БАГАТОКАНАЛЬНІ СИСТЕМИ ДЛЯ ОПТИЧНОГО ЕМІСІЙНО-СПЕКТРАЛЬНОГО КОНТРОЛЮ ПЛАЗМОХІМІЧНИХ ПРОЦЕСІВ ТРАВЛЕННЯ МІКРОСТРУКТУР

БАГАТОКАНАЛЬНІ СИСТЕМИ ДЛЯ ОПТИЧНОГО ЕМІСІЙНО-СПЕКТРАЛЬНОГО КОНТРОЛЮ ПЛАЗМОХІМІЧНИХ ПРОЦЕСІВ ТРАВЛЕННЯ МІКРОСТРУКТУР

Розглянуті питання щодо підвищення ефективності контролю плазмохімічних процесів травлення мікроструктур за рахунок введення багатоканальних систем реєстрації та обробки спектру власного випромінювання нерівноважної плазми. Проаналізовані принципи побудови таких систем та перспективи їх використання...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Date:2013
Main Authors: Кравченко, С. Ю., Кравченко, Ю. С., Осадчук, В. С.
Format: Article
Language:Ukrainian
Published: Vinnytsia National Technical University 2013
Online Access:https://oeipt.vntu.edu.ua/index.php/oeipt/article/view/216
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Optoelectronic Information-Power Technologies

Institution

Optoelectronic Information-Power Technologies
id oai:oeipt.vntu.edu.ua:article-216
record_format ojs
spelling oai:oeipt.vntu.edu.ua:article-2162015-11-05T13:40:45Z БАГАТОКАНАЛЬНІ СИСТЕМИ ДЛЯ ОПТИЧНОГО ЕМІСІЙНО-СПЕКТРАЛЬНОГО КОНТРОЛЮ ПЛАЗМОХІМІЧНИХ ПРОЦЕСІВ ТРАВЛЕННЯ МІКРОСТРУКТУР Кравченко, С. Ю. Кравченко, Ю. С. Осадчук, В. С. Розглянуті питання щодо підвищення ефективності контролю плазмохімічних процесів травлення мікроструктур за рахунок введення багатоканальних систем реєстрації та обробки спектру власного випромінювання нерівноважної плазми. Проаналізовані принципи побудови таких систем та перспективи їх використання в технологічних умовах. Vinnytsia National Technical University 2013-10-21 Article Article application/pdf https://oeipt.vntu.edu.ua/index.php/oeipt/article/view/216 Optoelectronic Information-Power Technologies; Vol. 21 No. 1 (2011); 127-135 Оптико-електроннi iнформацiйно-енергетичнi технологiї; Том 21 № 1 (2011); 127-135 Оптико-електроннi iнформацiйно-енергетичнi технологiї; Том 21 № 1 (2011); 127-135 2311-2662 1681-7893 uk https://oeipt.vntu.edu.ua/index.php/oeipt/article/view/216/215 Авторське право (c) 2015 Оптико-електроннi iнформацiйно-енергетичнi технологiї
institution Optoelectronic Information-Power Technologies
baseUrl_str
datestamp_date 2015-11-05T13:40:45Z
collection OJS
language Ukrainian
format Article
author Кравченко, С. Ю.
Кравченко, Ю. С.
Осадчук, В. С.
spellingShingle Кравченко, С. Ю.
Кравченко, Ю. С.
Осадчук, В. С.
БАГАТОКАНАЛЬНІ СИСТЕМИ ДЛЯ ОПТИЧНОГО ЕМІСІЙНО-СПЕКТРАЛЬНОГО КОНТРОЛЮ ПЛАЗМОХІМІЧНИХ ПРОЦЕСІВ ТРАВЛЕННЯ МІКРОСТРУКТУР
author_facet Кравченко, С. Ю.
Кравченко, Ю. С.
Осадчук, В. С.
author_sort Кравченко, С. Ю.
title БАГАТОКАНАЛЬНІ СИСТЕМИ ДЛЯ ОПТИЧНОГО ЕМІСІЙНО-СПЕКТРАЛЬНОГО КОНТРОЛЮ ПЛАЗМОХІМІЧНИХ ПРОЦЕСІВ ТРАВЛЕННЯ МІКРОСТРУКТУР
title_short БАГАТОКАНАЛЬНІ СИСТЕМИ ДЛЯ ОПТИЧНОГО ЕМІСІЙНО-СПЕКТРАЛЬНОГО КОНТРОЛЮ ПЛАЗМОХІМІЧНИХ ПРОЦЕСІВ ТРАВЛЕННЯ МІКРОСТРУКТУР
title_full БАГАТОКАНАЛЬНІ СИСТЕМИ ДЛЯ ОПТИЧНОГО ЕМІСІЙНО-СПЕКТРАЛЬНОГО КОНТРОЛЮ ПЛАЗМОХІМІЧНИХ ПРОЦЕСІВ ТРАВЛЕННЯ МІКРОСТРУКТУР
title_fullStr БАГАТОКАНАЛЬНІ СИСТЕМИ ДЛЯ ОПТИЧНОГО ЕМІСІЙНО-СПЕКТРАЛЬНОГО КОНТРОЛЮ ПЛАЗМОХІМІЧНИХ ПРОЦЕСІВ ТРАВЛЕННЯ МІКРОСТРУКТУР
title_full_unstemmed БАГАТОКАНАЛЬНІ СИСТЕМИ ДЛЯ ОПТИЧНОГО ЕМІСІЙНО-СПЕКТРАЛЬНОГО КОНТРОЛЮ ПЛАЗМОХІМІЧНИХ ПРОЦЕСІВ ТРАВЛЕННЯ МІКРОСТРУКТУР
title_sort багатоканальні системи для оптичного емісійно-спектрального контролю плазмохімічних процесів травлення мікроструктур
description Розглянуті питання щодо підвищення ефективності контролю плазмохімічних процесів травлення мікроструктур за рахунок введення багатоканальних систем реєстрації та обробки спектру власного випромінювання нерівноважної плазми. Проаналізовані принципи побудови таких систем та перспективи їх використання в технологічних умовах.
publisher Vinnytsia National Technical University
publishDate 2013
url https://oeipt.vntu.edu.ua/index.php/oeipt/article/view/216
work_keys_str_mv AT kravčenkosû bagatokanalʹnísistemidlâoptičnogoemísíjnospektralʹnogokontrolûplazmohímíčnihprocesívtravlennâmíkrostruktur
AT kravčenkoûs bagatokanalʹnísistemidlâoptičnogoemísíjnospektralʹnogokontrolûplazmohímíčnihprocesívtravlennâmíkrostruktur
AT osadčukvs bagatokanalʹnísistemidlâoptičnogoemísíjnospektralʹnogokontrolûplazmohímíčnihprocesívtravlennâmíkrostruktur
first_indexed 2025-09-24T17:28:48Z
last_indexed 2025-09-24T17:28:48Z
_version_ 1850410209387741184

Similar Items