ОПТИЧНІ СЕНСОРИ ВОЛОГОСТІ РОБОЧИХ ГАЗІВ ПІДВИЩЕНОГО І АТМОСФЕРНОГО ТИСКУ
Розглянуто вплив вологості на технологічний процес виготовлення інтегральних мікросхем, принципи побудови сенсорів вологості робочих плазмоутворюючих газів для мікроелектронної технології. Проаналізовано шляхи підвищення чутливості таких сенсорів і перспектива їх використання в технологічних умовах....
Збережено в:
| Дата: | 2013 |
|---|---|
| Автори: | Кравченко, Ю. С., Савицький, А. Ю. |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Українська |
| Опубліковано: |
Vinnytsia National Technical University
2013
|
| Онлайн доступ: | https://oeipt.vntu.edu.ua/index.php/oeipt/article/view/60 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Optoelectronic Information-Power Technologies |
Репозитарії
Optoelectronic Information-Power TechnologiesСхожі ресурси
ДІОДНІ СЕНСОРИ ВОЛОГОСТІ НА ОСНОВІ КРЕМНІЄВИХ 1D НАНОРОЗМІРНИХ СТРУКТУР
за авторством: LINEVYCH, Ya., та інші
Опубліковано: (2024)
за авторством: LINEVYCH, Ya., та інші
Опубліковано: (2024)
ГЕНЕРАТОРНІ СЕНСОРИ НА БАЗІ НЕГАТРОНІВ
за авторством: Ліщинська, Л. Б., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Ліщинська, Л. Б., та інші
Опубліковано: (2013)
ТЕРМОДИНАМІЧНИЙ РОЗРАХУНОК ДІАГРАМИ ПЛАВКОСТІ СИСТЕМИ Ga-N ЗА АТМОСФЕРНОГО ТА ВИСОКИХ ТИСКІВ
за авторством: Туркевич, В. З., та інші
Опубліковано: (2022)
за авторством: Туркевич, В. З., та інші
Опубліковано: (2022)
Високотемпературні сенсори деформації на основі ниткоподібних кристалів фосфіду галію
за авторством: Druzhynin, Anatoliy, та інші
Опубліковано: (2019)
за авторством: Druzhynin, Anatoliy, та інші
Опубліковано: (2019)
Порівняльний аналіз методів та засобів моніторингу стану атмосферного повітря
за авторством: Kulykivskyi, Oleksandr, та інші
Опубліковано: (2025)
за авторством: Kulykivskyi, Oleksandr, та інші
Опубліковано: (2025)
ВОЛОКОННО-ОПТИЧНІ ПЕРЕТВОРЮВАЧІ ГАЗУ
за авторством: Осадчук, В. С., та інші
Опубліковано: (2021)
за авторством: Осадчук, В. С., та інші
Опубліковано: (2021)
Резистивні сенсори вологи на основі плівок наноцелюлози для біорозкладної електроніки
за авторством: Lapshuda, Vladyslav, та інші
Опубліковано: (2022)
за авторством: Lapshuda, Vladyslav, та інші
Опубліковано: (2022)
ПЛОТНОСТЬ ЭЛЕКТРОНОВ В ОДНОКАНАЛЬНОМ ТЛЕЮЩЕМ РАЗРЯДЕ АТМОСФЕРНОГО ДАВЛЕНИЯ НА ПОВЕРХНОСТЬ ДИСТИЛЛИРОВАННОЙ ВОДЫ
за авторством: Шуаибов, А.К., та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: Шуаибов, А.К., та інші
Опубліковано: (2016)
КУБІЧНИЙ АПАРАТ ВИСОКОГО ТИСКУ І ЙОГО МОЖЛИВОСТІ ЩОДО ГЕНЕРАЦІЇ ТИСКУ
за авторством: Беженар, Микола, та інші
Опубліковано: (2024)
за авторством: Беженар, Микола, та інші
Опубліковано: (2024)
ОСОБЛИВОСТІ ЦИСТОУТВОРЕННЯ У АZOTOBACTER VINELANDII І АZOTOBACTER CHROOCOCCUM ЗА ВПЛИВУ ТЕМПЕРАТУРИ І ВОЛОГОСТІ
за авторством: Нестеренко , В.М., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Нестеренко , В.М., та інші
