ПОБУДОВА МОДЕЛІ П’ЄЗОКЕРАМІЧНОГО СКАНЕРА ДЛЯ ЗОНДОВИХ НАНОМІКРОСКОПІВ НА ОСНОВІ БІМОРФНИХ П’ЄЗОЕЛЕМЕНТІВ

Стаття присвячена проблемам створення п’єзосканерів. Запропонована і досліджена конструкція п’єзокерамічного сканера для наномікроскопів на основі біморфних п’єзоелементів. Побудована і досліджена модель цього сканера за допомогою пакету програми FemLab 3.2. Аннотация: Статья посвящена проблемам соз...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Datum:2013
1. Verfasser: Філімонов, С. О.
Format: Artikel
Sprache:Ukrainisch
Veröffentlicht: Vinnytsia National Technical University 2013
Online Zugang:https://oeipt.vntu.edu.ua/index.php/oeipt/article/view/51
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Optoelectronic Information-Power Technologies

Institution

Optoelectronic Information-Power Technologies
_version_ 1856543674527121408
author Філімонов, С. О.
author_facet Філімонов, С. О.
author_sort Філімонов, С. О.
baseUrl_str
collection OJS
datestamp_date 2015-11-05T12:58:44Z
description Стаття присвячена проблемам створення п’єзосканерів. Запропонована і досліджена конструкція п’єзокерамічного сканера для наномікроскопів на основі біморфних п’єзоелементів. Побудована і досліджена модель цього сканера за допомогою пакету програми FemLab 3.2. Аннотация: Статья посвящена проблемам создания пьезосканеров. Предложена и исследована конструкция пьезокерамического сканера для наномикроскопов на основе биморфных пьезоэлементов. Построена и исследована модель этого сканера при помощи пакета программы FemLab 3.2.
first_indexed 2025-09-24T17:28:29Z
format Article
id oai:oeipt.vntu.edu.ua:article-51
institution Optoelectronic Information-Power Technologies
language Ukrainian
last_indexed 2025-09-24T17:28:29Z
publishDate 2013
publisher Vinnytsia National Technical University
record_format ojs
spelling oai:oeipt.vntu.edu.ua:article-512015-11-05T12:58:44Z ПОБУДОВА МОДЕЛІ П’ЄЗОКЕРАМІЧНОГО СКАНЕРА ДЛЯ ЗОНДОВИХ НАНОМІКРОСКОПІВ НА ОСНОВІ БІМОРФНИХ П’ЄЗОЕЛЕМЕНТІВ Філімонов, С. О. Стаття присвячена проблемам створення п’єзосканерів. Запропонована і досліджена конструкція п’єзокерамічного сканера для наномікроскопів на основі біморфних п’єзоелементів. Побудована і досліджена модель цього сканера за допомогою пакету програми FemLab 3.2. Аннотация: Статья посвящена проблемам создания пьезосканеров. Предложена и исследована конструкция пьезокерамического сканера для наномикроскопов на основе биморфных пьезоэлементов. Построена и исследована модель этого сканера при помощи пакета программы FemLab 3.2. Vinnytsia National Technical University 2013-11-13 Article Article application/pdf https://oeipt.vntu.edu.ua/index.php/oeipt/article/view/51 Optoelectronic Information-Power Technologies; Vol. 16 No. 2 (2008); 126-129 Оптико-електроннi iнформацiйно-енергетичнi технологiї; Том 16 № 2 (2008); 126-129 Оптико-електроннi iнформацiйно-енергетичнi технологiї; Том 16 № 2 (2008); 126-129 2311-2662 1681-7893 uk https://oeipt.vntu.edu.ua/index.php/oeipt/article/view/51/51 Авторське право (c) 2015 Оптико-електроннi iнформацiйно-енергетичнi технологiї
spellingShingle Філімонов, С. О.
ПОБУДОВА МОДЕЛІ П’ЄЗОКЕРАМІЧНОГО СКАНЕРА ДЛЯ ЗОНДОВИХ НАНОМІКРОСКОПІВ НА ОСНОВІ БІМОРФНИХ П’ЄЗОЕЛЕМЕНТІВ
title ПОБУДОВА МОДЕЛІ П’ЄЗОКЕРАМІЧНОГО СКАНЕРА ДЛЯ ЗОНДОВИХ НАНОМІКРОСКОПІВ НА ОСНОВІ БІМОРФНИХ П’ЄЗОЕЛЕМЕНТІВ
title_full ПОБУДОВА МОДЕЛІ П’ЄЗОКЕРАМІЧНОГО СКАНЕРА ДЛЯ ЗОНДОВИХ НАНОМІКРОСКОПІВ НА ОСНОВІ БІМОРФНИХ П’ЄЗОЕЛЕМЕНТІВ
title_fullStr ПОБУДОВА МОДЕЛІ П’ЄЗОКЕРАМІЧНОГО СКАНЕРА ДЛЯ ЗОНДОВИХ НАНОМІКРОСКОПІВ НА ОСНОВІ БІМОРФНИХ П’ЄЗОЕЛЕМЕНТІВ
title_full_unstemmed ПОБУДОВА МОДЕЛІ П’ЄЗОКЕРАМІЧНОГО СКАНЕРА ДЛЯ ЗОНДОВИХ НАНОМІКРОСКОПІВ НА ОСНОВІ БІМОРФНИХ П’ЄЗОЕЛЕМЕНТІВ
title_short ПОБУДОВА МОДЕЛІ П’ЄЗОКЕРАМІЧНОГО СКАНЕРА ДЛЯ ЗОНДОВИХ НАНОМІКРОСКОПІВ НА ОСНОВІ БІМОРФНИХ П’ЄЗОЕЛЕМЕНТІВ
title_sort побудова моделі п’єзокерамічного сканера для зондових наномікроскопів на основі біморфних п’єзоелементів
url https://oeipt.vntu.edu.ua/index.php/oeipt/article/view/51
work_keys_str_mv AT fílímonovso pobudovamodelípêzokeramíčnogoskaneradlâzondovihnanomíkroskopívnaosnovíbímorfnihpêzoelementív