ПОБУДОВА МОДЕЛІ П’ЄЗОКЕРАМІЧНОГО СКАНЕРА ДЛЯ ЗОНДОВИХ НАНОМІКРОСКОПІВ НА ОСНОВІ БІМОРФНИХ П’ЄЗОЕЛЕМЕНТІВ
Стаття присвячена проблемам створення п’єзосканерів. Запропонована і досліджена конструкція п’єзокерамічного сканера для наномікроскопів на основі біморфних п’єзоелементів. Побудована і досліджена модель цього сканера за допомогою пакету програми FemLab 3.2. Аннотация: Статья посвящена проблемам соз...
Збережено в:
| Дата: | 2013 |
|---|---|
| Автор: | |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Ukrainian |
| Опубліковано: |
Vinnytsia National Technical University
2013
|
| Онлайн доступ: | https://oeipt.vntu.edu.ua/index.php/oeipt/article/view/51 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Optoelectronic Information-Power Technologies |