Cover Image

Метод «очищення» поверхні фоточутливих елементів кремнієвих p-i-n фотодіодів від дислокацій

Investigating the formation of inversion layers (IL) at the Si-SiO2 interface in the manufacturing technology of silicon photodetectors, some dynamics of dislocations after isothermal annealing were revealed, which were absent in samples without inversion. After selective etching of samples with inv...

Full description

Saved in:

Bibliographic Details
Date:	2023
Main Author:	Kukurudziak, M. S.
Format:	Article
Language:	Ukrainian
Published:	Chuiko Institute of Surface Chemistry National Academy of Sciences of Ukraine 2023
Subjects:	кремній дислокація інверсійний шар гексагональний дефект часткова дислокація
Online Access:	https://www.cpts.com.ua/index.php/cpts/article/view/671
Tags:	Add Tag No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:	Chemistry, Physics and Technology of Surface

Institution

Chemistry, Physics and Technology of Surface

Similar Items

Проблеми хіміко-динамічного полірування в технології кремнієвих p-i-n фотодіодів
by: Kukurudziak, M. S.
Published: (2023)

Утворення дефектів на поверхні Si-підкладок в процесі термічного напилення золота
by: Kukurudziak, Mykola, et al.
Published: (2023)

ПОРІВНЯННЯ ДВОХ ПІДХОДІВ ДО МОДЕЛЮВАННЯ ГРАНИЦІ ПРУЖНОСТІ СПЛАВІВ WC–Co ПІД ЧАС РОЗТЯГУВАННЯ
by: Литошенко, Н. В.
Published: (2018)

ВИКОРИСТАННЯ РЕНТГЕНІВСЬКОЇ ТОПОГРАФІЇ ДЛЯ ДОСЛІДЖЕННЯ РЕАЛЬНОЇ СТРУКТУРИ НРНТ-МОНОКРИСТАЛІВ АЛМАЗУ ТИПУ ІІа
by: Супрун, Олена, et al.
Published: (2024)

Кремнієвий p–i–n-фотодіод із підвищеною імпульсною чутливістю
by: Kukurudziak, Mykola, et al.
Published: (2021)

Поліпшення параметрів кремнієвих варикапів при використанні лазерного гетерування
by: Vikulin, I. M., et al.
Published: (2018)

Р–i–n-фотодіод на основі високоомного кремнію p-типу з підвищеною чутливістю на довжині хвилі 1060 нм
by: Kukurudziak , Mykola, et al.
Published: (2020)

Теоретичні розрахунки поширення температурного поля в кремнієвих періодичних структурах під час термічного відпалу
by: Havryliuk, O. O., et al.
Published: (2017)

Ефективність використання гексагонального растра при побудові пікселів у пристроях відображення
by: Мельник, О.В., et al.
Published: (2024)

ОБОСНОВАНИЕ РАСЧЕТНЫХ СХЕМ ЗАМЕЩЕНИЯ АСИНХРОННЫХ ДВИГАТЕЛЕЙ
by: Родькин, Д.И., et al.
Published: (2012)

ВИЗНАЧЕННЯ КОНЦЕНТРАЦІЇ Cu(ІІ) У ВОДНОМУ СЕРЕДОВИЩІ З ВИКОРИСТАННЯМ ІНВЕРСІЙНОГО ЕЛЕКТРОХІМІЧНОГО МЕТОДУ
by: Vorobets, Vera, et al.
Published: (2019)

ВІДНОВЛЕННЯ ТА МОДЕРНІЗАЦІЯ ТУРБОГЕНЕРАТОРІВ ЕЛЕКТРОСТАНЦІЙ УКРАЇНИ В ПОВОЄННИЙ ПЕРІОД
by: Кенсицький, О.Г., et al.
Published: (2023)

Спектральна фоточутливість дифузійних Ge-p-i-n-фотодіодів
by: Fedorenko, Artem
Published: (2020)

ТЕПЛО- ТА ЕЛЕКТРОПРОВІДНІСТЬ ГАРЯЧЕПРЕСОВАНИХ МАТЕРІАЛІВ СИСТЕМИ ДІЕЛЕКТРИЧНА МАТРИЦЯ / ЕЛЕКТРОПРОВІДНІ ВКЛЮЧЕННЯ (AlN–hВN) / (TiB2–TiAl3)
by: Омеляненко, Володимир, et al.
Published: (2025)

Створення двосторонніх структур макропористого кремнію з нанопокриттями для сонячних елементів
by: Karachevtseva, L. A., et al.
Published: (2021)

Низькотемпературна наномодифікація поверхні нержавіючої сталі іонними пучками
by: Cherny, A. A., et al.
Published: (2014)

Методы и механизмы геттерирования кремниевых структур в производстве интегральных микросхем
by: Pilipenko, V. A., et al.
Published: (2013)

