Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике
For the formation of AlN protective coatings resistant to impact loads, magnetron and diode sputtering methods, as well as ion beam sputtering, are suitable. Depending on the process conditions, different contents of X-ray amorphous and crystalline phases are obtained in the volume of nanostructured...
Збережено в:
| Дата: | 2005 |
|---|---|
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Українська |
| Опубліковано: |
PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
2005
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2005.5.35 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Technology and design in electronic equipment |
Репозитарії
Technology and design in electronic equipment| _version_ | 1862586826812817408 |
|---|---|
| author | Belyanin, A. F. Samoylovich, M. I. Jitkovsky, V. D. Kameneva, A. L. |
| author_facet | Belyanin, A. F. Samoylovich, M. I. Jitkovsky, V. D. Kameneva, A. L. |
| author_sort | Belyanin, A. F. |
| baseUrl_str | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/oai |
| collection | OJS |
| datestamp_date | 2026-04-15T10:21:28Z |
| description | For the formation of AlN protective coatings resistant to impact loads, magnetron and diode sputtering methods, as well as ion beam sputtering, are suitable. Depending on the process conditions, different contents of X-ray amorphous and crystalline phases are obtained in the volume of nanostructured coatings, along with their fibrous structure. Multilayer protective coatings were produced by sequential deposition of amorphous and crystalline AlN layers with an internal fibrous structure on the surfaces of devices. |
| first_indexed | 2026-04-16T01:00:18Z |
| format | Article |
| id | oai:tkea.com.ua:article-1019 |
| institution | Technology and design in electronic equipment |
| keywords_txt_mv | keywords |
| language | Ukrainian |
| last_indexed | 2026-04-16T01:00:18Z |
| publishDate | 2005 |
| publisher | PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers |
| record_format | ojs |
| spelling | oai:tkea.com.ua:article-10192026-04-15T10:21:28Z Impact-resistant protective film coatings based on AlN in electronic engineering Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике Belyanin, A. F. Samoylovich, M. I. Jitkovsky, V. D. Kameneva, A. L. thermal-protective film coatings based on AlN magnetron sputtering thermal printing devices термозащитные пленочные покрытия на основе AlN магнетронное распыление устройства термопечати For the formation of AlN protective coatings resistant to impact loads, magnetron and diode sputtering methods, as well as ion beam sputtering, are suitable. Depending on the process conditions, different contents of X-ray amorphous and crystalline phases are obtained in the volume of nanostructured coatings, along with their fibrous structure. Multilayer protective coatings were produced by sequential deposition of amorphous and crystalline AlN layers with an internal fibrous structure on the surfaces of devices. Для формирования защитного покрытия AlN, стойкого к воздействию ударных нагрузок, пригодны методы магнетронного и диодного распыления, а также распыления ионным пучком. В зависимости от условий проведения процесса получается различное содержание рентгеноаморфной и кристаллической фаз в объеме наноструктурированных покрытий и их волокнистое строение. Многослойные защитные покрытия получали последовательным нанесением на поверхности устройств слоев аморфного и кристаллического АlN с внутренним волокнистым строением слоя. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2005-10-30 Article Article Peer-reviewed Article application/pdf https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2005.5.35 Technology and design in electronic equipment; No. 5 (2005): Tekhnologiya i konstruirovanie v elektronnoi apparature; 35-41 Технологія та конструювання в електронній апаратурі; № 5 (2005): Технология и конструирование в электронной аппаратуре; 35-41 3083-6549 3083-6530 uk https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2005.5.35/928 Copyright (c) 2005 Belyanin A. F., Samoylovich M. I., Jitkovsky V. D., Kameneva A. L. http://creativecommons.org/licenses/by/4.0/ |
| spellingShingle | термозащитные пленочные покрытия на основе AlN магнетронное распыление устройства термопечати Belyanin, A. F. Samoylovich, M. I. Jitkovsky, V. D. Kameneva, A. L. Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике |
| title | Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике |
| title_alt | Impact-resistant protective film coatings based on AlN in electronic engineering |
| title_full | Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике |
| title_fullStr | Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике |
| title_full_unstemmed | Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике |
| title_short | Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике |
| title_sort | ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе aln в электронной технике |
| topic | термозащитные пленочные покрытия на основе AlN магнетронное распыление устройства термопечати |
| topic_facet | thermal-protective film coatings based on AlN magnetron sputtering thermal printing devices термозащитные пленочные покрытия на основе AlN магнетронное распыление устройства термопечати |
| url | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2005.5.35 |
| work_keys_str_mv | AT belyaninaf impactresistantprotectivefilmcoatingsbasedonalninelectronicengineering AT samoylovichmi impactresistantprotectivefilmcoatingsbasedonalninelectronicengineering AT jitkovskyvd impactresistantprotectivefilmcoatingsbasedonalninelectronicengineering AT kamenevaal impactresistantprotectivefilmcoatingsbasedonalninelectronicengineering AT belyaninaf udarostojkiezaŝitnyeplenočnyepokrytiânaosnovealnvélektronnojtehnike AT samoylovichmi udarostojkiezaŝitnyeplenočnyepokrytiânaosnovealnvélektronnojtehnike AT jitkovskyvd udarostojkiezaŝitnyeplenočnyepokrytiânaosnovealnvélektronnojtehnike AT kamenevaal udarostojkiezaŝitnyeplenočnyepokrytiânaosnovealnvélektronnojtehnike |