ВПЛИВ ТЕПЛОПРОВІДНОСТІ ПРЕКУРСОРІВ І ЇХ РОЗЧИННИКІВ НА ТЕПЛОВИЙ СТАН КОМІРКИ АПАРАТА ВИСОКОГО ТИСКУ ПРИ КРИСТАЛІЗАЦІЇ НАПІВПРОВІДНИКОВИХ СПОЛУК СИСТЕМИ AIIIBV

За допомогою комп’ютерного моделювання досліджено тепловий стан комірки апарата високого тиску (АВТ), призначеної для вирощування кристалів InGaN. Розглянуто три типи розчинників: Fe, Fe3N та CoCr. Проаналізовано вплив використання підкладки з Al2O3 на розподіл температури та градієнта температури в...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Datum:2025
Hauptverfasser: Людвіченко, Олексій, Лєщук, Олександр, Гордєєв, Сергій, Анісін, Олександр
Format: Artikel
Sprache:Ukrainisch
Veröffentlicht: Институт сверхтвердых материалов им. В. Н. Бакуля Национальной академии наук Украины 2025
Schlagworte:
Online Zugang:http://altis-ism.org.ua/index.php/ALTIS/article/view/443
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Tooling materials science

Institution

Tooling materials science
Beschreibung
Zusammenfassung:За допомогою комп’ютерного моделювання досліджено тепловий стан комірки апарата високого тиску (АВТ), призначеної для вирощування кристалів InGaN. Розглянуто три типи розчинників: Fe, Fe3N та CoCr. Проаналізовано вплив використання підкладки з Al2O3 на розподіл температури та градієнта температури в комірці. Встановлено, що застосування підкладки з Al2O3 зменшує значення ΔTmax, ΔTz та gradT для всіх розглянутих випадків. Мінімум неоднорідності температурних полів досягається при використанні розчинника CoCr у поєднанні з підкладкою Al2O3 (ΔTmax = 45 °С, ΔTz = 15 °С; gradT = 0,1–6,8 °С/мм). У випадку використання розчинника Fe3N необхідно модернізувати електрорезистивну систему АВТ, оскільки за розрахунками gradT перевищує 10 °С/мм.