Buchumschlag

ОПТИЧНІ СЕНСОРИ ВОЛОГОСТІ РОБОЧИХ ГАЗІВ ПІДВИЩЕНОГО І АТМОСФЕРНОГО ТИСКУ

Розглянуто вплив вологості на технологічний процес виготовлення інтегральних мікросхем, принципи побудови сенсорів вологості робочих плазмоутворюючих газів для мікроелектронної технології. Проаналізовано шляхи підвищення чутливості таких сенсорів і перспектива їх використання в технологічних умовах....

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Datum:	2013
Hauptverfasser:	Кравченко, Ю. С., Савицький, А. Ю.
Format:	Artikel
Sprache:	Ukrainisch
Veröffentlicht:	Vinnytsia National Technical University 2013
Online Zugang:	https://oeipt.vntu.edu.ua/index.php/oeipt/article/view/60
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Optoelectronic Information-Power Technologies

Institution

Optoelectronic Information-Power Technologies

Ähnliche Einträge

Оптичні сенсори вологості робочих газів підвищеного і атмосферного тиску
von: Кравченко, Ю.С., et al.
Veröffentlicht: (2008)

ДІОДНІ СЕНСОРИ ВОЛОГОСТІ НА ОСНОВІ КРЕМНІЄВИХ 1D НАНОРОЗМІРНИХ СТРУКТУР
von: LINEVYCH, Ya., et al.
Veröffentlicht: (2024)

Нові сенсори тиску з нанокомпозитів (біорозкладені полімери--наночастинки оксислу металу): виготовлення і характеристика
von: Hashim, A., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Інтелектуальні сенсори
von: Войтович, І.
Veröffentlicht: (2009)

Діагностування деградації замка ущільнювального кільця за втратою робочих газів двигуна внутрішнього згорання
von: Балицький, О.І., et al.
Veröffentlicht: (2014)

ГЕНЕРАТОРНІ СЕНСОРИ НА БАЗІ НЕГАТРОНІВ
von: Ліщинська, Л. Б., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Накопичення кобальту в організмі прісноводних риб за його підвищеного вмісту у воді
von: Марків, В.С., et al.
Veröffentlicht: (2023)

Інтелектуальні сенсори: особливості та проблеми проектування
von: Романов, В.О., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Інтелектуальні сенсори для медико-біологічних потреб
von: Войтович, І.Д.
Veröffentlicht: (2012)

Волоконнооптичні сенсори для регулювально-запірної арматури АЕС
von: Монастирський, З.Я., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Мікробні амперометричні сенсори для детектування етанолу та глюкози
von: Каленюк, Г.О., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Сенсори водню на основі нанорозмірного діоксиду олова
von: Бувайло, А.І., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Визначення вологості грунтів різної щільності радіоізотопними методами
von: Звольський, С.Т.
Veröffentlicht: (2014)

Високотемпературні сенсори деформації на основі ниткоподібних кристалів фосфіду галію
von: Дружинін, А.О., et al.
Veröffentlicht: (2019)

Високотемпературні сенсори деформації на основі ниткоподібних кристалів фосфіду галію
von: Druzhynin, Anatoliy, et al.
Veröffentlicht: (2019)

Поправка на щільність грунту при визначенні його вологості нейтронними вологомірами
von: Кетов, А.Ю., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Атестація робочих місць - засіб підвищення ефективності виробництва
von: Зайцев, Ю.Д.
Veröffentlicht: (1989)

Оптичні властивості наноматеріалів
von: Чекман, І.С., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Резистивні сенсори вологи на основі плівок наноцелюлози для біорозкладної електроніки
von: Lapshuda, Vladyslav, et al.
Veröffentlicht: (2022)

Дослідження процесу обтікання робочих органів потоком ґрунту
von: Кобець, А.С., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Сукупне визначення вологості та засоленості грунтів зрошувального землеробства за допомогою нейтронних методів
von: Кетов, А.Ю., et al.
Veröffentlicht: (2008)

ПІДВИЩЕННЯ ЗНОСОСТІЙКОСТІ РОБОЧИХ ОРГАНІВ ГІРНИЧОДОБУВНОЇ ТЕХНІКИ
von: Прокопів, Микола, et al.
Veröffentlicht: (2023)

ВОЛОКОННО-ОПТИЧНІ ПЕРЕТВОРЮВАЧІ ГАЗУ
von: Осадчук, В. С., et al.
Veröffentlicht: (2021)

Сенсори ультрафіолетового випромінювання на основі твердих розчинів ZnxCd1 – xS
von: Pavelets, S. Yu., et al.
Veröffentlicht: (2019)

Моніторинг атмосферного повітря. Проблеми моделювання і прогнозування
von: Трофімович, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2012)

РЕЗИСТИВНІ ДАТЧИКИ НА ОСНОВІ НАНОЦЕЛЮЛОЗИ ДЛЯ ВИЯВЛЕННЯ ВОЛОГОСТІ ПОВІТРЯ
von: LAPSHUDA, V., et al.
Veröffentlicht: (2024)

ОСОБЛИВОСТІ ЦИСТОУТВОРЕННЯ У АZOTOBACTER VINELANDII І АZOTOBACTER CHROOCOCCUM ЗА ВПЛИВУ ТЕМПЕРАТУРИ І ВОЛОГОСТІ
von: Нестеренко , В.М., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Потоковий спектрометр атмосферного аерозолю
von: Іванченко, Л.В., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Емiсiйнi властивостi аргонового плазмового струменя атмосферного тиску зi збудженням бар’єрним розрядом
von: Korbut, O. M., et al.
Veröffentlicht: (2019)

Порівняння оцінок потреб начальників і робочих видобувних дільниць вугільних шахт
von: Амоша, О.І., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Автоматические газоанализаторы загрязнения атмосферного воздуха
von: Михеева, И.Л., et al.
Veröffentlicht: (2003)

КУБІЧНИЙ АПАРАТ ВИСОКОГО ТИСКУ І ЙОГО МОЖЛИВОСТІ ЩОДО ГЕНЕРАЦІЇ ТИСКУ
von: Беженар, Микола, et al.
Veröffentlicht: (2024)

Оптичні характеристики біметалевих нанокуль
von: Korotun, A.V., et al.
Veröffentlicht: (2021)

Прогнозування вологості ненасиченої зони ґрунту на основі neo-fuzzy мережі
von: Пастушенко, В.Й., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Вивчення шляхів оптимізації робочих характеристик потенціометричних біосенсорів
von: Солдаткін, О.П.
Veröffentlicht: (1998)

ТЕРМОДИНАМІЧНИЙ РОЗРАХУНОК ДІАГРАМИ ПЛАВКОСТІ СИСТЕМИ Ga-N ЗА АТМОСФЕРНОГО ТА ВИСОКИХ ТИСКІВ
von: Туркевич, В. З., et al.
Veröffentlicht: (2022)

Вплив вологості та чистоти водню на надійність потужних електричних машин
von: Виговський, О.В., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Оптичні властивості здвоєних мікропризмових елементів
von: Петров, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2012)

АДЕКВАТНІСТЬ ЕЛЕКТРИЧНОГО МОДЕЛЮВАННЯ РОБОЧИХ ПРОЦЕСІВ У ВІДЦЕНТРОВОМУ НАСОСІ
von: Бойко, В.С., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Адекватність електричного моделювання робочих процесів у відцентрованому насосі
von: Бойко, В.С., et al.
Veröffentlicht: (2013)