ОПТИЧНІ СЕНСОРИ ВОЛОГОСТІ РОБОЧИХ ГАЗІВ ПІДВИЩЕНОГО І АТМОСФЕРНОГО ТИСКУ
Розглянуто вплив вологості на технологічний процес виготовлення інтегральних мікросхем, принципи побудови сенсорів вологості робочих плазмоутворюючих газів для мікроелектронної технології. Проаналізовано шляхи підвищення чутливості таких сенсорів і перспектива їх використання в технологічних умовах....
Gespeichert in:
| Datum: | 2013 |
|---|---|
| Hauptverfasser: | Кравченко, Ю. С., Савицький, А. Ю. |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Ukrainisch |
| Veröffentlicht: |
Vinnytsia National Technical University
2013
|
| Online Zugang: | https://oeipt.vntu.edu.ua/index.php/oeipt/article/view/60 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Optoelectronic Information-Power Technologies |
Institution
Optoelectronic Information-Power TechnologiesÄhnliche Einträge
ДІОДНІ СЕНСОРИ ВОЛОГОСТІ НА ОСНОВІ КРЕМНІЄВИХ 1D НАНОРОЗМІРНИХ СТРУКТУР
von: LINEVYCH, Ya., et al.
Veröffentlicht: (2024)
von: LINEVYCH, Ya., et al.
Veröffentlicht: (2024)
ГЕНЕРАТОРНІ СЕНСОРИ НА БАЗІ НЕГАТРОНІВ
von: Ліщинська, Л. Б., et al.
Veröffentlicht: (2013)
von: Ліщинська, Л. Б., et al.
Veröffentlicht: (2013)
ТЕРМОДИНАМІЧНИЙ РОЗРАХУНОК ДІАГРАМИ ПЛАВКОСТІ СИСТЕМИ Ga-N ЗА АТМОСФЕРНОГО ТА ВИСОКИХ ТИСКІВ
von: Туркевич, В. З., et al.
Veröffentlicht: (2022)
von: Туркевич, В. З., et al.
Veröffentlicht: (2022)
Високотемпературні сенсори деформації на основі ниткоподібних кристалів фосфіду галію
von: Druzhynin, Anatoliy, et al.
Veröffentlicht: (2019)
von: Druzhynin, Anatoliy, et al.
Veröffentlicht: (2019)
Порівняльний аналіз методів та засобів моніторингу стану атмосферного повітря
von: Kulykivskyi, Oleksandr, et al.
Veröffentlicht: (2025)
von: Kulykivskyi, Oleksandr, et al.
Veröffentlicht: (2025)
ВОЛОКОННО-ОПТИЧНІ ПЕРЕТВОРЮВАЧІ ГАЗУ
von: Осадчук, В. С., et al.
Veröffentlicht: (2021)
von: Осадчук, В. С., et al.
Veröffentlicht: (2021)
Резистивні сенсори вологи на основі плівок наноцелюлози для біорозкладної електроніки
von: Lapshuda, Vladyslav, et al.
Veröffentlicht: (2022)
von: Lapshuda, Vladyslav, et al.
Veröffentlicht: (2022)
ПЛОТНОСТЬ ЭЛЕКТРОНОВ В ОДНОКАНАЛЬНОМ ТЛЕЮЩЕМ РАЗРЯДЕ АТМОСФЕРНОГО ДАВЛЕНИЯ НА ПОВЕРХНОСТЬ ДИСТИЛЛИРОВАННОЙ ВОДЫ
von: Шуаибов, А.К., et al.
Veröffentlicht: (2016)
von: Шуаибов, А.К., et al.
Veröffentlicht: (2016)
КУБІЧНИЙ АПАРАТ ВИСОКОГО ТИСКУ І ЙОГО МОЖЛИВОСТІ ЩОДО ГЕНЕРАЦІЇ ТИСКУ
von: Беженар, Микола, et al.
Veröffentlicht: (2024)
von: Беженар, Микола, et al.
Veröffentlicht: (2024)
ОСОБЛИВОСТІ ЦИСТОУТВОРЕННЯ У АZOTOBACTER VINELANDII І АZOTOBACTER CHROOCOCCUM ЗА ВПЛИВУ ТЕМПЕРАТУРИ І ВОЛОГОСТІ
von: Нестеренко , В.М., et al.
