Buchumschlag

БАГАТОКАНАЛЬНІ СИСТЕМИ ДЛЯ ОПТИЧНОГО ЕМІСІЙНО-СПЕКТРАЛЬНОГО КОНТРОЛЮ ПЛАЗМОХІМІЧНИХ ПРОЦЕСІВ ТРАВЛЕННЯ МІКРОСТРУКТУР

Розглянуті питання щодо підвищення ефективності контролю плазмохімічних процесів травлення мікроструктур за рахунок введення багатоканальних систем реєстрації та обробки спектру власного випромінювання нерівноважної плазми. Проаналізовані принципи побудови таких систем та перспективи їх використання...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Datum:	2013
Hauptverfasser:	Кравченко, С. Ю., Кравченко, Ю. С., Осадчук, В. С.
Format:	Artikel
Sprache:	Ukrainisch
Veröffentlicht:	Vinnytsia National Technical University 2013
Online Zugang:	https://oeipt.vntu.edu.ua/index.php/oeipt/article/view/216
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Optoelectronic Information-Power Technologies

Institution

Optoelectronic Information-Power Technologies

Ähnliche Einträge

РОЗРОБКА МАТЕМАТИЧНОЇ МОДЕЛІ МІКРОЕЛЕКТРОННОГО ПЕРЕТВОРЮВАЧА ОПТИЧНОГО ВИПРОМІНЮВАННЯ
von: Осадчук, В. С., et al.
Veröffentlicht: (2021)

ВЕРИФІКАЦІЯ РЕЗУЛЬТАТІВ СПЕКТРАЛЬНОГО АНАЛІЗУ РИТМОКАРДІОГРАМИ
von: Яворська, Є. Б.
Veröffentlicht: (2013)

ЕЛЕКТРОТЕХНОЛОГІЧНА СИСТЕМА ДЛЯ КОНТРОЛЮ ВПЛИВУ ЕЛЕКТРОМАГНІТНИХ ПОЛІВ ОПТИЧНОГО ДІАПАЗОНУ НА РОСЛИННІ БІООБ'ЄКТИ
von: Никифорова , Л.Є, et al.
Veröffentlicht: (2014)

ВПОРЯДКОВАНІ ВИБІРКИ НЕКОРЕЛЬОВАНИХ ДАНИХ ЯК ОДНОЕЛЕМЕНТНІ БАГАТОКАНАЛЬНІ КОНВЕРТОРИ
von: Мазманян, Р.О.
Veröffentlicht: (2021)

ВИЗНАЧЕННЯ ВОЛЬТ-АМПЕРНОЇ ХАРАКТЕРИСТИКИ ОПТИЧНОГО ЧАСТОТНОГО ПЕРЕТВОРЮВАЧА КОНЦЕНТРАЦІЇ ГАЗУ МЕТАНУ
von: Осадчук, В. С., et al.
Veröffentlicht: (2013)

ВИМІРЮВАННЯ ТА КОНТРОЛЬ ТЕМПЕРАТУРИ ПЛАЗМИ МІКРОЗОНДОВИМ МЕТОДОМ
von: Кравченко, Ю. С., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Оцінка метрологічних характеристик методу спектрального аналізу для визначення морфології еритроцитів
von: Sokol, Yevgen, et al.
Veröffentlicht: (2021)

МАТЕМАТИЧНА МОДЕЛЬ МІКРОЕЛЕКТРОННОГО ЧАСТОТНОГО СЕНСОРА ОПТИЧНОГО ВИПРОМІНЮВАННЯ
von: Осадчук, О. В., et al.
Veröffentlicht: (2013)

ІНФРАЧЕРВОНИЙ СЕНСОР З ВІД’ЄМНИМ ДИФЕРЕНЦІЙНИМ ОПОРОМ ДЛЯ КОНТРОЛЮ ПРАЦЕЗДАТНОСТІ ЕЛЕМЕНТІВ РАДІОЕЛЕКТРОННОЇ АПАРАТУРИ
von: Осадчук, В. С., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Реалізація лазерного волоконно-оптичного приладу для оцінювання тканинної мікроциркуляції
von: Павлов , В.С., et al.
Veröffentlicht: (2024)

