Структура та властивості поруватого кремнію, що утворюється при електрохімічному розчиненні монокристала

• Date: 2004
• Author Affiliations: T. I. Gorbanyuk — Інститут фізики напівпровідників Національної академіії наук України; V. S. Solntsev — Київський національний університет ім. Тараса Шевченка
• Keywords: keywords
• Main Authors: Gorbanyuk, T. I., Solntsev, V. S.
• Format: Article
• Language: Ukrainian
• Published: Chuiko Institute of Surface Chemistry National Academy of Sciences of Ukraine 2004
• Online Access: https://surfacezbir.com.ua/index.php/surface/article/view/141
• Journal Title: Surface

The structure of porous Si has been studied by scanning electron microscopy (SEM) and atomic force microscopy (AFM) as dependent on the conditions of electrochemical dissolution of single-crystal p–type silicon. The formation has been found of two-layer nanoporous silicon polymer film, of microporou...