Сетевая система контроля технологического процесса выращивания полупроводниковых кристаллов и тонких пленок
A model of a technological network has been proposed and software developed for monitoring parameters and controlling the modes of the technological process of semiconductor crystal and thin-film growth. DLL libraries have been created to provide communication between the client and server parts of...
Saved in:
| Date: | 2005 |
|---|---|
| Main Authors: | , , |
| Format: | Article |
| Language: | Ukrainian |
| Published: |
PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
2005
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2005.5.52 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Technology and design in electronic equipment |
Institution
Technology and design in electronic equipment| _version_ | 1862586828862783488 |
|---|---|
| author | Rogov, R. V. Melnychuk, S. V. Vorobets, G. I. |
| author_facet | Rogov, R. V. Melnychuk, S. V. Vorobets, G. I. |
| author_sort | Rogov, R. V. |
| baseUrl_str | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/oai |
| collection | OJS |
| datestamp_date | 2026-04-15T10:21:28Z |
| description | A model of a technological network has been proposed and software developed for monitoring parameters and controlling the modes of the technological process of semiconductor crystal and thin-film growth. DLL libraries have been created to provide communication between the client and server parts of the network. The system implements process parameter monitoring, measurement data archiving, and event logging at the objects of the system. The universality of the software makes it possible to optimize the design and setup of a technological network for arbitrary types of equipment. |
| first_indexed | 2026-04-16T01:00:20Z |
| format | Article |
| id | oai:tkea.com.ua:article-1023 |
| institution | Technology and design in electronic equipment |
| keywords_txt_mv | keywords |
| language | Ukrainian |
| last_indexed | 2026-04-16T01:00:20Z |
| publishDate | 2005 |
| publisher | PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers |
| record_format | ojs |
| spelling | oai:tkea.com.ua:article-10232026-04-15T10:21:28Z Network system for monitoring the technological process of semiconductor crystal and thin-film growth Сетевая система контроля технологического процесса выращивания полупроводниковых кристаллов и тонких пленок Rogov, R. V. Melnychuk, S. V. Vorobets, G. I. technological process technological object semiconductors interface device computer networks network protocols технологический процесс технологический объект полупроводники устройство сопряжения компьютерные сети сетевые протоколы A model of a technological network has been proposed and software developed for monitoring parameters and controlling the modes of the technological process of semiconductor crystal and thin-film growth. DLL libraries have been created to provide communication between the client and server parts of the network. The system implements process parameter monitoring, measurement data archiving, and event logging at the objects of the system. The universality of the software makes it possible to optimize the design and setup of a technological network for arbitrary types of equipment. Предложена модель технологической сети и создано программное обеспечение (ПО) для контроля параметров и управления режимами технологического процесса выращивания полупроводниковых кристаллов и тонких пленок. Разработаны DLL-библиотеки, обеспечивающие связь между клиентской и серверной частями сети. Реализованы контроль параметров процесса, архивация результатов измерения и учет событий на объектах системы. Универсальность ПО позволяет оптимизировать процесс проектирования и налаживания технологической сети для произвольного типа оборудования. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2005-10-30 Article Article Peer-reviewed Article application/pdf https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2005.5.52 Technology and design in electronic equipment; No. 5 (2005): Tekhnologiya i konstruirovanie v elektronnoi apparature; 52-54 Технологія та конструювання в електронній апаратурі; № 5 (2005): Технология и конструирование в электронной аппаратуре; 52-54 3083-6549 3083-6530 uk https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2005.5.52/932 Copyright (c) 2005 Rogov R.V., Melnychuk S. V.,Vorobets G. I. http://creativecommons.org/licenses/by/4.0/ |
| spellingShingle | технологический процесс технологический объект полупроводники устройство сопряжения компьютерные сети сетевые протоколы Rogov, R. V. Melnychuk, S. V. Vorobets, G. I. Сетевая система контроля технологического процесса выращивания полупроводниковых кристаллов и тонких пленок |
| title | Сетевая система контроля технологического процесса выращивания полупроводниковых кристаллов и тонких пленок |
| title_alt | Network system for monitoring the technological process of semiconductor crystal and thin-film growth |
| title_full | Сетевая система контроля технологического процесса выращивания полупроводниковых кристаллов и тонких пленок |
| title_fullStr | Сетевая система контроля технологического процесса выращивания полупроводниковых кристаллов и тонких пленок |
| title_full_unstemmed | Сетевая система контроля технологического процесса выращивания полупроводниковых кристаллов и тонких пленок |
| title_short | Сетевая система контроля технологического процесса выращивания полупроводниковых кристаллов и тонких пленок |
| title_sort | сетевая система контроля технологического процесса выращивания полупроводниковых кристаллов и тонких пленок |
| topic | технологический процесс технологический объект полупроводники устройство сопряжения компьютерные сети сетевые протоколы |
| topic_facet | technological process technological object semiconductors interface device computer networks network protocols технологический процесс технологический объект полупроводники устройство сопряжения компьютерные сети сетевые протоколы |
| url | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2005.5.52 |
| work_keys_str_mv | AT rogovrv networksystemformonitoringthetechnologicalprocessofsemiconductorcrystalandthinfilmgrowth AT melnychuksv networksystemformonitoringthetechnologicalprocessofsemiconductorcrystalandthinfilmgrowth AT vorobetsgi networksystemformonitoringthetechnologicalprocessofsemiconductorcrystalandthinfilmgrowth AT rogovrv setevaâsistemakontrolâtehnologičeskogoprocessavyraŝivaniâpoluprovodnikovyhkristallovitonkihplenok AT melnychuksv setevaâsistemakontrolâtehnologičeskogoprocessavyraŝivaniâpoluprovodnikovyhkristallovitonkihplenok AT vorobetsgi setevaâsistemakontrolâtehnologičeskogoprocessavyraŝivaniâpoluprovodnikovyhkristallovitonkihplenok |