ДІОДНІ СЕНСОРИ ВОЛОГОСТІ НА ОСНОВІ КРЕМНІЄВИХ 1D НАНОРОЗМІРНИХ СТРУКТУР

• Date: 2024
• Main Authors: LINEVYCH, Ya., KOVAL, V., DUSHEІKO, M., LAKYDA, M.
• Format: Article
• Language: English
• Published: PH “Akademperiodyka” 2024
• Subjects: метало-стимульоване хімічне травлення; кремнієві нанонитки; 1D наноструктури; кремнієвий діод; сенсори вологи
• Online Access: https://scinn-eng.org.ua/ojs/index.php/ni/article/view/560
• Journal Title: Science and Innovation

Introduction. Humidity measurement is essential in microelectronics, aerospace, biomedical, and food industries, as well as in households for climate control. Currently, various types of devices have been used as humidity sensors: capacitive, resistive, diode, gravimetric, optical structures, field-...