Buchumschlag

Метод «очищення» поверхні фоточутливих елементів кремнієвих p-i-n фотодіодів від дислокацій

Investigating the formation of inversion layers (IL) at the Si-SiO2 interface in the manufacturing technology of silicon photodetectors, some dynamics of dislocations after isothermal annealing were revealed, which were absent in samples without inversion. After selective etching of samples with inv...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Datum:	2023
1. Verfasser:	Kukurudziak, M. S.
Format:	Artikel
Sprache:	Ukrainisch
Veröffentlicht:	Chuiko Institute of Surface Chemistry National Academy of Sciences of Ukraine 2023
Schlagworte:	кремній дислокація інверсійний шар гексагональний дефект часткова дислокація
Online Zugang:	https://www.cpts.com.ua/index.php/cpts/article/view/671
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Chemistry, Physics and Technology of Surface

Institution

Chemistry, Physics and Technology of Surface

Ähnliche Einträge

Проблеми хіміко-динамічного полірування в технології кремнієвих p-i-n фотодіодів
von: Kukurudziak, M. S.
Veröffentlicht: (2023)

Утворення дефектів на поверхні Si-підкладок в процесі термічного напилення золота
von: Kukurudziak, Mykola, et al.
Veröffentlicht: (2023)

ПОРІВНЯННЯ ДВОХ ПІДХОДІВ ДО МОДЕЛЮВАННЯ ГРАНИЦІ ПРУЖНОСТІ СПЛАВІВ WC–Co ПІД ЧАС РОЗТЯГУВАННЯ
von: Литошенко, Н. В.
Veröffentlicht: (2018)

Поліпшення параметрів кремнієвих варикапів при використанні лазерного гетерування
von: Vikulin, I. M., et al.
Veröffentlicht: (2018)

ВИКОРИСТАННЯ РЕНТГЕНІВСЬКОЇ ТОПОГРАФІЇ ДЛЯ ДОСЛІДЖЕННЯ РЕАЛЬНОЇ СТРУКТУРИ НРНТ-МОНОКРИСТАЛІВ АЛМАЗУ ТИПУ ІІа
von: Супрун, Олена, et al.
Veröffentlicht: (2024)

Теоретичні розрахунки поширення температурного поля в кремнієвих періодичних структурах під час термічного відпалу
von: Havryliuk, O. O., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Кремнієвий p–i–n-фотодіод із підвищеною імпульсною чутливістю
von: Kukurudziak, Mykola, et al.
Veröffentlicht: (2021)

Ефективність використання гексагонального растра при побудові пікселів у пристроях відображення
von: Мельник, О.В., et al.
Veröffentlicht: (2024)

Р–i–n-фотодіод на основі високоомного кремнію p-типу з підвищеною чутливістю на довжині хвилі 1060 нм
von: Kukurudziak , Mykola, et al.
Veröffentlicht: (2020)

ОБОСНОВАНИЕ РАСЧЕТНЫХ СХЕМ ЗАМЕЩЕНИЯ АСИНХРОННЫХ ДВИГАТЕЛЕЙ
von: Родькин, Д.И., et al.
Veröffentlicht: (2012)

ВІДНОВЛЕННЯ ТА МОДЕРНІЗАЦІЯ ТУРБОГЕНЕРАТОРІВ ЕЛЕКТРОСТАНЦІЙ УКРАЇНИ В ПОВОЄННИЙ ПЕРІОД
von: Кенсицький, О.Г., et al.
Veröffentlicht: (2023)

Низькотемпературна наномодифікація поверхні нержавіючої сталі іонними пучками
von: Cherny, A. A., et al.
Veröffentlicht: (2014)

ПРИКЛАД КОМПЛЕКСНОГО РАДИКАЛЬНОГО ЛІКУВАННЯ МЕТАСТАТИЧНОЇ ПРОГРЕСІЇ РІДКІСНОЇ ЛОКАЛІЗАЦІЇ ПЕРВИННО ОРГАНОЛОКАЛІЗОВАНОГО ХРОМОФОБНОГО НИРКОВОКЛІТИННОГО РАКУ НИРКИ ПІСЛЯ ЛАПАРОСКОПІЧНОЇ РЕЗЕКЦІЇ НИРКИ
von: Yakovlev, P., et al.
Veröffentlicht: (2026)

Оптимізація конструкції кремнієвих сонячних елементів для роботи в режимі концентрації наземного сонячного випромінювання
von: Korkishko, Roman, et al.
Veröffentlicht: (2024)

Створення двосторонніх структур макропористого кремнію з нанопокриттями для сонячних елементів
von: Karachevtseva, L. A., et al.
Veröffentlicht: (2021)

Взаємозв’язок структурних параметрів поверхні кальційфосфатосилікатних покриттів на сплавах титану з їхньою біологічною активністю
von: Savvova, O. V., et al.
Veröffentlicht: (2020)

