Cover Image

БАГАТОКАНАЛЬНІ СИСТЕМИ ДЛЯ ОПТИЧНОГО ЕМІСІЙНО-СПЕКТРАЛЬНОГО КОНТРОЛЮ ПЛАЗМОХІМІЧНИХ ПРОЦЕСІВ ТРАВЛЕННЯ МІКРОСТРУКТУР

Розглянуті питання щодо підвищення ефективності контролю плазмохімічних процесів травлення мікроструктур за рахунок введення багатоканальних систем реєстрації та обробки спектру власного випромінювання нерівноважної плазми. Проаналізовані принципи побудови таких систем та перспективи їх використання...

Full description

Saved in:

Bibliographic Details
Date:	2013
Main Authors:	Кравченко, С. Ю., Кравченко, Ю. С., Осадчук, В. С.
Format:	Article
Language:	Ukrainian
Published:	Vinnytsia National Technical University 2013
Online Access:	https://oeipt.vntu.edu.ua/index.php/oeipt/article/view/216
Tags:	Add Tag No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:	Optoelectronic Information-Power Technologies

Institution

Optoelectronic Information-Power Technologies

Similar Items

Установка для дослідження процесів рідинного травлення неорганічних резистів — середовищ для голографії та оптичного запису інформації
by: Тарнай, А.А., et al.
Published: (2008)

Про багатоканальні системи з повторними викликами сталої інтенсивності
by: Лебєдєв, Є.О., et al.
Published: (2014)

РОЗРОБКА МАТЕМАТИЧНОЇ МОДЕЛІ МІКРОЕЛЕКТРОННОГО ПЕРЕТВОРЮВАЧА ОПТИЧНОГО ВИПРОМІНЮВАННЯ
by: Осадчук, В. С., et al.
Published: (2021)

ВПОРЯДКОВАНІ ВИБІРКИ НЕКОРЕЛЬОВАНИХ ДАНИХ ЯК ОДНОЕЛЕМЕНТНІ БАГАТОКАНАЛЬНІ КОНВЕРТОРИ
by: Мазманян, Р.О.
Published: (2021)

ВПОРЯДКОВАНІ ВИБІРКИ НЕКОРЕЛЬОВАНИХ ДАНИХ ЯК ОДНОЕЛЕМЕНТНІ БАГАТОКАНАЛЬНІ КОНВЕРТОРИ
by: Мазманян, Р.О.
Published: (2021)

ВИЗНАЧЕННЯ ВОЛЬТ-АМПЕРНОЇ ХАРАКТЕРИСТИКИ ОПТИЧНОГО ЧАСТОТНОГО ПЕРЕТВОРЮВАЧА КОНЦЕНТРАЦІЇ ГАЗУ МЕТАНУ
by: Осадчук, В. С., et al.
Published: (2013)

ЕЛЕКТРОТЕХНОЛОГІЧНА СИСТЕМА ДЛЯ КОНТРОЛЮ ВПЛИВУ ЕЛЕКТРОМАГНІТНИХ ПОЛІВ ОПТИЧНОГО ДІАПАЗОНУ НА РОСЛИННІ БІООБ'ЄКТИ
by: Никифорова , Л.Є, et al.
Published: (2014)

ЕЛЕКТРОТЕХНОЛОГІЧНА СИСТЕМА ДЛЯ КОНТРОЛЮ ВПЛИВУ ЕЛЕКТРОМАГНІТНИХ ПОЛІВ ОПТИЧНОГО ДІАПАЗОНУ НА РОСЛИННІ БІООБ'ЄКТИ
by: Никифорова , Л.Є, et al.
Published: (2014)

Курортна ребілітація дітей з хронічним ураженням органів травлення, сечовивідної системи та обміну речовин
by: Сміян, І.С.
Published: (2003)

МАТЕМАТИЧНА МОДЕЛЬ МІКРОЕЛЕКТРОННОГО ЧАСТОТНОГО СЕНСОРА ОПТИЧНОГО ВИПРОМІНЮВАННЯ
by: Осадчук, О. В., et al.
Published: (2013)

Математична модель мікроелектронного частотного сенсора оптичного випромінювання
by: Осадчук, О.В., et al.
Published: (2009)

Електрохімічнa мембранна регенерація хлоридних розчинів травлення міді
by: Тевтуль, Я.Ю., et al.
Published: (2008)

Дослідження дефектної структури фосфіду індію за ямками травлення
by: Сичікова, Я.О.
Published: (2012)