Фотонні інтегральні схеми для оптичного матриць-векторного множення
von: Боровицький, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2022)

ФАЗОВИЙ СВІТЛОДАЛЕКОМІР З АДАПТИВНОЮ СИСТЕМОЮ ОПТИЧНОГО КАЛІБРУВАННЯ
von: Брагинець, І.О., et al.
Veröffentlicht: (2020)

Отримання мікропоруватих шарів GaAs методом хімічного травлення на підкладках р-GaAs та їхня фотолюмінісценція
von: Paschenko, G. A., et al.
Veröffentlicht: (2012)

ФІЗИКО-МАТЕМАТИЧНА МОДЕЛЬ ВЗАЄМОДІЇ ОПТИЧНОГО ВИПРОМІНЮВАННЯ З БІОТКАНИНАМИ
von: Павлов, С. В., et al.
Veröffentlicht: (2013)

ОПТИЧНІ СЕНСОРИ ВОЛОГОСТІ РОБОЧИХ ГАЗІВ ПІДВИЩЕНОГО І АТМОСФЕРНОГО ТИСКУ
von: Кравченко, Ю. С., et al.
Veröffentlicht: (2013)

СИСТЕМИ УПРАВЛІННЯ ТА КОНТРОЛЮ ЯКОСТІ ТОВАРІВ
von: Reznikova, V.V., et al.
Veröffentlicht: (2022)

Чутливий елемент оптичного сенсора діоксиду сірки
von: Пристай, Т. В., et al.
Veröffentlicht: (2015)

ЛАЗЕРНІ ВИМІРЮВАЛЬНІ СИСТЕМИ З ВОЛОКОННО-ОПТИЧНИМИ СЕНСОРАМИ ДЛЯ КОНТРОЛЮ ЛІНІЙНИХ ПАРАМЕТРІВ МЕХАНІЧНИХ ОБ’ЄКТІВ
von: Брагинець, І.O., et al.
Veröffentlicht: (2021)

ОБРОБКА ЗОБРАЖЕНЬ ЧАСТИНОК ДЛЯ АВТОМАТИЗОВАНОГО КОНТРОЛЮ ЗАБРУДНЕННЯ ВОДНИХ СЕРЕДОВИЩ
von: Петрук, В. Г., et al.
Veröffentlicht: (2013)

ОПТИКО-ЕЛЕКТРОННА СИСТЕМА КОНТРОЛЮ ПАРАМЕТРІВ ЧИСТОТИ РІДИНИ
von: Городецька, О. С., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Дослідження впливу кисню на швидкість і анізотропію глибинного травлення кремнію в плазмо-хімічному реакторі з керованим магнітним полем
von: Hladkovskyi, V. V., et al.
Veröffentlicht: (2017)

АПАРАТНО-ПРОГРАМНИЙ СПОСІБ КОМПЕНСАЦІЇ ТЕМПЕРАТУРНОГО ДРЕЙФА ВИХІДНОГО СИГНАЛУ ОПТИЧНОГО ВИМІРЮВАЧА КОНЦЕНТРАЦІЇ МЕТАНУ
von: Вовна, О.В., et al.
Veröffentlicht: (2017)

РОЗРОБКА ОПТИЧНОГО ДАТЧИКА ТЕМПЕРАТУРИ НА РІДКИХ КРИСТАЛАХ
von: SKOSAR, V., et al.
Veröffentlicht: (2023)

Аналіз і синтез оптимальних стратегій контролю складних пуассонових процесів та напівмарковських процесів з поглинанням
von: Andreev, N. V.
Veröffentlicht: (2019)

МАТЕМАТИЧНА МОДЕЛЬ ОПТИЧНОГО ДАТЧИКА НАЯВНОСТІ ВОДИ У МОЛОЦІ
von: Кулаков, П. І., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Синтез контуру оптимального релейного регулювання швидкістю для великого оптичного телескопа
von: Оксентюк, Віра Миколаївна
Veröffentlicht: (2015)

