Зображення обкладинки

ОПТИЧНІ СЕНСОРИ ВОЛОГОСТІ РОБОЧИХ ГАЗІВ ПІДВИЩЕНОГО І АТМОСФЕРНОГО ТИСКУ

Розглянуто вплив вологості на технологічний процес виготовлення інтегральних мікросхем, принципи побудови сенсорів вологості робочих плазмоутворюючих газів для мікроелектронної технології. Проаналізовано шляхи підвищення чутливості таких сенсорів і перспектива їх використання в технологічних умовах....

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2013
Автори:	Кравченко, Ю. С., Савицький, А. Ю.
Формат:	Стаття
Мова:	Українська
Опубліковано:	Vinnytsia National Technical University 2013
Онлайн доступ:	https://oeipt.vntu.edu.ua/index.php/oeipt/article/view/60
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Optoelectronic Information-Power Technologies

Репозитарії

Optoelectronic Information-Power Technologies

Схожі ресурси

Оптичні сенсори вологості робочих газів підвищеного і атмосферного тиску
за авторством: Кравченко, Ю.С., та інші
Опубліковано: (2008)

ДІОДНІ СЕНСОРИ ВОЛОГОСТІ НА ОСНОВІ КРЕМНІЄВИХ 1D НАНОРОЗМІРНИХ СТРУКТУР
за авторством: LINEVYCH, Ya., та інші
Опубліковано: (2024)

Інтелектуальні сенсори
за авторством: Войтович, І.
Опубліковано: (2009)

Діагностування деградації замка ущільнювального кільця за втратою робочих газів двигуна внутрішнього згорання
за авторством: Балицький, О.І., та інші
Опубліковано: (2014)

ГЕНЕРАТОРНІ СЕНСОРИ НА БАЗІ НЕГАТРОНІВ
за авторством: Ліщинська, Л. Б., та інші
Опубліковано: (2013)

Накопичення кобальту в організмі прісноводних риб за його підвищеного вмісту у воді
за авторством: Марків, В.С., та інші
Опубліковано: (2023)

Інтелектуальні сенсори: особливості та проблеми проектування
за авторством: Романов, В.О., та інші
Опубліковано: (2008)

Інтелектуальні сенсори для медико-біологічних потреб
за авторством: Войтович, І.Д.
Опубліковано: (2012)

Волоконнооптичні сенсори для регулювально-запірної арматури АЕС
за авторством: Монастирський, З.Я., та інші
Опубліковано: (2013)

Мікробні амперометричні сенсори для детектування етанолу та глюкози
за авторством: Каленюк, Г.О., та інші
Опубліковано: (2015)

Сенсори водню на основі нанорозмірного діоксиду олова
за авторством: Бувайло, А.І., та інші
Опубліковано: (2010)

Оптичні властивості наноматеріалів
за авторством: Чекман, І.С., та інші
Опубліковано: (2014)

Визначення вологості грунтів різної щільності радіоізотопними методами
за авторством: Звольський, С.Т.
Опубліковано: (2014)

Високотемпературні сенсори деформації на основі ниткоподібних кристалів фосфіду галію
за авторством: Дружинін, А.О., та інші
Опубліковано: (2019)

Високотемпературні сенсори деформації на основі ниткоподібних кристалів фосфіду галію
за авторством: Druzhynin, Anatoliy, та інші
Опубліковано: (2019)

ВОЛОКОННО-ОПТИЧНІ ПЕРЕТВОРЮВАЧІ ГАЗУ
за авторством: Осадчук, В. С., та інші
Опубліковано: (2021)

Поправка на щільність грунту при визначенні його вологості нейтронними вологомірами
за авторством: Кетов, А.Ю., та інші
Опубліковано: (2012)

Атестація робочих місць - засіб підвищення ефективності виробництва
за авторством: Зайцев, Ю.Д.
Опубліковано: (1989)

Резистивні сенсори вологи на основі плівок наноцелюлози для біорозкладної електроніки
за авторством: Lapshuda, Vladyslav, та інші
Опубліковано: (2022)

Оптичні властивості здвоєних мікропризмових елементів
за авторством: Петров, В.В., та інші
Опубліковано: (2012)

Сукупне визначення вологості та засоленості грунтів зрошувального землеробства за допомогою нейтронних методів
за авторством: Кетов, А.Ю., та інші
Опубліковано: (2008)

