Дослідження морфології наночастинок SiO2 у полірувальних суспензіях методами АСМ і СЕМ
A method is described of obtaining and investigation of the morphology of nanoparticles in concentrated aqueous slurries based on pyrogenic silica and silica sol obtained by the ion exchange technology. These results are useful for development of polishing compositions and also to establish the form...
Збережено в:
| Дата: | 2014 |
|---|---|
| Автори: | , , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Українська |
| Опубліковано: |
Chuiko Institute of Surface Chemistry National Academy of Sciences of Ukraine
2014
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://www.cpts.com.ua/index.php/cpts/article/view/266 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Chemistry, Physics and Technology of Surface |
Репозитарії
Chemistry, Physics and Technology of Surface| _version_ | 1856543842195472384 |
|---|---|
| author | Kosenok, Ya. A. Gaishun, V. E. Tyulenkova, O. I. Denisman, V. G. Gerasimenya, T. A. Matyushonok, O. A. |
| author_facet | Kosenok, Ya. A. Gaishun, V. E. Tyulenkova, O. I. Denisman, V. G. Gerasimenya, T. A. Matyushonok, O. A. |
| author_sort | Kosenok, Ya. A. |
| baseUrl_str | |
| collection | OJS |
| datestamp_date | 2022-06-29T10:18:27Z |
| description | A method is described of obtaining and investigation of the morphology of nanoparticles in concentrated aqueous slurries based on pyrogenic silica and silica sol obtained by the ion exchange technology. These results are useful for development of polishing compositions and also to establish the formation regularities of structural, chemical and electrical properties of the surface as well as for the explanation of the mechanism of chemical-mechanical polishing of semiconductor materials. |
| first_indexed | 2025-07-22T19:31:37Z |
| format | Article |
| id | oai:ojs.pkp.sfu.ca:article-266 |
| institution | Chemistry, Physics and Technology of Surface |
| language | Ukrainian |
| last_indexed | 2025-12-17T12:07:14Z |
| publishDate | 2014 |
| publisher | Chuiko Institute of Surface Chemistry National Academy of Sciences of Ukraine |
| record_format | ojs |
| spelling | oai:ojs.pkp.sfu.ca:article-2662022-06-29T10:18:27Z AFM and SEM study on the morphology of SiO2 nanoparticles in polishing slurries Исследование морфологии наночастиц SiO2 в полирующих суспензиях методами АСМ и СЭМ Дослідження морфології наночастинок SiO2 у полірувальних суспензіях методами АСМ і СЕМ Kosenok, Ya. A. Gaishun, V. E. Tyulenkova, O. I. Denisman, V. G. Gerasimenya, T. A. Matyushonok, O. A. polishing slurry silica nanoparticles AFM study SEM study silica sol полірування суспензії наночастинки кремнезему АСМ та СЕМ дослідження силікатний золь полировка суспензии наночастицы кремнезема АСМ и СЭМ исследования силикатный золь A method is described of obtaining and investigation of the morphology of nanoparticles in concentrated aqueous slurries based on pyrogenic silica and silica sol obtained by the ion exchange technology. These results are useful for development of polishing compositions and also to establish the formation regularities of structural, chemical and electrical properties of the surface as well as for the explanation of the mechanism of chemical-mechanical polishing of semiconductor materials. Описывается методика получения и результаты исследований морфологии наночастиц в концентрированных водных суспензиях на основе пирогенного диоксида кремния, а также силикатного золя, полученного по ионообменной технологии. Результаты имеют значение для разработки полировальных композиций, а также для установления закономерностей формирования структурных, химических и электрофизических свойств поверхности и объяснения механизма химико-механической полировки полупроводниковых материалов. Описується методика одержання та результати досліджень морфології наночастинок у концентрованих водних суспензіях на основі пірогенного діоксиду кремнію, а також силікатного золю, одержаного за іонообмінною технологєю. Результати мають значення для розробки полірувальних композицій, а також