СВЧ плазмохимическое осаждение структур для высокоапертурных планарных оптических волноводов
The features of forming planar optical waveguides based on quartz glass in a waveguide-type microwave plasmatron operating in the H10 mode have been studied. The proposed microwave discharge excitation device has demonstrated its effectiveness in the development of optical structures of the composit...
Збережено в:
| Дата: | 2005 |
|---|---|
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Українська |
| Опубліковано: |
PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
2005
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2005.6.39 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Technology and design in electronic equipment |
Репозитарії
Technology and design in electronic equipment| _version_ | 1862496238065156096 |
|---|---|
| author | Grigorjantz, V. V. Dolgov, A. P. Kochmarev, L. Yu. Shilov, I. P. |
| author_facet | Grigorjantz, V. V. Dolgov, A. P. Kochmarev, L. Yu. Shilov, I. P. |
| author_sort | Grigorjantz, V. V. |
| baseUrl_str | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/oai |
| collection | OJS |
| datestamp_date | 2026-04-14T13:06:18Z |
| description | The features of forming planar optical waveguides based on quartz glass in a waveguide-type microwave plasmatron operating in the H10 mode have been studied. The proposed microwave discharge excitation device has demonstrated its effectiveness in the development of optical structures of the composition SiO2–F|SiO2|SiO2–F. Based on the obtained optical waveguides, directional couplers with a 16×16 transfer matrix have been created, intended for use in fiber-optic systems for information transmission and processing. |
| first_indexed | 2026-04-15T01:00:26Z |
| format | Article |
| id | oai:tkea.com.ua:article-1005 |
| institution | Technology and design in electronic equipment |
| keywords_txt_mv | keywords |
| language | Ukrainian |
| last_indexed | 2026-04-15T01:00:26Z |
| publishDate | 2005 |
| publisher | PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers |
| record_format | ojs |
| spelling | oai:tkea.com.ua:article-10052026-04-14T13:06:18Z Microwave plasma-chemical deposition of structures for high-aperture planar optical waveguides СВЧ плазмохимическое осаждение структур для высокоапертурных планарных оптических волноводов Grigorjantz, V. V. Dolgov, A. P. Kochmarev, L. Yu. Shilov, I. P. planar optical waveguide microwave discharge waveguide-type microwave plasmatron планарный оптический волновод СВЧ-разряд волноводный СВЧ-плазмотрон The features of forming planar optical waveguides based on quartz glass in a waveguide-type microwave plasmatron operating in the H10 mode have been studied. The proposed microwave discharge excitation device has demonstrated its effectiveness in the development of optical structures of the composition SiO2–F|SiO2|SiO2–F. Based on the obtained optical waveguides, directional couplers with a 16×16 transfer matrix have been created, intended for use in fiber-optic systems for information transmission and processing. Изучены особенности формирования планарных оптических волноводов на основе кварцевого стекла в СВЧ-плазмотроне волноводного типа на H10-моде. Предложенное устройство возбуждения СВЧ-разряда показало свою эффективность при разработке оптических структур состава SiO2–F|SiO2|SiO2–F. На базе полученных оптических волноводов созданы направленные ответвители с матрицей передачи 16×16, предназначенные для использования в волоконно-оптических системах передачи и обработки информации. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2005-12-30 Article Article Peer-reviewed Article application/pdf https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2005.6.39 Technology and design in electronic equipment; No. 6 (2005): Tekhnologiya i konstruirovanie v elektronnoi apparature; 39-42 Технологія та конструювання в електронній апаратурі; № 6 (2005): Технология и конструирование в электронной аппаратуре; 39-42 3083-6549 3083-6530 uk https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2005.6.39/915 Copyright (c) 2005 Grigoryantz V. V., Dolgov A. P., Kochmarev L. Yu., Shilov I. P. http://creativecommons.org/licenses/by/4.0/ |
| spellingShingle | планарный оптический волновод СВЧ-разряд волноводный СВЧ-плазмотрон Grigorjantz, V. V. Dolgov, A. P. Kochmarev, L. Yu. Shilov, I. P. СВЧ плазмохимическое осаждение структур для высокоапертурных планарных оптических волноводов |
| title | СВЧ плазмохимическое осаждение структур для высокоапертурных планарных оптических волноводов |
| title_alt | Microwave plasma-chemical deposition of structures for high-aperture planar optical waveguides |
| title_full | СВЧ плазмохимическое осаждение структур для высокоапертурных планарных оптических волноводов |
| title_fullStr | СВЧ плазмохимическое осаждение структур для высокоапертурных планарных оптических волноводов |
| title_full_unstemmed | СВЧ плазмохимическое осаждение структур для высокоапертурных планарных оптических волноводов |
| title_short | СВЧ плазмохимическое осаждение структур для высокоапертурных планарных оптических волноводов |
| title_sort | свч плазмохимическое осаждение структур для высокоапертурных планарных оптических волноводов |
| topic | планарный оптический волновод СВЧ-разряд волноводный СВЧ-плазмотрон |
| topic_facet | planar optical waveguide microwave discharge waveguide-type microwave plasmatron планарный оптический волновод СВЧ-разряд волноводный СВЧ-плазмотрон |
| url | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2005.6.39 |
| work_keys_str_mv | AT grigorjantzvv microwaveplasmachemicaldepositionofstructuresforhighapertureplanaropticalwaveguides AT dolgovap microwaveplasmachemicaldepositionofstructuresforhighapertureplanaropticalwaveguides AT kochmarevlyu microwaveplasmachemicaldepositionofstructuresforhighapertureplanaropticalwaveguides AT shilovip microwaveplasmachemicaldepositionofstructuresforhighapertureplanaropticalwaveguides AT grigorjantzvv svčplazmohimičeskoeosaždeniestrukturdlâvysokoaperturnyhplanarnyhoptičeskihvolnovodov AT dolgovap svčplazmohimičeskoeosaždeniestrukturdlâvysokoaperturnyhplanarnyhoptičeskihvolnovodov AT kochmarevlyu svčplazmohimičeskoeosaždeniestrukturdlâvysokoaperturnyhplanarnyhoptičeskihvolnovodov AT shilovip svčplazmohimičeskoeosaždeniestrukturdlâvysokoaperturnyhplanarnyhoptičeskihvolnovodov |