АВТОНОМНА БЕЗВІБРАЦІЙНА ТЕРМОРЕГУЛЬОВАНА КРІОСИСТЕМА ДЛЯ ОПТИЧНИХ ДОСЛІДЖЕНЬ НА СПЕКТРАЛЬНОМУ ЕЛІПСОМЕТРІ

• Date: 2024
• Main Authors: ZHARKOV, I., SAFRONOV, V., KHODUNOV, V., KONOVAL, V., PALAMARCHUK, I., SELIVANOV, O., SOLONETSKY, A., MAMYKIN, S., YASTRUBCHAK, O., ROMANYUK, V.
• Format: Article
• Language: English
• Published: PH “Akademperiodyka” 2024
• Subjects: терморегульована азотна кріосистема,; спектральна еліпсометрія,; напівпровідникові матеріали та структури,; температурні залежності оптичних параметрів.
• Online Access: https://scinn-eng.org.ua/ojs/index.php/ni/article/view/577
• Journal Title: Science and Innovation

Introduction. Ellipsometry is a highly sensitive, non-destructive optical method used to study the optical and structural properties of materials and thin films.Problem Statement. At the Institute of Semiconductor Physics of the National Academy of Sciences of Ukraine, the first in Ukraine serial sp...