для встановлення закономірностей формування структурних, хімічних та електрофізичних властивостей поверхні і пояснення механізму хіміко-механічної поліровки напівпровідникових матеріалів. Chuiko Institute of Surface Chemistry National Academy of Sciences of Ukraine 2014-02-01 Article Article application/pdf https://www.cpts.com.ua/index.php/cpts/article/view/266 Chemistry, Physics and Technology of Surface; Vol. 5 No. 1 (2014): Chemistry, Physics and Technology of Surface / Himia, Fizika ta Tehnologia Poverhni; 89-93 Химия, физика и технология поверхности; Том 5 № 1 (2014): Химия, физика и технология поверхности; 89-93 Хімія, фізика та технологія поверхні; Том 5 № 1 (2014): Хімія, фізика та технологія поверхні; 89-93 2518-1238 2079-1704 10.15407/hftp05.01 uk https://www.cpts.com.ua/index.php/cpts/article/view/266/263 Copyright (c) 2014 Ya. A. Kosenok, V. E. Gaishun, O. I. Tyulenkova, V. G. Denisman, T. A. Gerasimenya, O. A. Matyushonok |
| spellingShingle | полірування суспензії наночастинки кремнезему АСМ та СЕМ дослідження силікатний золь Kosenok, Ya. A. Gaishun, V. E. Tyulenkova, O. I. Denisman, V. G. Gerasimenya, T. A. Matyushonok, O. A. Дослідження морфології наночастинок SiO2 у полірувальних суспензіях методами АСМ і СЕМ |
| title | Дослідження морфології наночастинок SiO2 у полірувальних суспензіях методами АСМ і СЕМ |
| title_alt | AFM and SEM study on the morphology of SiO2 nanoparticles in polishing slurries Исследование морфологии наночастиц SiO2 в полирующих суспензиях методами АСМ и СЭМ |
| title_full | Дослідження морфології наночастинок SiO2 у полірувальних суспензіях методами АСМ і СЕМ |
| title_fullStr | Дослідження морфології наночастинок SiO2 у полірувальних суспензіях методами АСМ і СЕМ |
| title_full_unstemmed | Дослідження морфології наночастинок SiO2 у полірувальних суспензіях методами АСМ і СЕМ |
| title_short | Дослідження морфології наночастинок SiO2 у полірувальних суспензіях методами АСМ і СЕМ |
| title_sort | дослідження морфології наночастинок sio2 у полірувальних суспензіях методами асм і сем |
| topic | полірування суспензії наночастинки кремнезему АСМ та СЕМ дослідження силікатний золь |
| topic_facet | polishing slurry silica nanoparticles AFM study SEM study silica sol полірування суспензії наночастинки кремнезему АСМ та СЕМ дослідження силікатний золь полировка суспензии наночастицы кремнезема АСМ и СЭМ исследования силикатный золь |
| url | https://www.cpts.com.ua/index.php/cpts/article/view/266 |
| work_keys_str_mv | AT kosenokyaa afmandsemstudyonthemorphologyofsio2nanoparticlesinpolishingslurries AT gaishunve afmandsemstudyonthemorphologyofsio2nanoparticlesinpolishingslurries AT tyulenkovaoi afmandsemstudyonthemorphologyofsio2nanoparticlesinpolishingslurries AT denismanvg afmandsemstudyonthemorphologyofsio2nanoparticlesinpolishingslurries AT gerasimenyata afmandsemstudyonthemorphologyofsio2nanoparticlesinpolishingslurries AT matyushonokoa afmandsemstudyonthemorphologyofsio2nanoparticlesinpolishingslurries AT kosenokyaa issledovaniemorfologiinanočasticsio2vpoliruûŝihsuspenziâhmetodamiasmisém AT gaishunve issledovaniemorfologiinanočasticsio2vpoliruûŝihsuspenziâhmetodamiasmisém AT tyulenkovaoi issledovaniemorfologiinanočasticsio2vpoliruûŝihsuspenziâhmetodamiasmisém AT denismanvg issledovaniemorfologiinanočasticsio2vpoliruûŝihsuspenziâhmetodamiasmisém AT gerasimenyata issledovaniemorfologiinanočasticsio2vpoliruûŝihsuspenziâhmetodamiasmisém AT matyushonokoa issledovaniemorfologiinanočasticsio2vpoliruûŝihsuspenziâhmetodamiasmisém AT kosenokyaa doslídžennâmorfologíínanočastinoksio2upolíruvalʹnihsuspenzíâhmetodamiasmísem AT gaishunve doslídžennâmorfologíínanočastinoksio2upolíruvalʹnihsuspenzíâhmetodamiasmísem AT tyulenkovaoi doslídžennâmorfologíínanočastinoksio2upolíruvalʹnihsuspenzíâhmetodamiasmísem AT denismanvg doslídžennâmorfologíínanočastinoksio2upolíruvalʹnihsuspenzíâhmetodamiasmísem AT gerasimenyata doslídžennâmorfologíínanočastinoksio2upolíruvalʹnihsuspenzíâhmetodamiasmísem AT matyushonokoa doslídžennâmorfologíínanočastinoksio2upolíruvalʹnihsuspenzíâhmetodamiasmísem |