ДІОДНІ СЕНСОРИ ВОЛОГОСТІ НА ОСНОВІ КРЕМНІЄВИХ 1D НАНОРОЗМІРНИХ СТРУКТУР

Introduction. Humidity measurement is essential in microelectronics, aerospace, biomedical, and food industries, as well as in households for climate control. Currently, various types of devices have been used as humidity sensors: capacitive, resistive, diode, gravimetric, optical structures, field-...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Datum:2024
Hauptverfasser: LINEVYCH, Ya., KOVAL, V., DUSHEІKO, M., LAKYDA, M.
Format: Artikel
Sprache:English
Veröffentlicht: PH “Akademperiodyka” 2024
Schlagworte:
Online Zugang:https://scinn-eng.org.ua/ojs/index.php/ni/article/view/560
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Назва журналу:Science and Innovation

Institution

Science and Innovation

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