньо напорошеної плівки золота. The results of experimental studies of silicon nanowires (NW) growth by the chemical vapour deposition (CVD) method in the opened and closed bromide systems according to ‘vapour—liquid—solid’ (VLS) mechanism are presented. As a result of experiment, the Si NW with average diameter of ≅ 100 nm are grown. As shown, a cross section of the Si NW is directly proportional to thickness of preliminary-deposited gold film. Представлены результаты экспериментальных исследований по выращиванию нитевидных нанокристаллов (ННК) кремния методом химического парового осаждения (CVD) в закрытой бромидной системе и открытой проточной системе. В результате получены ННК кремния со средним диаметром ≅ 100 нм. Показано, что поперечный размер ННК прямо пропорционально зависит от толщины предварительно напылённой плёнки золота. 2011 Article Аналіза кінетики росту нановіскерів кремнію / А.О. Дружинін, С.І. Нічкало, Ю.Р. Когут, А.М. Вуйцик // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2011. — Т. 9, № 4. — С. 933-940. — Бібліогр.: 13 назв. — укр. 1816-5230 PACS numbers: 61.46.Hk, 68.37.Ps, 68.65.La, 68.70.+w, 81.07.Gf, 81.15.Gh, 85.40.Sz https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/75194 uk Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології application/pdf Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Ukrainian |
| description |
Наведено результати експериментальних досліджень з вирощування ниткуватих нанокристалів (ННК) кремнію методою хемічного парового осадження (CVD) в закритій бромідній системі та відкритій проточній системі. У результаті одержано ННК кремнію з середнім діяметром ≅ 100 нм. Показано, що поперечний розмір ННК прямо пропорційно залежить від товщини попередньо напорошеної плівки золота. |
| format |
Article |
| author |
Дружинін, А.О. Нічкало, С.І. Когут, Ю.Р. Вуйцик, А.М. |
| spellingShingle |
Дружинін, А.О. Нічкало, С.І. Когут, Ю.Р. Вуйцик, А.М. Аналіза кінетики росту нановіскерів кремнію Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології |
| author_facet |
Дружинін, А.О. Нічкало, С.І. Когут, Ю.Р. Вуйцик, А.М. |
| author_sort |
Дружинін, А.О. |
| title |
Аналіза кінетики росту нановіскерів кремнію |
| title_short |
Аналіза кінетики росту нановіскерів кремнію |
| title_full |
Аналіза кінетики росту нановіскерів кремнію |
| title_fullStr |
Аналіза кінетики росту нановіскерів кремнію |
| title_full_unstemmed |
Аналіза кінетики росту нановіскерів кремнію |
| title_sort |
аналіза кінетики росту нановіскерів кремнію |
| publisher |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України |
| publishDate |
2011 |
| citation_txt |
Аналіза кінетики росту нановіскерів кремнію / А.О. Дружинін, С.І. Нічкало, Ю.Р. Когут, А.М. Вуйцик // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2011. — Т. 9, № 4. — С. 933-940. — Бібліогр.: 13 назв. — укр. |
| series |
Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології |
| work_keys_str_mv |
AT družinínao analízakínetikirostunanovískerívkremníû AT níčkalosí analízakínetikirostunanovískerívkremníû AT kogutûr analízakínetikirostunanovískerívkremníû AT vujcikam analízakínetikirostunanovískerívkremníû |
| first_indexed |
2025-07-22T04:15:44Z |
| last_indexed |
2025-07-22T04:15:44Z |
| _version_ |
1838319135236292608 |