ФОТОЕЛЕКТРИЧНІ ВЛАСТИВОСТІ ПРИЙМАЧІВ ВИПРОМІНЮВАННЯ, ВИГОТОВЛЕНИХ НА ІОННО ТРАВЛЕНИХ ПОВЕРХНЯХ КРЕМНІЮ

В роботі досліджується вплив іонного травлення поверхонь пластин кремнію на основні параметри фотодіодів, виготовлених на цих поверхнях.

Saved in:

Bibliographic Details
Date:	2013
Main Authors:	Житарюк, В. Г., Годованюк, В. М., Докторович, І. В.
Format:	Article
Language:	Ukrainian
Published:	Vinnytsia National Technical University 2013
Online Access:	https://oeipt.vntu.edu.ua/index.php/oeipt/article/view/92
Tags:	Add Tag No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:	Optoelectronic Information-Power Technologies

Institution

Optoelectronic Information-Power Technologies

Description
Summary:	В роботі досліджується вплив іонного травлення поверхонь пластин кремнію на основні параметри фотодіодів, виготовлених на цих поверхнях.