ОПТИЧНІ СЕНСОРИ ВОЛОГОСТІ РОБОЧИХ ГАЗІВ ПІДВИЩЕНОГО І АТМОСФЕРНОГО ТИСКУ
Розглянуто вплив вологості на технологічний процес виготовлення інтегральних мікросхем, принципи побудови сенсорів вологості робочих плазмоутворюючих газів для мікроелектронної технології. Проаналізовано шляхи підвищення чутливості таких сенсорів і перспектива їх використання в технологічних умовах....
Gespeichert in:
| Datum: | 2013 |
|---|---|
| Hauptverfasser: | , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Ukrainisch |
| Veröffentlicht: |
Vinnytsia National Technical University
2013
|
| Online Zugang: | https://oeipt.vntu.edu.ua/index.php/oeipt/article/view/60 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Optoelectronic Information-Power Technologies |
Institution
Optoelectronic Information-Power Technologies| _version_ | 1856543678157291520 |
|---|---|
| author | Кравченко, Ю. С. Савицький, А. Ю. |
| author_facet | Кравченко, Ю. С. Савицький, А. Ю. |
| author_sort | Кравченко, Ю. С. |
| baseUrl_str | |
| collection | OJS |
| datestamp_date | 2015-11-05T12:58:44Z |
| description | Розглянуто вплив вологості на технологічний процес виготовлення інтегральних мікросхем, принципи побудови сенсорів вологості робочих плазмоутворюючих газів для мікроелектронної технології. Проаналізовано шляхи підвищення чутливості таких сенсорів і перспектива їх використання в технологічних умовах. |
| first_indexed | 2025-09-24T17:28:30Z |
| format | Article |
| id | oai:oeipt.vntu.edu.ua:article-60 |
| institution | Optoelectronic Information-Power Technologies |
| language | Ukrainian |
| last_indexed | 2025-09-24T17:28:30Z |
| publishDate | 2013 |
| publisher | Vinnytsia National Technical University |
| record_format | ojs |
| spelling | oai:oeipt.vntu.edu.ua:article-602015-11-05T12:58:44Z ОПТИЧНІ СЕНСОРИ ВОЛОГОСТІ РОБОЧИХ ГАЗІВ ПІДВИЩЕНОГО І АТМОСФЕРНОГО ТИСКУ Кравченко, Ю. С. Савицький, А. Ю. Розглянуто вплив вологості на технологічний процес виготовлення інтегральних мікросхем, принципи побудови сенсорів вологості робочих плазмоутворюючих газів для мікроелектронної технології. Проаналізовано шляхи підвищення чутливості таких сенсорів і перспектива їх використання в технологічних умовах. Vinnytsia National Technical University 2013-11-13 Article Article application/pdf https://oeipt.vntu.edu.ua/index.php/oeipt/article/view/60 Optoelectronic Information-Power Technologies; Vol. 16 No. 2 (2008); 175-181 Оптико-електроннi iнформацiйно-енергетичнi технологiї; Том 16 № 2 (2008); 175-181 Оптико-електроннi iнформацiйно-енергетичнi технологiї; Том 16 № 2 (2008); 175-181 2311-2662 1681-7893 uk https://oeipt.vntu.edu.ua/index.php/oeipt/article/view/60/60 Авторське право (c) 2015 Оптико-електроннi iнформацiйно-енергетичнi технологiї |
| spellingShingle | Кравченко, Ю. С. Савицький, А. Ю. ОПТИЧНІ СЕНСОРИ ВОЛОГОСТІ РОБОЧИХ ГАЗІВ ПІДВИЩЕНОГО І АТМОСФЕРНОГО ТИСКУ |
| title | ОПТИЧНІ СЕНСОРИ ВОЛОГОСТІ РОБОЧИХ ГАЗІВ ПІДВИЩЕНОГО І АТМОСФЕРНОГО ТИСКУ |
| title_full | ОПТИЧНІ СЕНСОРИ ВОЛОГОСТІ РОБОЧИХ ГАЗІВ ПІДВИЩЕНОГО І АТМОСФЕРНОГО ТИСКУ |
| title_fullStr | ОПТИЧНІ СЕНСОРИ ВОЛОГОСТІ РОБОЧИХ ГАЗІВ ПІДВИЩЕНОГО І АТМОСФЕРНОГО ТИСКУ |
| title_full_unstemmed | ОПТИЧНІ СЕНСОРИ ВОЛОГОСТІ РОБОЧИХ ГАЗІВ ПІДВИЩЕНОГО І АТМОСФЕРНОГО ТИСКУ |
| title_short | ОПТИЧНІ СЕНСОРИ ВОЛОГОСТІ РОБОЧИХ ГАЗІВ ПІДВИЩЕНОГО І АТМОСФЕРНОГО ТИСКУ |
| title_sort | оптичні сенсори вологості робочих газів підвищеного і атмосферного тиску |
| url | https://oeipt.vntu.edu.ua/index.php/oeipt/article/view/60 |
| work_keys_str_mv | AT kravčenkoûs optičnísensorivologostírobočihgazívpídviŝenogoíatmosfernogotisku AT savicʹkijaû optičnísensorivologostírobočihgazívpídviŝenogoíatmosfernogotisku |