Опубліковано: (2012)
ПІДВИЩЕННЯ ЗНОСОСТІЙКОСТІ РОБОЧИХ ОРГАНІВ ГІРНИЧОДОБУВНОЇ ТЕХНІКИ
за авторством: Прокопів, Микола, та інші
Опубліковано: (2023)
за авторством: Прокопів, Микола, та інші
Опубліковано: (2023)
АДЕКВАТНІСТЬ ЕЛЕКТРИЧНОГО МОДЕЛЮВАННЯ РОБОЧИХ ПРОЦЕСІВ У ВІДЦЕНТРОВОМУ НАСОСІ
за авторством: Бойко, В.С., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Бойко, В.С., та інші
Опубліковано: (2013)
ЕФЕКТИВНІСТЬ РОБОЧИХ РЕЖИМІВ АСИНХРОННИХ ДВИГУНІВ ПОРШНЕВИХ КОМПРЕСОРІВ ПРИ ЧАСТОТНОМУ РЕГУЛЮВАННІ
за авторством: Бібік, О.В., та інші
Опубліковано: (2020)
за авторством: Бібік, О.В., та інші
Опубліковано: (2020)
ОСОБЛИВОСТІ ЗМІНИ РОБОЧИХ СТАНІВ ВИКОНАВЧИХ СТРУКТУР БАГАТОРІВНЕВИХ ВИПРЯМЛЯЧІВ
за авторством: Липківський, К.О., та інші
Опубліковано: (2023)
за авторством: Липківський, К.О., та інші
Опубліковано: (2023)
ОПТИЧНІ ТРАНСПОРТНІ ТЕХНОЛОГІЇ ДЛЯ РОЗПОДІЛЕНИХ ОБЧИСЛЕНЬ GRID
за авторством: Лисенко, Г. Л., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Лисенко, Г. Л., та інші
Опубліковано: (2017)
ДО ПИТАННЯ ВИЗНАЧЕННЯ ВИБІЙНИХ РОБОЧИХ ХАРАКТЕРИСТИК ПРИСТРОЇВ ГІДРОМЕХАНІЧНОГО БУРІННЯ
за авторством: Ігнатов, А.О.
Опубліковано: (2020)
за авторством: Ігнатов, А.О.
Опубліковано: (2020)
РЕЗИСТИВНІ ДАТЧИКИ НА ОСНОВІ НАНОЦЕЛЮЛОЗИ ДЛЯ ВИЯВЛЕННЯ ВОЛОГОСТІ ПОВІТРЯ
за авторством: LAPSHUDA, V., та інші
Опубліковано: (2024)
за авторством: LAPSHUDA, V., та інші
Опубліковано: (2024)
СТІЙКІСТЬ РОБОЧИХ РЕЖИМІВ АВТОНОМНИХ АСИНХРОННИХ ГЕНЕРАТОРІВ ІЗ САМОЗБУДЖЕННЯМ
за авторством: Красношапка, Н.Д, та інші
Опубліковано: (2024)
за авторством: Красношапка, Н.Д, та інші
Опубліковано: (2024)
МАТЕМАТИЧНА МОДЕЛЬ РОЗРАХУНКУ ТРАЄКТОРІЙ РОБОЧИХ ЕЛЕМЕНТІВ ЕЛЕКТРОМАГНІТНОГО МЛИНА
за авторством: Макарчук, О., та інші
Опубліковано: (2021)
за авторством: Макарчук, О., та інші
Опубліковано: (2021)
АНАЛІЗ ТА КЛАСИФІКАЦІЯ ВІДОМИХ МЕТОДІВ НЕРУЙНІВНОГО КОНТРОЛЮ ВОЛОГОСТІ ПОРОШКОПОДІБНИХ МАТЕРІАЛІВ
за авторством: Кухарчук, В. В., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Кухарчук, В. В., та інші
Опубліковано: (2013)
ПРОГНОЗУВАННЯ ВОЛОГОСТІ НЕНАСИЧЕНОЇ ЗОНИ ҐРУНТУ НА ОСНОВІ NEO-FUZZY МЕРЕЖІ
за авторством: Пастушенко, Володимир Йосипович, та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Пастушенко, Володимир Йосипович, та інші
Опубліковано: (2012)
Вплив вологості атмосфери на електрохімічні параметри анодних плівок діоксиду цирконію
за авторством: Efimenko, A. V., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Efimenko, A. V., та інші
Опубліковано: (2011)
Оптичні властивості наноструктурованих плівок WO3
за авторством: Fomanyuk, S. S., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Fomanyuk, S. S., та інші
Опубліковано: (2011)
ВИБІР ОПТИМАЛЬНОЇ ТЕХНОЛОГІЇ І ТЕХНОЛОГІЧНОГО УСТАТКУВАННЯ ДЛЯ ПОВЕРХНЕВОГО ЗМІЦНЕННЯ РОБОЧИХ ПОВЕРХОНЬ ПАР ТЕРТЯ
за авторством: GRYSHKEVYCH, O. D.
