МОДЕРНІЗОВАНА УСТАНОВКА ВУ 700 ДЛЯ НАПИЛЕННЯ ФУНКЦІОНАЛЬНИХ ВАКУУМНИХ ПОКРИТТІВ
Purpose. Improvement of the VU 700 vacuum unit for applying a wide range of coatings, including multilayer and multicomponent coatings, and analysis of its performance indicators. Methodology. The installation includes a linear magnetron, three linear arc tubes, a cathode power supply for glow disch...
Збережено в:
| Дата: | 2025 |
|---|---|
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Українська |
| Опубліковано: |
Институт сверхтвердых материалов им. В. Н. Бакуля Национальной академии наук Украины
2025
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://altis-ism.org.ua/index.php/ALTIS/article/view/441 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Tooling materials science |
Репозитарії
Tooling materials science| _version_ | 1860742117807095808 |
|---|---|
| author | Клименко, Сергій Бондар, Іван Жаровский, Григорій |
| author_facet | Клименко, Сергій Бондар, Іван Жаровский, Григорій |
| author_sort | Клименко, Сергій |
| baseUrl_str | http://altis-ism.org.ua/index.php/ALTIS/oai |
| collection | OJS |
| datestamp_date | 2026-03-26T08:19:14Z |
| description | Purpose. Improvement of the VU 700 vacuum unit for applying a wide range of coatings, including multilayer and multicomponent coatings, and analysis of its performance indicators.
Methodology. The installation includes a linear magnetron, three linear arc tubes, a cathode power supply for glow discharge and supplying a constant bias potential to products for CIB and supplying a bias potential during coating deposition, a 6-position double planetary rotation system, an electric heater, and a system for protecting the viewing window from dust during the coating process. The performance of the installation was evaluated during the formation of coatings using linear arctrons made of titanium and NiCrAlY alloy.
Findings. Taking into account the main features of the microelectroarc vacuum deposition process, the VU 700 vacuum unit was upgraded. It has been shown that during the condensation of the coating in micro-electro-arc vacuum spraying of a titanium cathode using high-frequency displacement potential, it is not the value of the displacement potential in the pulse that is important, but the value of the effective high-frequency displacement voltage.  When using a linear arc tube made of a multicomponent NiCrAlY alloy, the coating is reliable at an arc current of 90–120 A.
Application. The results of the work are relevant for the development of technologies for applying functional coatings with different structures – simple single-layer and multi-component multi-layer coatings. Future research may focus on optimizing the chemical composition of coatings for a specific area of application.
Practical value and originality. The study shows that the modernized installation can be effectively used to obtain a wide range of coatings for various purposes. The originality of the development is associated with the hybrid design of the installation and the presence of four cathodes in it. |
| first_indexed | 2026-03-26T16:19:27Z |
| format | Article |
| id | oai:ojs2.altis-ism.org.ua:article-441 |
| institution | Tooling materials science |
| keywords_txt_mv | keywords |
| language | Ukrainian |
| last_indexed | 2026-03-26T16:19:27Z |
| publishDate | 2025 |
| publisher | Институт сверхтвердых материалов им. В. Н. Бакуля Национальной академии наук Украины |
| record_format | ojs |
| spelling | oai:ojs2.altis-ism.org.ua:article-4412026-03-26T08:19:14Z MODERNIZED VU 700 INSTALLATION FOR SPUTTERING FUNCTIONAL VACUUM COATINGS МОДЕРНІЗОВАНА УСТАНОВКА ВУ 700 ДЛЯ НАПИЛЕННЯ ФУНКЦІОНАЛЬНИХ ВАКУУМНИХ ПОКРИТТІВ Клименко, Сергій Бондар, Іван Жаровский, Григорій coating, modernized vacuum installation, microelectroarc spraying, arc tube, magnetron, cathode ion bombardment (СІВ) покриття, модернізована вакуумна установка, мікроелектродугове розпилення, дуготрон, магнетрон, катодно-іонне бомбардування (КІБ) Purpose. Improvement of the VU 700 vacuum unit for applying a wide range of coatings, including multilayer and multicomponent coatings, and analysis of its performance indicators. Methodology. The installation includes a linear magnetron, three linear arc tubes, a cathode power supply for glow discharge and supplying a constant bias potential to products for CIB and supplying a bias potential during coating deposition, a 6-position double planetary rotation system, an electric heater, and a system for protecting the viewing window from dust during the coating process. The performance of the installation was evaluated during the formation of coatings using linear arctrons made of titanium and NiCrAlY alloy. Findings. Taking into account the main features of the microelectroarc vacuum deposition process, the VU 700 vacuum unit was upgraded. It has been shown that during the condensation of the coating in micro-electro-arc vacuum spraying of a titanium cathode using high-frequency displacement potential, it is not the value of the displacement potential in the pulse that is important, but the value of the effective high-frequency displacement voltage.  