Емкостные свойства МДП-структур HgCdTe/SiO2/Si3N4

The capacitance–voltage characteristics of n(p)-HgCdTe/SiO2/Si3N4 and n(p)-HgCdTe/anodic oxide film MIS structures have been experimentally investigated at different frequencies and voltage sweep directions. Specific features of electrophysical characteristics have been identified, associated with t...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Datum:2005
Hauptverfasser: Voitsekhovskii, A. V., Nesmelov, S. N., Kulchitskii, N. A.
Format: Artikel
Sprache:Ukrainisch
Veröffentlicht: PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2005
Schlagworte:
Online Zugang:https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2005.4.35
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Technology and design in electronic equipment

Institution

Technology and design in electronic equipment
_version_ 1863674023402012672
author Voitsekhovskii, A. V.
Nesmelov, S. N.
Kulchitskii, N. A.
author_facet Voitsekhovskii, A. V.
Nesmelov, S. N.
Kulchitskii, N. A.
author_sort Voitsekhovskii, A. V.
baseUrl_str https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/oai
collection OJS
datestamp_date 2026-04-27T20:05:22Z
description The capacitance–voltage characteristics of n(p)-HgCdTe/SiO2/Si3N4 and n(p)-HgCdTe/anodic oxide film MIS structures have been experimentally investigated at different frequencies and voltage sweep directions. Specific features of electrophysical characteristics have been identified, associated with the bulk resistance of the epitaxial film and the presence of near-surface variband layers. It has been shown that the use of a two-layer dielectric SiO2/Si3N4 is promising for surface passivation of matrix HgCdTe photodiodes for the infrared range.  
first_indexed 2026-04-28T01:00:50Z
format Article
id oai:tkea.com.ua:article-1033
institution Technology and design in electronic equipment
keywords_txt_mv keywords
language Ukrainian
last_indexed 2026-04-28T01:00:50Z
publishDate 2005
publisher PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
record_format ojs
spelling oai:tkea.com.ua:article-10332026-04-27T20:05:22Z Capacitance properties of MIS structures HgCdTe/SiO2/Si3N4 Емкостные свойства МДП-структур HgCdTe/SiO2/Si3N4 Voitsekhovskii, A. V. Nesmelov, S. N. Kulchitskii, N. A. MIS structures HgCdTe capacitance–voltage characteristics variband layers МДП-структуры HgCdTe вольт-фарадные характеристики варизонные слои The capacitance–voltage characteristics of n(p)-HgCdTe/SiO2/Si3N4 and n(p)-HgCdTe/anodic oxide film MIS structures have been experimentally investigated at different frequencies and voltage sweep directions. Specific features of electrophysical characteristics have been identified, associated with the bulk resistance of the epitaxial film and the presence of near-surface variband layers. It has been shown that the use of a two-layer dielectric SiO2/Si3N4 is promising for surface passivation of matrix HgCdTe photodiodes for the infrared range.   Экспериментально исследованы вольт-фарадные характеристики МДП-структур n(p)-HgCdTe/SiO2/Si3N4 и n(p)-HgCdTe/анодно-окисная пленка при различных частотах и направлениях развертки напряжения. Установлены особенности электрофизических характеристик, связанные с сопротивлением объема эпитаксиальной пленки и наличием приповерхностных варизонных слоев. Показано, что использование двухслойного диэлектрика SiO2/Si3N4 перспективно для пассивации поверхности матричных HgCdTe-фотодиодов для инфракрасного диапазона. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2005-08-30 Article Article Peer-reviewed Article application/pdf https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2005.4.35 Technology and design in electronic equipment; No. 4 (2005): Tekhnologiya i konstruirovanie v elektronnoi apparature; 35-38 Технологія та конструювання в електронній апаратурі; № 4 (2005): Технология и конструирование в электронной аппаратуре; 35-38 3083-6549 3083-6530 uk https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2005.4.35/948 Copyright (c) 2005 A. V. Voitsekhovskii, S. N. Nesmelov, N. A. Kulchitskii http://creativecommons.org/licenses/by/4.0/
spellingShingle МДП-структуры
HgCdTe
вольт-фарадные характеристики
варизонные слои
Voitsekhovskii, A. V.
Nesmelov, S. N.
Kulchitskii, N. A.
Емкостные свойства МДП-структур HgCdTe/SiO2/Si3N4
title Емкостные свойства МДП-структур HgCdTe/SiO2/Si3N4
title_alt Capacitance properties of MIS structures HgCdTe/SiO2/Si3N4
title_full Емкостные свойства МДП-структур HgCdTe/SiO2/Si3N4
title_fullStr Емкостные свойства МДП-структур HgCdTe/SiO2/Si3N4
title_full_unstemmed Емкостные свойства МДП-структур HgCdTe/SiO2/Si3N4
title_short Емкостные свойства МДП-структур HgCdTe/SiO2/Si3N4
title_sort емкостные свойства мдп-структур hgcdte/sio2/si3n4
topic МДП-структуры
HgCdTe
вольт-фарадные характеристики
варизонные слои
topic_facet MIS structures
HgCdTe
capacitance–voltage characteristics
variband layers
МДП-структуры
HgCdTe
вольт-фарадные характеристики
варизонные слои
url https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2005.4.35
work_keys_str_mv AT voitsekhovskiiav capacitancepropertiesofmisstructureshgcdtesio2si3n4
AT nesmelovsn capacitancepropertiesofmisstructureshgcdtesio2si3n4
AT kulchitskiina capacitancepropertiesofmisstructureshgcdtesio2si3n4
AT voitsekhovskiiav emkostnyesvojstvamdpstrukturhgcdtesio2si3n4
AT nesmelovsn emkostnyesvojstvamdpstrukturhgcdtesio2si3n4
AT kulchitskiina emkostnyesvojstvamdpstrukturhgcdtesio2si3n4