Buchumschlag

Получение наноструктурированных пленок AlN и ZnO и их применение в электронной технике

The design features of the sputtering system in a magnetron sputtering installation and the conditions for forming AlN and ZnO films with controlled composition and crystalline phase structure are considered. The conditions for obtaining and the operational characteristics of layered structures in...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Datum:	2005
Hauptverfasser:	Belyanin, A. F., Samoylovich, M. I., Kovalskiy, K. A., Petukhov, K. Yu.
Format:	Artikel
Sprache:	Ukrainisch
Veröffentlicht:	PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2005
Schlagworte:	наноматериалы магнетронное распыление слоистые структуры акусто- и эмиссионная электроника
Online Zugang:	https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2005.4.46
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Technology and design in electronic equipment

Institution

Technology and design in electronic equipment

Ähnliche Einträge

Ненакаливаемые катоды на основе углеродных наноструктурированных слоистых структур
von: Belyanin, A. F., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике
von: Belyanin, A. F., et al.
Veröffentlicht: (2005)

Формирование наноструктурированных пленок иридия и поликластерного алмаза
von: Belyanin, A. F., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Получение наноструктурированных пленок AlN и ZnO и их применение в электронной технике
von: Белянин, А.Ф., et al.
Veröffentlicht: (2005)

Наноструктурированные пленки ZnO для устройств микроэлектроники и оптики
von: Belyanin, A. F., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Свойства металлических контактов на пленках TiO2, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления
von: Brus, V. V., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике
von: Белянин, А.Ф., et al.
Veröffentlicht: (2005)

Дослідження особливостей фізико-хімічних процесів формування нанорозмірних віскерів ZnO
von: Горбик, П.П., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Синтез квантоворазмерных вискеров ZnO и исследование их эмиссионных свойств
von: Горбик, П.П., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Електро-та фотокаталітичні властивості електродів на основі мезопористих плівок TiO₂ – ZnO – Ag
von: Воробець, В.С., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Получение, структура, электрические и сенсорные свойства композиционных материалов на основе поливинилхлорида и нанокристаллического никеля
von: Семко, Л.С., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Нанесение тонких пленок в вакууме на подложки из синтетического опала
von: Panfilov, Yu. V., et al.
Veröffentlicht: (2005)

Получение и свойства фотокаталитически активной мембраны с иммобилизированным TiO₂ для очистки воды от фенола и его производных
von: Роля, Е.А., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Получение электролизом в двухслойных ваннах наноструктурированных осадков золота и серебра
von: Козин, Л.Ф., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Особенности топологии поверхности слоистых кристаллов In₄Se₃
von: Balitsky, A. A.
Veröffentlicht: (2006)

Двумерный оператор Паули в магнитном поле
von: Гриневич, П.Г., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Теплоемкость электронного газа на поверхности нанотрубки со сверхрешеткой в магнитном поле
von: Ермолаев, А.М., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Manifestation of the Upper Hubbard band in the 2D Hubbard model at low electron density
von: Kagan, M.Yu., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Квантовые осцилляции в перестраиваемом графеновом бислое
von: Фальковский, Л.А.
Veröffentlicht: (2011)

Импактные структуры в морях и океанах
von: Гуров, Е.П.
Veröffentlicht: (2016)

Магнитосопротивление наноуглеродных материалов на основе углеродных нанотрубок
von: Лень, Т.А., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Получение поверхностно-барьерных структур на основе четырехкомпонентных твердых растворов А4В6
von: Tkachuk, A. I., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Влияние температуры обработки на структурные и оптические свойства наноструктурированных ZnO:Al-плёнок, формируемых золь–гель-методом
von: Сидский, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Усиление наноструктурированной поверхностью серебра инфракрасного поглощения низкотемпературных тонких пленок урацила
von: Иванов, А.Ю., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Характеристики фотодиодов со структурой «собственный оксид – InSe», облученных высокоэнергетическими электронами
von: Sydor, O. N., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Гетеропереходы, сформированные отжигом слоистых кристаллов GaSe и InSe в парах цинка
von: Kudrynskyi, Z. R., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Формирование нанопленок Cu, Ag, Au под воздействием атомов водорода
von: Zhavzharov, E. L., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Формирование наноструктурированных пленок иридия и поликластерного алмаза
von: Белянин, А.Ф., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Fractional ac Josephson effect in unconventional superconductors
von: Hyok-Jon Kwon, et al.
Veröffentlicht: (2004)

Effect of step-edge on spectral properties and planar stability of metallic bigraphene
von: Eremenko, V.V., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Матричный синтез и структурно-сорбционные свойства пористых полимерных материалов
von: Опанасенко, М.В.
Veröffentlicht: (2008)

Формованные наноматериалы на основе активных углей из отходов полиэтилентерефталата
von: Сыч, Н.В., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Влияние упругих деформаций на локальные токовые характеристики отдельных нанокластеров Ge на Si, исследованных методом проводящей атомно-силовой микроскопии
von: Рубежанская, М.Ю.
Veröffentlicht: (2012)

The spatial separation of electron-hole pairs in Si/Ge heterostructures
von: Lysenko, V.S., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Влияние механохимического активирования на сорбционные свойства природных минералов
von: Псарева, Т.С., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Магнитные свойства наночастиц Fе3O4, полученных жидко- и твердофазным синтезом
von: Горбик, П.П., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Структура та магнітні властивості нанокомпозитів магнетит/діоксид кремнію
von: Семко, Л.С., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Інкапсулювання наночастинок AgI кремнеземом
von: Мудрак, І.М., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Створення та фізико-хімічні властивості композитних систем «мезопориста неорганічна матриця/оксид цинку»
von: Кишеня, Я.В., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Влияние магнитного поля на сенсорные характеристики композиционных материалов на основе нанокристаллического никеля
von: Семко, Л.С., et al.
Veröffentlicht: (2008)