Опубліковано: (2025)
за авторством: GRYSHKEVYCH, O. D.
Опубліковано: (2025)
СТАТИКА, КІНЕТИКА ТА ЕНЕРГОЕФЕКТИВНІСТЬ ПРОЦЕСУ СУШІННЯ БАНАНІВ ДО НИЗЬКОЇ ЗАЛИШКОВОЇ ВОЛОГОСТІ
за авторством: Sniezhkin, Yu., та інші
Опубліковано: (2025)
за авторством: Sniezhkin, Yu., та інші
Опубліковано: (2025)
ВИСОКОШВИДКІСНІ ПАРАЛЕЛЬНІ ВОЛОКОННО-ОПТИЧНІ ІНТЕРФЕЙСИ ПЕРЕДАЧІ ДАНИХ
за авторством: Кожем‘яко, В. П., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Кожем‘яко, В. П., та інші
Опубліковано: (2013)
ОПТИЧНІ МЕТОДИ АНАЛІЗУ ФІЗІОЛОГІЧНОГО СТАНУ РОСЛИН ДЛЯ ЗАДАЧ СІЛЬСЬКОГО ГОСПОДАРСТВА ТА ЕКОЛОГІЧНОГО МОНІТОРИНГУ
за авторством: Тарновський, М. Г., та інші
Опубліковано: (2021)
за авторством: Тарновський, М. Г., та інші
Опубліковано: (2021)
РОЗРОБЛЕННЯ МАТЕМАТИЧНОЇ МОДЕЛІ ЗАДЛЯ РОЗРАХУНКУ ДОПУСТИМИХ ПАРАМЕТРІВ РОБОЧИХ РЕЖИМІВ ЧАСТОТНО-КЕРОВАНОГО ЕЛЕКТРОПРИВОДУ ШТАНГОВОЇ НАФТОВИДОБУВНОЇ УСТАНОВКИ
за авторством: Маляр, А.В., та інші
Опубліковано: (2020)
за авторством: Маляр, А.В., та інші
Опубліковано: (2020)
Оптичні аналого-цифрові перетворювачі УВЧ діапазона паралельного типу: огляд підходів і конструкцій
за авторством: Проскурін, Микола Петрович
Опубліковано: (2021)
за авторством: Проскурін, Микола Петрович
Опубліковано: (2021)
Методика оцінки додаткових витрат на підприємстві при переході на екологічні стандарти ЄС у сфері охорони атмосферного повітря
за авторством: Zanizdra, Mariya Yu.
Опубліковано: (2015)
за авторством: Zanizdra, Mariya Yu.
