Cover Image

ОПТИЧНІ СЕНСОРИ ВОЛОГОСТІ РОБОЧИХ ГАЗІВ ПІДВИЩЕНОГО І АТМОСФЕРНОГО ТИСКУ

Розглянуто вплив вологості на технологічний процес виготовлення інтегральних мікросхем, принципи побудови сенсорів вологості робочих плазмоутворюючих газів для мікроелектронної технології. Проаналізовано шляхи підвищення чутливості таких сенсорів і перспектива їх використання в технологічних умовах....

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Date:2013
Main Authors: Кравченко, Ю. С., Савицький, А. Ю.
Format: Article
Language:Ukrainian
Published: Vinnytsia National Technical University 2013
Online Access:https://oeipt.vntu.edu.ua/index.php/oeipt/article/view/60
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Optoelectronic Information-Power Technologies

Institution

Optoelectronic Information-Power Technologies

Similar Items

Similar Items