Veröffentlicht: (2012)
von: Нестеренко , В.М., et al.
Veröffentlicht: (2012)
ПІДВИЩЕННЯ ЗНОСОСТІЙКОСТІ РОБОЧИХ ОРГАНІВ ГІРНИЧОДОБУВНОЇ ТЕХНІКИ
von: Прокопів, Микола, et al.
Veröffentlicht: (2023)
von: Прокопів, Микола, et al.
Veröffentlicht: (2023)
АДЕКВАТНІСТЬ ЕЛЕКТРИЧНОГО МОДЕЛЮВАННЯ РОБОЧИХ ПРОЦЕСІВ У ВІДЦЕНТРОВОМУ НАСОСІ
von: Бойко, В.С., et al.
Veröffentlicht: (2013)
von: Бойко, В.С., et al.
Veröffentlicht: (2013)
ЕФЕКТИВНІСТЬ РОБОЧИХ РЕЖИМІВ АСИНХРОННИХ ДВИГУНІВ ПОРШНЕВИХ КОМПРЕСОРІВ ПРИ ЧАСТОТНОМУ РЕГУЛЮВАННІ
von: Бібік, О.В., et al.
Veröffentlicht: (2020)
von: Бібік, О.В., et al.
Veröffentlicht: (2020)
ОСОБЛИВОСТІ ЗМІНИ РОБОЧИХ СТАНІВ ВИКОНАВЧИХ СТРУКТУР БАГАТОРІВНЕВИХ ВИПРЯМЛЯЧІВ
von: Липківський, К.О., et al.
Veröffentlicht: (2023)
von: Липківський, К.О., et al.
Veröffentlicht: (2023)
ОПТИЧНІ ТРАНСПОРТНІ ТЕХНОЛОГІЇ ДЛЯ РОЗПОДІЛЕНИХ ОБЧИСЛЕНЬ GRID
von: Лисенко, Г. Л., et al.
Veröffentlicht: (2017)
von: Лисенко, Г. Л., et al.
Veröffentlicht: (2017)
ДО ПИТАННЯ ВИЗНАЧЕННЯ ВИБІЙНИХ РОБОЧИХ ХАРАКТЕРИСТИК ПРИСТРОЇВ ГІДРОМЕХАНІЧНОГО БУРІННЯ
von: Ігнатов, А.О.
Veröffentlicht: (2020)
von: Ігнатов, А.О.
Veröffentlicht: (2020)
РЕЗИСТИВНІ ДАТЧИКИ НА ОСНОВІ НАНОЦЕЛЮЛОЗИ ДЛЯ ВИЯВЛЕННЯ ВОЛОГОСТІ ПОВІТРЯ
von: LAPSHUDA, V., et al.
Veröffentlicht: (2024)
von: LAPSHUDA, V., et al.
Veröffentlicht: (2024)
СТІЙКІСТЬ РОБОЧИХ РЕЖИМІВ АВТОНОМНИХ АСИНХРОННИХ ГЕНЕРАТОРІВ ІЗ САМОЗБУДЖЕННЯМ
von: Красношапка, Н.Д, et al.
Veröffentlicht: (2024)
von: Красношапка, Н.Д, et al.
Veröffentlicht: (2024)
МАТЕМАТИЧНА МОДЕЛЬ РОЗРАХУНКУ ТРАЄКТОРІЙ РОБОЧИХ ЕЛЕМЕНТІВ ЕЛЕКТРОМАГНІТНОГО МЛИНА
von: Макарчук, О., et al.
Veröffentlicht: (2021)
von: Макарчук, О., et al.
Veröffentlicht: (2021)
АНАЛІЗ ТА КЛАСИФІКАЦІЯ ВІДОМИХ МЕТОДІВ НЕРУЙНІВНОГО КОНТРОЛЮ ВОЛОГОСТІ ПОРОШКОПОДІБНИХ МАТЕРІАЛІВ
von: Кухарчук, В. В., et al.
Veröffentlicht: (2013)
von: Кухарчук, В. В., et al.
Veröffentlicht: (2013)
ПРОГНОЗУВАННЯ ВОЛОГОСТІ НЕНАСИЧЕНОЇ ЗОНИ ҐРУНТУ НА ОСНОВІ NEO-FUZZY МЕРЕЖІ
von: Пастушенко, Володимир Йосипович, et al.