Опубліковано: (2015)
ФУНКЦІОНАЛЬНА СИСТЕМА ДЛЯ МОНІТОРИНГУ ТЕМПЕРАТУРИ ТА ВІДНОСНОЇ ВОЛОГОСТІ ПОВІТРЯ У ПІДОДЯГОВОМУ ПРОСТОРІ
за авторством: NOVAK, D., та інші
Опубліковано: (2024)
за авторством: NOVAK, D., та інші
Опубліковано: (2024)
ОПТИЧНІ ТОМОГРАФИ : ПРОБЛЕМИ ТА ПЕРСПЕКТИВИ ЗАСТОСУВАННЯ В МАМОЛОГІЇ
за авторством: Кожемя'яко, В. П., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Кожемя'яко, В. П., та інші
Опубліковано: (2013)
Оптичні технології підвищення репродуктивної здатності осетрових видів риб
за авторством: Тітова, Наталія Володимирівна, та інші
Опубліковано: (2020)
за авторством: Тітова, Наталія Володимирівна, та інші
Опубліковано: (2020)
Волоконно-оптичні технології в моніторингу повітряних ліній електропередачі
за авторством: Лежнюк, П. Д., та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: Лежнюк, П. Д., та інші
Опубліковано: (2016)
Особливості режимів освітлення, температури та вологості у кроновому та підкроновому просторі деревних рослин
за авторством: Gorelov, A.M., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Gorelov, A.M., та інші
Опубліковано: (2009)
КОМПЛЕКСНА МОДЕЛЬ З ЧАСТОТНО-ЗАЛЕЖНИМИ ПАРАМЕТРАМИ ДЛЯ РОЗРАХУНКУ РОБОЧИХ ХАРАКТЕРИСТИК МАГНІТОЕЛЕКТРИЧНОГО ВІБРАТОРА
за авторством: Бондар, Р.П., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Бондар, Р.П., та інші
Опубліковано: (2017)
СПОСОБИ ПІДВИЩЕННЯ ТОЧНОСТІ ОПТИЧНИХ ПЕРЕТВОРЮВАЧІВ КОНЦЕНТРАЦІЇ ГАЗІВ
за авторством: Осадчук, В. С., та інші
Опубліковано: (2021)
за авторством: Осадчук, В. С., та інші
Опубліковано: (2021)
ВИЗНАЧЕННЯ ТА АНАЛІЗ РОБОЧИХ ХАРАКТЕРИСТИК ВИСОКОВОЛЬТНИХ ЕЛЕКТРОТЕХНІЧНИХ СИСТЕМ НА ОСНОВІ ПОСЛІДОВНОГО ВИСОКОДОБРОТНОГО РЕЗОНАНСНОГО LC-КОНТУРУ
за авторством: Щерба , А.А., та інші
Опубліковано: (2024)
за авторством: Щерба , А.А., та інші
Опубліковано: (2024)
ПІДВИЩЕННЯ ЕФЕКТИВНОСТІ ТЕПЛОУТИЛІЗАЦІЙНИХ ЕНЕРГОУСТАНОВОК НА НИЗЬКОКИПЛЯЧИХ РОБОЧИХ ТІЛАХ НА ЗМІННИХ РЕЖИМАХ ЇХ РОБОТИ
за авторством: Serhiienko, R.
Опубліковано: (2017)
за авторством: Serhiienko, R.
Опубліковано: (2017)
Синтез, оптичні та фотокаталітичні властивості мезопористих залізовмісних плівок діоксиду титану
за авторством: Chorna, N. A., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Chorna, N. A., та інші
Опубліковано: (2017)
Схожі ресурси
-
ДІОДНІ СЕНСОРИ ВОЛОГОСТІ НА ОСНОВІ КРЕМНІЄВИХ 1D НАНОРОЗМІРНИХ СТРУКТУР
за авторством: LINEVYCH, Ya., та інші
Опубліковано: (2024) -
ГЕНЕРАТОРНІ СЕНСОРИ НА БАЗІ НЕГАТРОНІВ
за авторством: Ліщинська, Л. Б., та інші
Опубліковано: (2013) -
ТЕРМОДИНАМІЧНИЙ РОЗРАХУНОК ДІАГРАМИ ПЛАВКОСТІ СИСТЕМИ Ga-N ЗА АТМОСФЕРНОГО ТА ВИСОКИХ ТИСКІВ
за авторством: Туркевич, В. З., та інші
Опубліковано: (2022) -
Високотемпературні сенсори деформації на основі ниткоподібних кристалів фосфіду галію
за авторством: Druzhynin, Anatoliy, та інші
Опубліковано: (2019) -
Порівняльний аналіз методів та засобів моніторингу стану атмосферного повітря
за авторством: Kulykivskyi, Oleksandr, та інші
Опубліковано: (2025)