Современные возможности обновления аналитического оборудования для эмиссионного спектрального анализа
by: Грыцкив, Я.П., et al.
Published: (2005)

Форми державного контролю за охороною та використанням земель житлової та громадської забудови в містах
by: Кравченко, С.
Published: (2009)

Отримання функціональних покриттів за допомогою керування процесу травлення сталі під дією магнітного поля
by: Горобець, С.В., et al.
Published: (2009)

ВЕРИФІКАЦІЯ РЕЗУЛЬТАТІВ СПЕКТРАЛЬНОГО АНАЛІЗУ РИТМОКАРДІОГРАМИ
by: Яворська, Є. Б.
Published: (2013)

Верифікація результатів спектрального аналізу ритмокардіограми
by: Яворська, Є.Б.
Published: (2009)

Фотонні інтегральні схеми для оптичного матриць-векторного множення
by: Боровицький, В.М., et al.
Published: (2022)

ФАЗОВИЙ СВІТЛОДАЛЕКОМІР З АДАПТИВНОЮ СИСТЕМОЮ ОПТИЧНОГО КАЛІБРУВАННЯ
by: Брагинець, І.О., et al.
Published: (2020)

ФАЗОВИЙ СВІТЛОДАЛЕКОМІР З АДАПТИВНОЮ СИСТЕМОЮ ОПТИЧНОГО КАЛІБРУВАННЯ
by: Брагинець, І.О., et al.
Published: (2020)

Акустооптические модуляторы для систем спектрального анализа радиосигналов
by: Брайко, Г.И., et al.
Published: (2003)

Акустооптические модуляторы для систем спектрального анализа радиосигналов
by: Braiko, G. I., et al.
Published: (2003)

Модель спектрального хода альбедо твердых поверхностей космических тел
by: Шкуратов, Ю.Г.
Published: (1987)

Реалізація лазерного волоконно-оптичного приладу для оцінювання тканинної мікроциркуляції
by: Павлов , В.С., et al.
Published: (2024)

ІНФРАЧЕРВОНИЙ СЕНСОР З ВІД’ЄМНИМ ДИФЕРЕНЦІЙНИМ ОПОРОМ ДЛЯ КОНТРОЛЮ ПРАЦЕЗДАТНОСТІ ЕЛЕМЕНТІВ РАДІОЕЛЕКТРОННОЇ АПАРАТУРИ
by: Осадчук, В. С., et al.
Published: (2017)

Модифікація оптичних властивостей пористих шарів напівпровідників AIIIBV, отриманих методом анодного травлення
by: Dmitruk, N., et al.
Published: (2012)

Напівнатурне моделювання процесів контролю водної обстановки
by: Самолюк, Т.А., et al.
Published: (2018)

Прецизійні засоби вимірювання характеристик теплового та оптичного випромінювання
by: Шабашкевич, Б.Г., et al.
Published: (2005)

Чутливий елемент оптичного сенсора діоксиду сірки
by: Пристай, Т. В., et al.
Published: (2015)

Еліпсометрична діагностика поверхневого шару оптичного скла
by: Makarenko, O. V., et al.
Published: (2019)

ФІЗИКО-МАТЕМАТИЧНА МОДЕЛЬ ВЗАЄМОДІЇ ОПТИЧНОГО ВИПРОМІНЮВАННЯ З БІОТКАНИНАМИ
by: Павлов, С. В., et al.
Published: (2013)

Аналіз оптичних зондів ближнього поля для систем надщільного оптичного запису інформації
by: Денисюк, М.С.
Published: (2009)

Аспекти формування тестів для контролю знань в системі адаптивного навчання
by: Кравченко, О.В., et al.
Published: (2010)

Порівняльний аналіз процесів вимірювання, контролю та діагностики
by: Багацький, В.О., et al.
Published: (2023)

Застосування наноструктурованих люмінофорів у системах об'ємного оптичного запису
by: Анікін, П.С., et al.
Published: (2018)

Обратная задача спектрального анализа и неабелевы цепочки нелинейных уравнений
by: Березанский, Ю.М., et al.
Published: (1990)

Обернена задача спектрального аналізу динамічних систем конфлікту
by: Харченко, Н.В.
Published: (2010)

РОЗРОБКА ОПТИЧНОГО ДАТЧИКА ТЕМПЕРАТУРИ НА РІДКИХ КРИСТАЛАХ
by: SKOSAR, V., et al.
Published: (2023)

Задача знаходження оптимальних параметрів однорідного оптичного покриття
by: Міца, О.В., et al.
Published: (2003)