Veröffentlicht: (2012)
von: Пастушенко, Володимир Йосипович, et al.
Veröffentlicht: (2012)
Вплив вологості атмосфери на електрохімічні параметри анодних плівок діоксиду цирконію
von: Efimenko, A. V., et al.
Veröffentlicht: (2011)
von: Efimenko, A. V., et al.
Veröffentlicht: (2011)
Оптичні властивості наноструктурованих плівок WO3
von: Fomanyuk, S. S., et al.
Veröffentlicht: (2011)
von: Fomanyuk, S. S., et al.
Veröffentlicht: (2011)
ВИБІР ОПТИМАЛЬНОЇ ТЕХНОЛОГІЇ І ТЕХНОЛОГІЧНОГО УСТАТКУВАННЯ ДЛЯ ПОВЕРХНЕВОГО ЗМІЦНЕННЯ РОБОЧИХ ПОВЕРХОНЬ ПАР ТЕРТЯ
von: GRYSHKEVYCH, O. D.
Veröffentlicht: (2025)
von: GRYSHKEVYCH, O. D.
Veröffentlicht: (2025)
СТАТИКА, КІНЕТИКА ТА ЕНЕРГОЕФЕКТИВНІСТЬ ПРОЦЕСУ СУШІННЯ БАНАНІВ ДО НИЗЬКОЇ ЗАЛИШКОВОЇ ВОЛОГОСТІ
von: Sniezhkin, Yu., et al.
Veröffentlicht: (2025)
von: Sniezhkin, Yu., et al.
Veröffentlicht: (2025)
ВИСОКОШВИДКІСНІ ПАРАЛЕЛЬНІ ВОЛОКОННО-ОПТИЧНІ ІНТЕРФЕЙСИ ПЕРЕДАЧІ ДАНИХ
von: Кожем‘яко, В. П., et al.
Veröffentlicht: (2013)
von: Кожем‘яко, В. П., et al.
Veröffentlicht: (2013)
ОПТИЧНІ МЕТОДИ АНАЛІЗУ ФІЗІОЛОГІЧНОГО СТАНУ РОСЛИН ДЛЯ ЗАДАЧ СІЛЬСЬКОГО ГОСПОДАРСТВА ТА ЕКОЛОГІЧНОГО МОНІТОРИНГУ
von: Тарновський, М. Г., et al.
Veröffentlicht: (2021)
von: Тарновський, М. Г., et al.
Veröffentlicht: (2021)
РОЗРОБЛЕННЯ МАТЕМАТИЧНОЇ МОДЕЛІ ЗАДЛЯ РОЗРАХУНКУ ДОПУСТИМИХ ПАРАМЕТРІВ РОБОЧИХ РЕЖИМІВ ЧАСТОТНО-КЕРОВАНОГО ЕЛЕКТРОПРИВОДУ ШТАНГОВОЇ НАФТОВИДОБУВНОЇ УСТАНОВКИ
von: Маляр, А.В., et al.
Veröffentlicht: (2020)
von: Маляр, А.В., et al.
Veröffentlicht: (2020)
Оптичні аналого-цифрові перетворювачі УВЧ діапазона паралельного типу: огляд підходів і конструкцій
von: Проскурін, Микола Петрович
Veröffentlicht: (2021)
von: Проскурін, Микола Петрович
Veröffentlicht: (2021)
Методика оцінки додаткових витрат на підприємстві при переході на екологічні стандарти ЄС у сфері охорони атмосферного повітря
von: Zanizdra, Mariya Yu.
Veröffentlicht: (2015)
von: Zanizdra, Mariya Yu.
Veröffentlicht: (2015)
ФУНКЦІОНАЛЬНА СИСТЕМА ДЛЯ МОНІТОРИНГУ ТЕМПЕРАТУРИ ТА ВІДНОСНОЇ ВОЛОГОСТІ ПОВІТРЯ У ПІДОДЯГОВОМУ ПРОСТОРІ
von: NOVAK, D., et al.
Veröffentlicht: (2024)
von: NOVAK, D., et al.
Veröffentlicht: (2024)
ОПТИЧНІ ТОМОГРАФИ : ПРОБЛЕМИ ТА ПЕРСПЕКТИВИ ЗАСТОСУВАННЯ В МАМОЛОГІЇ
von: Кожемя'яко, В. П., et al.
