СВЧ плазмохимическое осаждение структур для высокоапертурных планарных оптических волноводов

The features of forming planar optical waveguides based on quartz glass in a waveguide-type microwave plasmatron operating in the H10 mode have been studied. The proposed microwave discharge excitation device has demonstrated its effectiveness in the development of optical structures of the composit...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2005
Автори: Grigorjantz, V. V., Dolgov, A. P., Kochmarev, L. Yu., Shilov, I. P.
Формат: Стаття
Мова:Українська
Опубліковано: PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2005
Теми:
Онлайн доступ:https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2005.6.39
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Technology and design in electronic equipment

Репозитарії

Technology and design in electronic equipment
_version_ 1862496238065156096
author Grigorjantz, V. V.
Dolgov, A. P.
Kochmarev, L. Yu.
Shilov, I. P.
author_facet Grigorjantz, V. V.
Dolgov, A. P.
Kochmarev, L. Yu.
Shilov, I. P.
author_sort Grigorjantz, V. V.
baseUrl_str https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/oai
collection OJS
datestamp_date 2026-04-14T13:06:18Z
description The features of forming planar optical waveguides based on quartz glass in a waveguide-type microwave plasmatron operating in the H10 mode have been studied. The proposed microwave discharge excitation device has demonstrated its effectiveness in the development of optical structures of the composition SiO2–F|SiO2|SiO2–F. Based on the obtained optical waveguides, directional couplers with a 16×16 transfer matrix have been created, intended for use in fiber-optic systems for information transmission and processing.
first_indexed 2026-04-15T01:00:26Z
format Article
id oai:tkea.com.ua:article-1005
institution Technology and design in electronic equipment
keywords_txt_mv keywords
language Ukrainian
last_indexed 2026-04-15T01:00:26Z
publishDate 2005
publisher PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
record_format ojs
spelling oai:tkea.com.ua:article-10052026-04-14T13:06:18Z Microwave plasma-chemical deposition of structures for high-aperture planar optical waveguides СВЧ плазмохимическое осаждение структур для высокоапертурных планарных оптических волноводов Grigorjantz, V. V. Dolgov, A. P. Kochmarev, L. Yu. Shilov, I. P. planar optical waveguide microwave discharge waveguide-type microwave plasmatron планарный оптический волновод СВЧ-разряд волноводный СВЧ-плазмотрон The features of forming planar optical waveguides based on quartz glass in a waveguide-type microwave plasmatron operating in the H10 mode have been studied. The proposed microwave discharge excitation device has demonstrated its effectiveness in the development of optical structures of the composition SiO2–F|SiO2|SiO2–F. Based on the obtained optical waveguides, directional couplers with a 16×16 transfer matrix have been created, intended for use in fiber-optic systems for information transmission and processing. Изучены особенности формирования планарных оптических волноводов на основе кварцевого стекла в СВЧ-плазмотроне волноводного типа на H10-моде. Предложенное устройство возбуждения СВЧ-разряда показало свою эффективность при разработке оптических структур состава SiO2–F|SiO2|SiO2–F. На базе полученных оптических волноводов созданы направленные ответвители с матрицей передачи 16×16, предназначенные для использования в волоконно-оптических системах передачи и обработки информации. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2005-12-30 Article Article Peer-reviewed Article application/pdf https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2005.6.39 Technology and design in electronic equipment; No. 6 (2005): Tekhnologiya i konstruirovanie v elektronnoi apparature; 39-42 Технологія та конструювання в електронній апаратурі; № 6 (2005): Технология и конструирование в электронной аппаратуре; 39-42 3083-6549 3083-6530 uk https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2005.6.39/915 Copyright (c) 2005 Grigoryantz V. V., Dolgov A. P., Kochmarev L. Yu., Shilov I. P. http://creativecommons.org/licenses/by/4.0/
spellingShingle планарный оптический волновод
СВЧ-разряд
волноводный СВЧ-плазмотрон
Grigorjantz, V. V.
Dolgov, A. P.
Kochmarev, L. Yu.
Shilov, I. P.
СВЧ плазмохимическое осаждение структур для высокоапертурных планарных оптических волноводов
title СВЧ плазмохимическое осаждение структур для высокоапертурных планарных оптических волноводов
title_alt Microwave plasma-chemical deposition of structures for high-aperture planar optical waveguides
title_full СВЧ плазмохимическое осаждение структур для высокоапертурных планарных оптических волноводов
title_fullStr СВЧ плазмохимическое осаждение структур для высокоапертурных планарных оптических волноводов
title_full_unstemmed СВЧ плазмохимическое осаждение структур для высокоапертурных планарных оптических волноводов
title_short СВЧ плазмохимическое осаждение структур для высокоапертурных планарных оптических волноводов
title_sort свч плазмохимическое осаждение структур для высокоапертурных планарных оптических волноводов
topic планарный оптический волновод
СВЧ-разряд
волноводный СВЧ-плазмотрон
topic_facet planar optical waveguide
microwave discharge
waveguide-type microwave plasmatron
планарный оптический волновод
СВЧ-разряд
волноводный СВЧ-плазмотрон
url https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2005.6.39
work_keys_str_mv AT grigorjantzvv microwaveplasmachemicaldepositionofstructuresforhighapertureplanaropticalwaveguides
AT dolgovap microwaveplasmachemicaldepositionofstructuresforhighapertureplanaropticalwaveguides
AT kochmarevlyu microwaveplasmachemicaldepositionofstructuresforhighapertureplanaropticalwaveguides
AT shilovip microwaveplasmachemicaldepositionofstructuresforhighapertureplanaropticalwaveguides
AT grigorjantzvv svčplazmohimičeskoeosaždeniestrukturdlâvysokoaperturnyhplanarnyhoptičeskihvolnovodov
AT dolgovap svčplazmohimičeskoeosaždeniestrukturdlâvysokoaperturnyhplanarnyhoptičeskihvolnovodov
AT kochmarevlyu svčplazmohimičeskoeosaždeniestrukturdlâvysokoaperturnyhplanarnyhoptičeskihvolnovodov
AT shilovip svčplazmohimičeskoeosaždeniestrukturdlâvysokoaperturnyhplanarnyhoptičeskihvolnovodov