ОПТИЧНІ СЕНСОРИ ВОЛОГОСТІ РОБОЧИХ ГАЗІВ ПІДВИЩЕНОГО І АТМОСФЕРНОГО ТИСКУ

ОПТИЧНІ СЕНСОРИ ВОЛОГОСТІ РОБОЧИХ ГАЗІВ ПІДВИЩЕНОГО І АТМОСФЕРНОГО ТИСКУ

Розглянуто вплив вологості на технологічний процес виготовлення інтегральних мікросхем, принципи побудови сенсорів вологості робочих плазмоутворюючих газів для мікроелектронної технології. Проаналізовано шляхи підвищення чутливості таких сенсорів і перспектива їх використання в технологічних умовах....

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Date:2013
Main Authors: Кравченко, Ю. С., Савицький, А. Ю.
Format: Article
Language:Ukrainian
Published: Vinnytsia National Technical University 2013
Online Access:https://oeipt.vntu.edu.ua/index.php/oeipt/article/view/60
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Optoelectronic Information-Power Technologies

Institution

Optoelectronic Information-Power Technologies
id oai:oeipt.vntu.edu.ua:article-60
record_format ojs
spelling oai:oeipt.vntu.edu.ua:article-602015-11-05T12:58:44Z ОПТИЧНІ СЕНСОРИ ВОЛОГОСТІ РОБОЧИХ ГАЗІВ ПІДВИЩЕНОГО І АТМОСФЕРНОГО ТИСКУ Кравченко, Ю. С. Савицький, А. Ю. Розглянуто вплив вологості на технологічний процес виготовлення інтегральних мікросхем, принципи побудови сенсорів вологості робочих плазмоутворюючих газів для мікроелектронної технології. Проаналізовано шляхи підвищення чутливості таких сенсорів і перспектива їх використання в технологічних умовах. Vinnytsia National Technical University 2013-11-13 Article Article application/pdf https://oeipt.vntu.edu.ua/index.php/oeipt/article/view/60 Optoelectronic Information-Power Technologies; Vol. 16 No. 2 (2008); 175-181 Оптико-електроннi iнформацiйно-енергетичнi технологiї; Том 16 № 2 (2008); 175-181 Оптико-електроннi iнформацiйно-енергетичнi технологiї; Том 16 № 2 (2008); 175-181 2311-2662 1681-7893 uk https://oeipt.vntu.edu.ua/index.php/oeipt/article/view/60/60 Авторське право (c) 2015 Оптико-електроннi iнформацiйно-енергетичнi технологiї
institution Optoelectronic Information-Power Technologies
baseUrl_str
datestamp_date 2015-11-05T12:58:44Z
collection OJS
language Ukrainian
format Article
author Кравченко, Ю. С.
Савицький, А. Ю.
spellingShingle Кравченко, Ю. С.
Савицький, А. Ю.
ОПТИЧНІ СЕНСОРИ ВОЛОГОСТІ РОБОЧИХ ГАЗІВ ПІДВИЩЕНОГО І АТМОСФЕРНОГО ТИСКУ
author_facet Кравченко, Ю. С.
Савицький, А. Ю.
author_sort Кравченко, Ю. С.
title ОПТИЧНІ СЕНСОРИ ВОЛОГОСТІ РОБОЧИХ ГАЗІВ ПІДВИЩЕНОГО І АТМОСФЕРНОГО ТИСКУ
title_short ОПТИЧНІ СЕНСОРИ ВОЛОГОСТІ РОБОЧИХ ГАЗІВ ПІДВИЩЕНОГО І АТМОСФЕРНОГО ТИСКУ
title_full ОПТИЧНІ СЕНСОРИ ВОЛОГОСТІ РОБОЧИХ ГАЗІВ ПІДВИЩЕНОГО І АТМОСФЕРНОГО ТИСКУ
title_fullStr ОПТИЧНІ СЕНСОРИ ВОЛОГОСТІ РОБОЧИХ ГАЗІВ ПІДВИЩЕНОГО І АТМОСФЕРНОГО ТИСКУ
title_full_unstemmed ОПТИЧНІ СЕНСОРИ ВОЛОГОСТІ РОБОЧИХ ГАЗІВ ПІДВИЩЕНОГО І АТМОСФЕРНОГО ТИСКУ
title_sort оптичні сенсори вологості робочих газів підвищеного і атмосферного тиску
description Розглянуто вплив вологості на технологічний процес виготовлення інтегральних мікросхем, принципи побудови сенсорів вологості робочих плазмоутворюючих газів для мікроелектронної технології. Проаналізовано шляхи підвищення чутливості таких сенсорів і перспектива їх використання в технологічних умовах.
publisher Vinnytsia National Technical University
publishDate 2013
url https://oeipt.vntu.edu.ua/index.php/oeipt/article/view/60
work_keys_str_mv AT kravčenkoûs optičnísensorivologostírobočihgazívpídviŝenogoíatmosfernogotisku
AT savicʹkijaû optičnísensorivologostírobočihgazívpídviŝenogoíatmosfernogotisku
first_indexed 2025-09-24T17:28:30Z
last_indexed 2025-09-24T17:28:30Z
_version_ 1850410185769615360

Similar Items