Veröffentlicht: (2013)
von: Кожемя'яко, В. П., et al.
Veröffentlicht: (2013)
Оптичні технології підвищення репродуктивної здатності осетрових видів риб
von: Тітова, Наталія Володимирівна, et al.
Veröffentlicht: (2020)
von: Тітова, Наталія Володимирівна, et al.
Veröffentlicht: (2020)
Волоконно-оптичні технології в моніторингу повітряних ліній електропередачі
von: Лежнюк, П. Д., et al.
Veröffentlicht: (2016)
von: Лежнюк, П. Д., et al.
Veröffentlicht: (2016)
Особливості режимів освітлення, температури та вологості у кроновому та підкроновому просторі деревних рослин
von: Gorelov, A.M., et al.
Veröffentlicht: (2009)
von: Gorelov, A.M., et al.
Veröffentlicht: (2009)
КОМПЛЕКСНА МОДЕЛЬ З ЧАСТОТНО-ЗАЛЕЖНИМИ ПАРАМЕТРАМИ ДЛЯ РОЗРАХУНКУ РОБОЧИХ ХАРАКТЕРИСТИК МАГНІТОЕЛЕКТРИЧНОГО ВІБРАТОРА
von: Бондар, Р.П., et al.
Veröffentlicht: (2017)
von: Бондар, Р.П., et al.
Veröffentlicht: (2017)
СПОСОБИ ПІДВИЩЕННЯ ТОЧНОСТІ ОПТИЧНИХ ПЕРЕТВОРЮВАЧІВ КОНЦЕНТРАЦІЇ ГАЗІВ
von: Осадчук, В. С., et al.
Veröffentlicht: (2021)
von: Осадчук, В. С., et al.
Veröffentlicht: (2021)
ВИЗНАЧЕННЯ ТА АНАЛІЗ РОБОЧИХ ХАРАКТЕРИСТИК ВИСОКОВОЛЬТНИХ ЕЛЕКТРОТЕХНІЧНИХ СИСТЕМ НА ОСНОВІ ПОСЛІДОВНОГО ВИСОКОДОБРОТНОГО РЕЗОНАНСНОГО LC-КОНТУРУ
von: Щерба , А.А., et al.
Veröffentlicht: (2024)
von: Щерба , А.А., et al.
Veröffentlicht: (2024)
ПІДВИЩЕННЯ ЕФЕКТИВНОСТІ ТЕПЛОУТИЛІЗАЦІЙНИХ ЕНЕРГОУСТАНОВОК НА НИЗЬКОКИПЛЯЧИХ РОБОЧИХ ТІЛАХ НА ЗМІННИХ РЕЖИМАХ ЇХ РОБОТИ
von: Serhiienko, R.
Veröffentlicht: (2017)
von: Serhiienko, R.
Veröffentlicht: (2017)
Синтез, оптичні та фотокаталітичні властивості мезопористих залізовмісних плівок діоксиду титану
von: Chorna, N. A., et al.
Veröffentlicht: (2017)
von: Chorna, N. A., et al.
Veröffentlicht: (2017)
Ähnliche Einträge
-
ДІОДНІ СЕНСОРИ ВОЛОГОСТІ НА ОСНОВІ КРЕМНІЄВИХ 1D НАНОРОЗМІРНИХ СТРУКТУР
von: LINEVYCH, Ya., et al.
Veröffentlicht: (2024) -
ГЕНЕРАТОРНІ СЕНСОРИ НА БАЗІ НЕГАТРОНІВ
von: Ліщинська, Л. Б., et al.
Veröffentlicht: (2013) -
ТЕРМОДИНАМІЧНИЙ РОЗРАХУНОК ДІАГРАМИ ПЛАВКОСТІ СИСТЕМИ Ga-N ЗА АТМОСФЕРНОГО ТА ВИСОКИХ ТИСКІВ
von: Туркевич, В. З., et al.
Veröffentlicht: (2022) -
Високотемпературні сенсори деформації на основі ниткоподібних кристалів фосфіду галію
von: Druzhynin, Anatoliy, et al.
Veröffentlicht: (2019) -
Порівняльний аналіз методів та засобів моніторингу стану атмосферного повітря
von: Kulykivskyi, Oleksandr, et al.
Veröffentlicht: (2025)