Взаємозв’язок структурних параметрів поверхні кальційфосфатосилікатних покриттів на сплавах титану з їхньою біологічною активністю
by: Savvova, O. V., et al.
Published: (2020)

МОДЕЛЮВАННЯ НАДІЙНОСТІ СТРУКТУРОВАНОГО ПРОГРАМНОГО ЗАБЕЗПЕЧЕННЯ
by: Трунов, Александр Николаевич, et al.
Published: (2008)

Систематизація процесу розроблення стандартів для ливарного виробництва: Processy litʹâ, 2020, Tom 142, №4, p.63-70
by: Стригун, В. О., et al.
Published: (2020)

Вплив локального електричного поля на фотолюмінесценцію нанокристалів CdS на поверхні окиснених структур макропористого кремнію
by: Karachevtseva, L., et al.
Published: (2015)

Ефект локалізації фотопровідності в структурах макропористого кремнію
by: Karas, N. I., et al.
Published: (2016)

До теорії імпедансу дифузійно-контрольованої адсорбції нейтральних молекул з дифузійного шару Нернста на шерехатому електроді
by: Gichan, О.І.
Published: (2025)

Аналітичні вирази для поверхневого розподілу концентрації в модельному електрохімічному процесі з попередньою хімічною реакцією
by: Gichan, O. I.
Published: (2022)

Оптимізація конструкції кремнієвих сонячних елементів для роботи в режимі концентрації наземного сонячного випромінювання
by: Korkishko, Roman, et al.
Published: (2024)

Метод поляризаційної селекції навігаційних об’єктів у складних метеорологічних умовах з використанням статистичних властивостей радіосигналів
by: Korban, Dmytro, et al.
Published: (2025)

ІНСТРУМЕНТАЛЬНИЙ МАТЕРІАЛ З КУБІЧНОГО BN ДЛЯ ОБРОБКИ ВОЛЬФРАМО-КОБАЛЬТОВИХ ТВЕРДИХ СПЛАВІВ
by: Петруша, Ігор, et al.
Published: (2023)

Вплив товщини дифузійного шару Нернста на поверхневу концентрацію в модельному електрохімічному процесі з попередньою хімічною реакцією
by: Gichan, O. I.
Published: (2023)

Квантовохімічне дослідження впливу модифікації діоксиду титану неметалами на його спектральні характеристики
by: Smirnova, O. V., et al.
Published: (2020)

Оптимізація вмісту вуглецю і марганцю в сталі 110Г13Л: Processy litʹâ, 2020, Tom 142, №4, p.26-33
by: Локтіонов-Ремізовський, В. А., et al.
Published: (2020)

Анализ структурно-химического состояния и классификация оксидных и металлических фаз системы кремний−кальций−барий−кислород. Сплавы силикокальцийбария. Сообщение 2
by: Белов, Б.Ф., et al.
Published: (2018)

Релаксація розподілу надлишкових неосновних носіїв заряду в макропористому кремнію
by: Karachevtseva, L. A., et al.
Published: (2018)

Про можливість збагачення високозольного твердого палива в апараті з псевдозрідженим шаром
by: Yatsenko V.P.
Published: (2001)

Зміна провідності структур «пористий кремній з наночастинками срібла — кремній» при детектуванні перекису водню
by: Kutova, O. Yu., et al.
Published: (2018)

Вплив температурноспричинених змін будови розплаву системи Al–Si на структуру і електричний опір сплаву в твердому стані
by: Khristenko, V. V., et al.
Published: (2023)

ПІДВИЩЕННЯ ПЛАСТИЧНОСТІ ВИСОКОМІЦНОГО ЧАВУНУ ВНУТРІШНЬОФОРМОВИМ МОДИФІКУВАННЯМ РОЗПЛАВУ ЗІ ЗМЕНШЕНИМ ВМІСТОМ КРЕМНІЮ: Procesi littâ, 2023, Vol 3 (153), 3-11
by: Бубликов, В.Б., et al.
Published: (2023)

Ємність подвійного електричного шару та динамічні нестійкості
by: Gichan, O. I.
Published: (2015)

Дослідження роботи органічних сонячних елементів з використанням наночастинок SnO2 для наростання електронного транспортного шару шляхом імпульсного лазерного осадження
by: Al-Hamdany, Faris M.A., et al.
Published: (2024)

Вплив глибини макропор на ефективний час життя неосновних носіїв заряду в макропористому кремнії
by: Onyshchenko, V. F., et al.
Published: (2019)

Спектроскопічне дослідження особливостей гідридсілілювання пірогенного кремнезему триетоксисиланом в умовах псевдозрідженого шару
by: Kuzema, P. O., et al.
Published: (2021)