БАГАТОКАНАЛЬНІ СИСТЕМИ ДЛЯ ОПТИЧНОГО ЕМІСІЙНО-СПЕКТРАЛЬНОГО КОНТРОЛЮ ПЛАЗМОХІМІЧНИХ ПРОЦЕСІВ ТРАВЛЕННЯ МІКРОСТРУКТУР
Розглянуті питання щодо підвищення ефективності контролю плазмохімічних процесів травлення мікроструктур за рахунок введення багатоканальних систем реєстрації та обробки спектру власного випромінювання нерівноважної плазми. Проаналізовані принципи побудови таких систем та перспективи їх використання...
Збережено в:
| Дата: | 2013 |
|---|---|
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Українська |
| Опубліковано: |
Vinnytsia National Technical University
2013
|
| Онлайн доступ: | https://oeipt.vntu.edu.ua/index.php/oeipt/article/view/216 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Optoelectronic Information-Power Technologies |
Репозитарії
Optoelectronic Information-Power Technologies| _version_ | 1856543740108210176 |
|---|---|
| author | Кравченко, С. Ю. Кравченко, Ю. С. Осадчук, В. С. |
| author_facet | Кравченко, С. Ю. Кравченко, Ю. С. Осадчук, В. С. |
| author_sort | Кравченко, С. Ю. |
| baseUrl_str | |
| collection | OJS |
| datestamp_date | 2015-11-05T13:40:45Z |
| description | Розглянуті питання щодо підвищення ефективності контролю плазмохімічних процесів травлення мікроструктур за рахунок введення багатоканальних систем реєстрації та обробки спектру власного випромінювання нерівноважної плазми. Проаналізовані принципи побудови таких систем та перспективи їх використання в технологічних умовах. |
| first_indexed | 2025-09-24T17:28:48Z |
| format | Article |
| id | oai:oeipt.vntu.edu.ua:article-216 |
| institution | Optoelectronic Information-Power Technologies |
| language | Ukrainian |
| last_indexed | 2025-09-24T17:28:48Z |
| publishDate | 2013 |
| publisher | Vinnytsia National Technical University |
| record_format | ojs |
| spelling | oai:oeipt.vntu.edu.ua:article-2162015-11-05T13:40:45Z БАГАТОКАНАЛЬНІ СИСТЕМИ ДЛЯ ОПТИЧНОГО ЕМІСІЙНО-СПЕКТРАЛЬНОГО КОНТРОЛЮ ПЛАЗМОХІМІЧНИХ ПРОЦЕСІВ ТРАВЛЕННЯ МІКРОСТРУКТУР Кравченко, С. Ю. Кравченко, Ю. С. Осадчук, В. С. Розглянуті питання щодо підвищення ефективності контролю плазмохімічних процесів травлення мікроструктур за рахунок введення багатоканальних систем реєстрації та обробки спектру власного випромінювання нерівноважної плазми. Проаналізовані принципи побудови таких систем та перспективи їх використання в технологічних умовах. Vinnytsia National Technical University 2013-10-21 Article Article application/pdf https://oeipt.vntu.edu.ua/index.php/oeipt/article/view/216 Optoelectronic Information-Power Technologies; Vol. 21 No. 1 (2011); 127-135 Оптико-електроннi iнформацiйно-енергетичнi технологiї; Том 21 № 1 (2011); 127-135 Оптико-електроннi iнформацiйно-енергетичнi технологiї; Том 21 № 1 (2011); 127-135 2311-2662 1681-7893 uk https://oeipt.vntu.edu.ua/index.php/oeipt/article/view/216/215 Авторське право (c) 2015 Оптико-електроннi iнформацiйно-енергетичнi технологiї |
| spellingShingle | Кравченко, С. Ю. Кравченко, Ю. С. Осадчук, В. С. БАГАТОКАНАЛЬНІ СИСТЕМИ ДЛЯ ОПТИЧНОГО ЕМІСІЙНО-СПЕКТРАЛЬНОГО КОНТРОЛЮ ПЛАЗМОХІМІЧНИХ ПРОЦЕСІВ ТРАВЛЕННЯ МІКРОСТРУКТУР |
| title | БАГАТОКАНАЛЬНІ СИСТЕМИ ДЛЯ ОПТИЧНОГО ЕМІСІЙНО-СПЕКТРАЛЬНОГО КОНТРОЛЮ ПЛАЗМОХІМІЧНИХ ПРОЦЕСІВ ТРАВЛЕННЯ МІКРОСТРУКТУР |
| title_full | БАГАТОКАНАЛЬНІ СИСТЕМИ ДЛЯ ОПТИЧНОГО ЕМІСІЙНО-СПЕКТРАЛЬНОГО КОНТРОЛЮ ПЛАЗМОХІМІЧНИХ ПРОЦЕСІВ ТРАВЛЕННЯ МІКРОСТРУКТУР |
| title_fullStr | БАГАТОКАНАЛЬНІ СИСТЕМИ ДЛЯ ОПТИЧНОГО ЕМІСІЙНО-СПЕКТРАЛЬНОГО КОНТРОЛЮ ПЛАЗМОХІМІЧНИХ ПРОЦЕСІВ ТРАВЛЕННЯ МІКРОСТРУКТУР |
| title_full_unstemmed | БАГАТОКАНАЛЬНІ СИСТЕМИ ДЛЯ ОПТИЧНОГО ЕМІСІЙНО-СПЕКТРАЛЬНОГО КОНТРОЛЮ ПЛАЗМОХІМІЧНИХ ПРОЦЕСІВ ТРАВЛЕННЯ МІКРОСТРУКТУР |
| title_short | БАГАТОКАНАЛЬНІ СИСТЕМИ ДЛЯ ОПТИЧНОГО ЕМІСІЙНО-СПЕКТРАЛЬНОГО КОНТРОЛЮ ПЛАЗМОХІМІЧНИХ ПРОЦЕСІВ ТРАВЛЕННЯ МІКРОСТРУКТУР |
| title_sort | багатоканальні системи для оптичного емісійно-спектрального контролю плазмохімічних процесів травлення мікроструктур |
| url | https://oeipt.vntu.edu.ua/index.php/oeipt/article/view/216 |
| work_keys_str_mv | AT kravčenkosû bagatokanalʹnísistemidlâoptičnogoemísíjnospektralʹnogokontrolûplazmohímíčnihprocesívtravlennâmíkrostruktur AT kravčenkoûs bagatokanalʹnísistemidlâoptičnogoemísíjnospektralʹnogokontrolûplazmohímíčnihprocesívtravlennâmíkrostruktur AT osadčukvs bagatokanalʹnísistemidlâoptičnogoemísíjnospektralʹnogokontrolûplazmohímíčnihprocesívtravlennâmíkrostruktur |