Розробка способів контролю якості чавуну з кулястим графітом
von: Дорошенко, В. С.
Veröffentlicht: (2018)

АВТОМАТИЗОВАНИЙ ПРИСТРІЙ ДЛЯ КОНТРОЛЮ ОСЕРДЯ СТАТОРА ПОТУЖНОГО ТУРБОГЕНЕРАТОРА
von: Левицький, А.С., et al.
Veröffentlicht: (2021)

ФІЗИЧНІ АСПЕКТИ МАТЕМАТИЧНОГО МОДЕЛЮВАННЯ ВЗАЄМОДІЇ ОПТИЧНОГО ВИПРОМІНЮВАННЯ З БІОТКАНИНАМИ
von: Денисов, М. О.
Veröffentlicht: (2013)

Дослідження можливостей компенсації ефекта блумінга ПЗЗ-детекторів оптичного спектру
von: Yegorov, Anatolii, et al.
Veröffentlicht: (2019)

Аналіз вимог до системи контролю витрат газу в розподільних газопроводах
von: Petrushenko, Sergii, et al.
Veröffentlicht: (2024)

ДОСЛІДЖЕННЯ ЧУТЛИВОСТІ КОЕФІЦІЄНТА ЕКСЦЕСУ ДІАГНОСТИЧНИХ СИГНАЛІВ ДЛЯ КОНТРОЛЮ СТАНУ ЕЛЕКТРОТЕХНІЧНОГО ОБЛАДНАННЯ
von: Берегун , В.С., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Розробка штучної нейронної мережі для інформаційно-вимірювальної системи контролю геометричних розмірів енергетичного обладнання
von: Kacprzyk, Janusz, et al.
Veröffentlicht: (2025)

БЕЗКОНТАКТНИЙ ЄМНІСНИЙ СЕНСОР СИСТЕМИ КОНТРОЛЮ ПАРАМЕТРІВ БИТТЯ ВАЛІВ ПОТУЖНИХ ЕЛЕКТРИЧНИХ МАШИН
von: Березниченко, В.О., et al.
Veröffentlicht: (2020)

ДОСЛІДЖЕННЯ ВПЛИВУ ПІГМЕНТНИХ ПАРАМЕТРІВ НА СПЕКТРАЛЬНІ ХАРАКТЕРИСТИКИ ПРИРОДНИХ ВОДНИХ СЕРЕДОВИЩ ДЛЯ ЗАДАЧ ЕКОЛОГІЧНОГО КОНТРОЛЮ
von: Кватернюк, С. М.
Veröffentlicht: (2018)

ОПТИЧНИЙ ПОГОДЖУВАЛЬНИЙ ПРИСТРІЙ ДЛЯ БАГАТОКАНАЛЬНОГО ОПТИЧНОГО ОБЕРТОВОГО З’ЄДНУВАЧА З ВОЛОКОННО-ОПТИЧНИМИ ДЖГУТАМИ
von: Шапар, В. М.
Veröffentlicht: (2013)

ОСОБЛИВОСТІ ПРАКТИЧНОГО ВИКОРИСТАННЯ АВТОНОМНИХ ДІАГНОСТИЧНИХ КОМПЛЕКСІВ ДЛЯ ТЕПЛОВОГО КОНТРОЛЮ ПОВІТРЯНИХ ЛІНІЙ ЕЛЕКТРОПЕРЕДАЧІ
von: Бабак, С.В., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Методика визначення рівня сигналу на вході оптичного приймача технічних засобів розвідки
von: Sadchenko, Andrey, et al.
Veröffentlicht: (2020)

Медичне застосування оптичного волокна: огляд сучасного стану розвитку волоконно-оптичних сенсорів
von: Катан, В. О., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Використання лазеротерапії при герпесвірусних ураженнях периферичної нервової системи
von: Войцехович, В. С., et al.
Veröffentlicht: (2023)