Зображення обкладинки

Usage of suspensions based on fumed silica for mechano-chemical polishing of single-crystalline silicon

This article describes a preparation technique of polishing suspensions based on pyrogenic silicon dioxide nanoparticles, determines their basic technical characteristics, and also the guidelines on their usage are given in the mechano-chemical polishing process of semiconductor wafers of single-cry...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2008
Автори:	Gaishun, V. E., Kosenok, Y. A., Tyulenkova, O. I., Turov, V. V., Gun'ko, V. M.
Формат:	Стаття
Мова:	Російська
Опубліковано:	Chuiko Institute of Surface Chemistry National Academy of Sciences of Ukraine 2008
Онлайн доступ:	https://surfacezbir.com.ua/index.php/surface/article/view/300
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Surface
Завантажити файл:

Репозитарії

Surface

Схожі ресурси

Effect of basic stabilizers on the structure of hydrate covers of high disperses silica particles according to 1H NMR spectroscopy data
за авторством: Gaishun, V. E., та інші
Опубліковано: (2007)

Study of rheological properties of vaseline oil suspensions of fumed silica modified with poly(dimethylsiloxane)
за авторством: O. V. Honcharuk, та інші
Опубліковано: (2019)

Influence of Solution pH on Stability of Fumed Silica–Polyacrylic Acid Systems
за авторством: Wiśniewska, M., та інші
Опубліковано: (2010)

Effect of fumed silica on germination of wheat and state of water in their roots
за авторством: V. V. Turov, та інші
Опубліковано: (2011)

Effect of fumed silicas and their mixtures on the germination of winter wheat
за авторством: A. P. Holovan, та інші
Опубліковано: (2017)

Structural and adsorptive features of fumed silicas synthesized under varied conditions
за авторством: Gun'ko, V. M., та інші
Опубліковано: (2001)

Textural characteristics and organization of composites with fumed silicas and high-molecular weight compounds
за авторством: V. M. Gunko
Опубліковано: (2022)

Confined space effects on various liquids interacting with fumed nanooxides and porous silicas
за авторством: V. M. Gunko
Опубліковано: (2022)

Interaction of fumed silica with some drugs
за авторством: N. N. Vlasova
Опубліковано: (2016)

Thermal destruction of epoxy fumed silica nanocomposites
за авторством: N. V. Sigareva, та інші
Опубліковано: (2013)

Development of a preparation technique and study on the properties of concentrated aqueous dispersions based on nanoscale particles of pyrogenic silica with low specific surface area
за авторством: Gaishun, V. E., та інші
Опубліковано: (2007)

Adsorption of acridine onto fumed silica surface
за авторством: Vlasova, N. N., та інші
Опубліковано: (2009)

Fumed silica with grafted silicon-hydride groups as a redox active component in the composite with caffeic acid
за авторством: P. O. Kuzema, та інші
Опубліковано: (2020)

Encapsulation of cellular suspensions of lactic bacteria with silica
за авторством: T. V. Krupska, та інші
Опубліковано: (2021)

Adsorption of doxorubicin by fumed silica and magnetite/siloxane nanocomposites
за авторством: A. L. Petranovska, та інші
Опубліковано: (2015)

Reinforcement of epoxy polymers with hydride-silylated fumed silica
за авторством: P. O. Kuzema, та інші
Опубліковано: (2020)

Synthesis and properties of nanocomposites based onzinc phosphate and fumed silica
за авторством: V. M. Bohatyrov, та інші
Опубліковано: (2020)

Synthesis and determination of hydrophobicity of fumed silica modified by trymetylsylil groups
за авторством: E. V. Goncharuk, та інші
Опубліковано: (2013)

Effect of Disperse Silica on Bound Water in Frozen Cellular Suspensions
за авторством: V. V. Turov, та інші
Опубліковано: (2002)

Properties of composite systems based on suspensions of lactobacillus and silica
за авторством: T. V. Krupska, та інші
Опубліковано: (2022)

Porosity and packing features of nano- and micro-particles of carbon and silica adsorbents
за авторством: V. M. Gun'ko
Опубліковано: (2023)

Rheological properties of composite suspensions based on silicate sole and nanosize particles of silicon dioxide for electronics applications
за авторством: Ja. A. Kosenok, та інші
Опубліковано: (2014)

High disperse silica in aqueous media
за авторством: Gun'ko, V. M., та інші
Опубліковано: (2006)

Adsorption of dipeptides onto fumed silica surface from aqueous solutions
за авторством: Vlasova, N. N., та інші
Опубліковано: (2008)

Coadsorbtion of water and organic substances in GASIL 200DF silica pores
за авторством: Turov, V. V., та інші
Опубліковано: (2009)

The water clusters formation at interface water – fumed alumina/silica, modifeid by polyetylenglycol
за авторством: L. S. Andriiko, та інші
Опубліковано: (2012)

Deagglomeration of aerosil in polishing suspension for chemical-mechanical polishing of sapphire
за авторством: Vovk, E.A.
Опубліковано: (2015)

Chemical-mechanical polishing of sapphire by polishing suspension based on aerosil
за авторством: Vovk, E.A.
Опубліковано: (2015)

On the effect of silica matrix on the structure of iron oxide obtained by thermolysis of iron (III) acetylacetonate in the nanocomposites based on fumed silica
за авторством: Oranska, O. I., та інші
Опубліковано: (2008)

Spectroscopic study on peculiarities of fumed silica hydridesilylation with triethoxysilane under fluidized bed conditions
за авторством: P. O. Kuzema, та інші
Опубліковано: (2021)

Composites for prolonged release of bioactive compounds based on orchids leaves extracts and fumed silica
за авторством: R. V. Ivannikov, та інші
Опубліковано: (2019)

Structural and mechano_chemical features of high_pressure phases forming at p, T and p-treatment of graphite
за авторством: A. V. Lysenko
Опубліковано: (2014)

Structural and mechano_chemical features of high_pressure phases forming at p, T and p-treatment of graphite
за авторством: A. V. Lysenko
Опубліковано: (2014)

Interfacial phenomena at a surface of individual and complex fumed nanooxides
за авторством: V. M. Gunko, та інші
Опубліковано: (2019)

Effect of silica matrix morphology on formation of nanozirconia
за авторством: Sulim, I. Ya., та інші
Опубліковано: (2008)

A comparison of surface complexation models for quantitative description of acidic properties of fumed silica
за авторством: Vlasova, N. N.
Опубліковано: (2008)

Electron beam purification of crystalline silicon
за авторством: V. A. Berezos
Опубліковано: (2013)

Nanostructured composites with precipitated silica – Ni crystallites coated by char with carbonized starch
за авторством: V. M. Gun'ko, та інші
Опубліковано: (2023)

Weakly associated water in biological objects and at silica interfaces
за авторством: Gun'ko, V. M., та інші
Опубліковано: (2006)

Structural and optical characteristics of the composites fumed silica / A,B-Zn2SiO4:Mn
за авторством: E. I. Oranskaja, та інші
Опубліковано: (2015)