Дослідження процесу обтікання робочих органів потоком ґрунту
за авторством: Кобець, А.С., та інші
Опубліковано: (2012)

ПІДВИЩЕННЯ ЗНОСОСТІЙКОСТІ РОБОЧИХ ОРГАНІВ ГІРНИЧОДОБУВНОЇ ТЕХНІКИ
за авторством: Прокопів, Микола, та інші
Опубліковано: (2023)

РЕЗИСТИВНІ ДАТЧИКИ НА ОСНОВІ НАНОЦЕЛЮЛОЗИ ДЛЯ ВИЯВЛЕННЯ ВОЛОГОСТІ ПОВІТРЯ
за авторством: LAPSHUDA, V., та інші
Опубліковано: (2024)

Моніторинг атмосферного повітря. Проблеми моделювання і прогнозування
за авторством: Трофімович, В.В., та інші
Опубліковано: (2012)

ОСОБЛИВОСТІ ЦИСТОУТВОРЕННЯ У АZOTOBACTER VINELANDII І АZOTOBACTER CHROOCOCCUM ЗА ВПЛИВУ ТЕМПЕРАТУРИ І ВОЛОГОСТІ
за авторством: Нестеренко , В.М., та інші
Опубліковано: (2012)

Морфологія та оптичні константи нанокристалічних плівок Gе на поверхні Sі(001)
за авторством: Козирєв, Ю.М., та інші
Опубліковано: (2016)

КУБІЧНИЙ АПАРАТ ВИСОКОГО ТИСКУ І ЙОГО МОЖЛИВОСТІ ЩОДО ГЕНЕРАЦІЇ ТИСКУ
за авторством: Беженар, Микола, та інші
Опубліковано: (2024)

Прогнозування вологості ненасиченої зони ґрунту на основі neo-fuzzy мережі
за авторством: Пастушенко, В.Й., та інші
Опубліковано: (2012)

Вплив вологості та чистоти водню на надійність потужних електричних машин
за авторством: Виговський, О.В., та інші
Опубліковано: (2017)

Потоковий спектрометр атмосферного аерозолю
за авторством: Іванченко, Л.В., та інші
Опубліковано: (2011)

Автоматические газоанализаторы загрязнения атмосферного воздуха
за авторством: Михеева, И.Л., та інші
Опубліковано: (2003)

Порівняння оцінок потреб начальників і робочих видобувних дільниць вугільних шахт
за авторством: Амоша, О.І., та інші
Опубліковано: (2009)

Ємнісні сенсори биття вала гідрогенератора з активним електродом у формі фрагмента бічної поверхні циліндра
за авторством: Левицький, А.С.
Опубліковано: (2012)

АНАЛІЗ ТА КЛАСИФІКАЦІЯ ВІДОМИХ МЕТОДІВ НЕРУЙНІВНОГО КОНТРОЛЮ ВОЛОГОСТІ ПОРОШКОПОДІБНИХ МАТЕРІАЛІВ
за авторством: Кухарчук, В. В., та інші
Опубліковано: (2013)

ПРОГНОЗУВАННЯ ВОЛОГОСТІ НЕНАСИЧЕНОЇ ЗОНИ ҐРУНТУ НА ОСНОВІ NEO-FUZZY МЕРЕЖІ
за авторством: Пастушенко, Володимир Йосипович, та інші
Опубліковано: (2012)

ТЕРМОДИНАМІЧНИЙ РОЗРАХУНОК ДІАГРАМИ ПЛАВКОСТІ СИСТЕМИ Ga-N ЗА АТМОСФЕРНОГО ТА ВИСОКИХ ТИСКІВ
за авторством: Туркевич, В. З., та інші
Опубліковано: (2022)

Вивчення шляхів оптимізації робочих характеристик потенціометричних біосенсорів
за авторством: Солдаткін, О.П.
Опубліковано: (1998)

Вплив вологості атмосфери на електрохімічні параметри анодних плівок діоксиду цирконію
за авторством: Efimenko, A. V., та інші
Опубліковано: (2011)

Синтез та оптичні властивості сульфофторидів РЗМ
за авторством: Зінченко, В.Ф., та інші
Опубліковано: (2000)