ВИЗНАЧЕННЯ КОНЦЕНТРАЦІЇ Cu(ІІ) У ВОДНОМУ СЕРЕДОВИЩІ З ВИКОРИСТАННЯМ ІНВЕРСІЙНОГО ЕЛЕКТРОХІМІЧНОГО МЕТОДУ
von: Vorobets, Vera, et al.
Veröffentlicht: (2019)

Спектральна фоточутливість дифузійних Ge-p-i-n-фотодіодів
von: Fedorenko, Artem
Veröffentlicht: (2020)

Вапняковий нанопланктон із келовейських відкладів району Канівських дислокацій
von: Матлай, Л.М.
Veröffentlicht: (2016)

Вапняковий нанопланктон з келовейських відкладів району Канівських дислокацій
von: Матлай, Л.М.
Veröffentlicht: (2009)

Концентраторний фотоенергетичний модуль на основі кремнієвих фотоперетворювачів
von: Chernenko, Volodymyr, et al.
Veröffentlicht: (2023)

Фізико-хімічні процеси у виливках при зносостійкому легуванні поверхні
von: Ковальчук, О.Г., et al.
Veröffentlicht: (2023)

Вплив локального електричного поля на фотолюмінесценцію нанокристалів CdS на поверхні окиснених структур макропористого кремнію
von: Karachevtseva, L., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Спікули кременевих губок та форамініфери з келовейських відкладів Канівських дислокацій
von: Клименко, Ю.В., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Особливості фізичних процесів формування кремнієвих поверхнево-бар’єрних структур
von: Гайдар, Г.П., et al.
Veröffentlicht: (2024)

До теорії імпедансу дифузійно-контрольованої адсорбції нейтральних молекул з дифузійного шару Нернста на шерехатому електроді
von: Gichan, О.І.
Veröffentlicht: (2025)

Методы и механизмы геттерирования кремниевых структур в производстве интегральных микросхем
von: Pilipenko, V. A., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Вимоїни на піщано-рідкоскляних формах та стрижнях, що структуровані в паро-мікрохвильовому середовищі
von: Солоненко, Людмила
Veröffentlicht: (2023)

ТЕПЛО- ТА ЕЛЕКТРОПРОВІДНІСТЬ ГАРЯЧЕПРЕСОВАНИХ МАТЕРІАЛІВ СИСТЕМИ ДІЕЛЕКТРИЧНА МАТРИЦЯ / ЕЛЕКТРОПРОВІДНІ ВКЛЮЧЕННЯ (AlN–hВN) / (TiB2–TiAl3)
von: Омеляненко, Володимир, et al.
Veröffentlicht: (2025)

Про можливість збагачення високозольного твердого палива в апараті з псевдозрідженим шаром
von: Yatsenko V.P.
Veröffentlicht: (2001)

Систематизація процесу розроблення стандартів для ливарного виробництва: Processy litʹâ, 2020, Tom 142, №4, p.63-70
von: Стригун, В. О., et al.
Veröffentlicht: (2020)

Метод та інтелектуалізована система лазерної кореляційно-поляризаційної діагностики біологічних шарів
von: Шолота, В.В.
Veröffentlicht: (2024)

Зміни характеристик кремнієвих фотоелектричних перетворювачів сонячних батарей після струмових перевантажень
von: Ivanchenko, Alexander, et al.
Veröffentlicht: (2019)

ДІОДНІ СЕНСОРИ ВОЛОГОСТІ НА ОСНОВІ КРЕМНІЄВИХ 1D НАНОРОЗМІРНИХ СТРУКТУР
von: LINEVYCH, Ya., et al.
Veröffentlicht: (2024)

Оптимізація вмісту вуглецю і марганцю в сталі 110Г13Л: Processy litʹâ, 2020, Tom 142, №4, p.26-33
von: Локтіонов-Ремізовський, В. А., et al.
Veröffentlicht: (2020)

Аналітичні вирази для поверхневого розподілу концентрації в модельному електрохімічному процесі з попередньою хімічною реакцією
von: Gichan, O. I.
Veröffentlicht: (2022)

Дослідження і визначення технологічних параметрів очищення поверхні сталі від забруднень низькотемпературною плазмою
von: Шевченко, Л.А., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Вплив товщини дифузійного шару Нернста на поверхневу концентрацію в модельному електрохімічному процесі з попередньою хімічною реакцією
von: Gichan, O. I.
Veröffentlicht: (2023)

Ємність подвійного електричного шару та динамічні нестійкості
von: Gichan, O. I.
Veröffentlicht: (2015)

Обумовлені дією рентгенівського випромінювання та магнітного поля особливості динамічної поведінки дислокацій у кристалах кремнію
von: Макара, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2012)