ПОЛІРУВАННЯ ДЕТАЛЕЙ ОПТОТЕХНІКИ З НАПІВПРОВІДНИКОВИХ МАТЕРІАЛІВ

• Date: 2025
• Main Authors: Філатов, Юрій, Бояринцев, Андрій, Сідорко, Володимир, Рибалка, Ірина, Ковальов, Сергій, Ковальов, Віктор, Юрчишин, Оксана, Сосницька, Ольга, Пилипенко, Олексій
• Format: Article
• Language: Ukrainian
• Published: Институт сверхтвердых материалов им. В. Н. Бакуля Национальной академии наук Украины 2025
• Subjects: полірування; дисперсна система; напівпровідники; наночастинки; швидкість зняття матеріалу; шорсткість
• Online Access: http://altis-ism.org.ua/index.php/ALTIS/article/view/387
• Journal Title: Tooling materials science

The purpose of this work is to study the mechanism of polishing of optotechnics parts from semiconductor materials using dispersed systems of micro- and nanopowders and to study the patterns of removal of the processed material and the formation of the nanoprofile of the polished surface. As a resul...