МОДЕРНІЗОВАНА УСТАНОВКА ВУ 700 ДЛЯ НАПИЛЕННЯ ФУНКЦІОНАЛЬНИХ ВАКУУМНИХ ПОКРИТТІВ

• Date: 2025
• Main Authors: Клименко, Сергій, Бондар, Іван, Жаровский, Григорій
• Format: Article
• Language: Ukrainian
• Published: Институт сверхтвердых материалов им. В. Н. Бакуля Национальной академии наук Украины 2025
• Subjects: покриття; модернізована вакуумна установка; мікроелектродугове розпилення; дуготрон; магнетрон; катодно-іонне бомбардування (КІБ)
• Online Access: http://altis-ism.org.ua/index.php/ALTIS/article/view/441
• Journal Title: Tooling materials science

Purpose. Improvement of the VU 700 vacuum unit for applying a wide range of coatings, including multilayer and multicomponent coatings, and analysis of its performance indicators. Methodology. The installation includes a linear magnetron, three linear arc tubes, a cathode power supply for glow disch...