When using a linear arc tube made of a multicomponent NiCrAlY alloy, the coating is reliable at an arc current of 90–120 A. Application. The results of the work are relevant for the development of technologies for applying functional coatings with different structures – simple single-layer and multi-component multi-layer coatings. Future research may focus on optimizing the chemical composition of coatings for a specific area of application. Practical value and originality. The study shows that the modernized installation can be effectively used to obtain a wide range of coatings for various purposes. The originality of the development is associated with the hybrid design of the installation and the presence of four cathodes in it. Проведена модернізація вакуумної установки ВУ 700 для нанесення функціональних покриттів, у тому числі багатошарових та багатокомпонентних, з використанням системи мікроелектродугового розпилення, що включає три лінійні дуготрони та лінійний магнетрон. Установка оснащена обладнанням для проведення катодно-іонного бомбардування поверхонь виробів перед нанесенням покриття та подачі відповідного потенціалу зміщення при напилені покриття. Чотири катоди установки дозволяють отримувати покриття широкого спектру, як простих одношарових, так і багатошарових та багатокомпонентних. Показники роботи модернізованої установки розглядалися при формування покриття з титану та багатокомпонентного жаростійкого сплаву. Для умов використання лінійного дуготрону з титану встановлено діапазон напруг зміщення щільність іонного току та показано вплив цієї напруги на імовірність виникнення мікродугових розрядів на поверхні виробу та її ерозію, запропоновано використання імпульсного ВЧ блоку зміщення. Для умов використання катоду зі сплаву NiCrAlY  визначено оптимальну величину току дуги (90–120 А) та досліджено швидкість сканування катодного п’ятна при використанні встановленого обладнання.   Институт сверхтвердых материалов им. В. Н. Бакуля Национальной академии наук Украины 2025-11-21 Article Article application/pdf http://altis-ism.org.ua/index.php/ALTIS/article/view/441 Інструментальне матеріалознавство; Том 1 № 28 (2025): Інструментальне матеріалознавство; 428-436 Инструментальное материаловедение; Том 1 № 28 (2025): Інструментальне матеріалознавство; 428-436 Tooling materials science; Vol 1 No 28 (2025): Tooling materials Science; 428-436 2708-7328 2708-731X uk http://altis-ism.org.ua/index.php/ALTIS/article/view/441/378 Авторське право (c) 2025 Інструментальне матеріалознавство |
| spellingShingle | покриття модернізована вакуумна установка мікроелектродугове розпилення дуготрон магнетрон катодно-іонне бомбардування (КІБ) Клименко, Сергій Бондар, Іван Жаровский, Григорій МОДЕРНІЗОВАНА УСТАНОВКА ВУ 700 ДЛЯ НАПИЛЕННЯ ФУНКЦІОНАЛЬНИХ ВАКУУМНИХ ПОКРИТТІВ |
| title | МОДЕРНІЗОВАНА УСТАНОВКА ВУ 700 ДЛЯ НАПИЛЕННЯ ФУНКЦІОНАЛЬНИХ ВАКУУМНИХ ПОКРИТТІВ |
| title_alt | MODERNIZED VU 700 INSTALLATION FOR SPUTTERING FUNCTIONAL VACUUM COATINGS |
| title_full | МОДЕРНІЗОВАНА УСТАНОВКА ВУ 700 ДЛЯ НАПИЛЕННЯ ФУНКЦІОНАЛЬНИХ ВАКУУМНИХ ПОКРИТТІВ |
| title_fullStr | МОДЕРНІЗОВАНА УСТАНОВКА ВУ 700 ДЛЯ НАПИЛЕННЯ ФУНКЦІОНАЛЬНИХ ВАКУУМНИХ ПОКРИТТІВ |
| title_full_unstemmed | МОДЕРНІЗОВАНА УСТАНОВКА ВУ 700 ДЛЯ НАПИЛЕННЯ ФУНКЦІОНАЛЬНИХ ВАКУУМНИХ ПОКРИТТІВ |
| title_short | МОДЕРНІЗОВАНА УСТАНОВКА ВУ 700 ДЛЯ НАПИЛЕННЯ ФУНКЦІОНАЛЬНИХ ВАКУУМНИХ ПОКРИТТІВ |
| title_sort | модернізована установка ву 700 для напилення функціональних вакуумних покриттів |
| topic | покриття модернізована вакуумна установка мікроелектродугове розпилення дуготрон магнетрон катодно-іонне бомбардування (КІБ) |
| topic_facet | coating modernized vacuum installation microelectroarc spraying arc tube magnetron cathode ion bombardment (СІВ) покриття модернізована вакуумна установка мікроелектродугове розпилення дуготрон магнетрон катодно-іонне бомбардування (КІБ) |
| url | http://altis-ism.org.ua/index.php/ALTIS/article/view/441 |
| work_keys_str_mv | AT klimenkosergíj modernizedvu700installationforsputteringfunctionalvacuumcoatings AT bondarívan modernizedvu700installationforsputteringfunctionalvacuumcoatings AT žarovskijgrigoríj modernizedvu700installationforsputteringfunctionalvacuumcoatings AT klimenkosergíj modernízovanaustanovkavu700dlânapilennâfunkcíonalʹnihvakuumnihpokrittív AT bondarívan modernízovanaustanovkavu700dlânapilennâfunkcíonalʹnihvakuumnihpokrittív AT žarovskijgrigoríj modernízovanaustanovkavu700dlânapilennâfunkcíonalʹnihvakuumnihpokrittív |