ДІОДНІ СЕНСОРИ ВОЛОГОСТІ НА ОСНОВІ КРЕМНІЄВИХ 1D НАНОРОЗМІРНИХ СТРУКТУР

• Datum: 2024
• Hauptverfasser: LINEVYCH, Ya., KOVAL, V., DUSHEІKO, M., LAKYDA, M.
• Format: Artikel
• Sprache: English
• Veröffentlicht: PH “Akademperiodyka” 2024
• Schlagworte: метало-стимульоване хімічне травлення; кремнієві нанонитки; 1D наноструктури; кремнієвий діод; сенсори вологи
• Online Zugang: https://scinn-eng.org.ua/ojs/index.php/ni/article/view/560
• Назва журналу: Science and Innovation

Introduction. Humidity measurement is essential in microelectronics, aerospace, biomedical, and food industries, as well as in households for climate control. Currently, various types of devices have been used as humidity sensors: capacitive, resistive, diode, gravimetric, optical structures, field-...