Получение наноструктурированных пленок AlN и ZnO и их применение в электронной технике
The design features of the sputtering system in a magnetron sputtering installation and the conditions for forming AlN and ZnO films with controlled composition and crystalline phase structure are considered. The conditions for obtaining and the operational characteristics of layered structures in...
Збережено в:
| Дата: | 2005 |
|---|---|
| Автори: | Belyanin, A. F., Samoylovich, M. I., Kovalskiy, K. A., Petukhov, K. Yu. |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Українська |
| Опубліковано: |
PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
2005
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2005.4.46 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Technology and design in electronic equipment |
Репозитарії
Technology and design in electronic equipmentСхожі ресурси
Ненакаливаемые катоды на основе углеродных наноструктурированных слоистых структур
за авторством: Belyanin, A. F., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Belyanin, A. F., та інші
Опубліковано: (2013)
Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике
за авторством: Belyanin, A. F., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Belyanin, A. F., та інші
Опубліковано: (2005)
Формирование наноструктурированных пленок иридия и поликластерного алмаза
за авторством: Belyanin, A. F., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Belyanin, A. F., та інші
Опубліковано: (2007)
Получение наноструктурированных пленок AlN и ZnO и их применение в электронной технике
за авторством: Белянин, А.Ф., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Белянин, А.Ф., та інші
Опубліковано: (2005)
Наноструктурированные пленки ZnO для устройств микроэлектроники и оптики
за авторством: Belyanin, A. F., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Belyanin, A. F., та інші
Опубліковано: (2006)
Свойства металлических контактов на пленках TiO2, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления
за авторством: Brus, V. V., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Brus, V. V., та інші
Опубліковано: (2010)
Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике
за авторством: Белянин, А.Ф., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Белянин, А.Ф., та інші
Опубліковано: (2005)
Дослідження особливостей фізико-хімічних процесів формування нанорозмірних віскерів ZnO
за авторством: Горбик, П.П., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Горбик, П.П., та інші
Опубліковано: (2008)
Синтез квантоворазмерных вискеров ZnO и исследование их эмиссионных свойств
за авторством: Горбик, П.П., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Горбик, П.П., та інші
Опубліковано: (2009)
Електро-та фотокаталітичні властивості електродів на основі мезопористих плівок TiO₂ – ZnO – Ag
за авторством: Воробець, В.С., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Воробець, В.С., та інші
Опубліковано: (2008)
Получение, структура, электрические и сенсорные свойства композиционных материалов на основе поливинилхлорида и нанокристаллического никеля
за авторством: Семко, Л.С., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Семко, Л.С., та інші
Опубліковано: (2007)
Нанесение тонких пленок в вакууме на подложки из синтетического опала
за авторством: Panfilov, Yu. V., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Panfilov, Yu. V., та інші
Опубліковано: (2005)
Получение и свойства фотокаталитически активной мембраны с иммобилизированным TiO₂ для очистки воды от фенола и его производных
за авторством: Роля, Е.А., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Роля, Е.А., та інші
Опубліковано: (2008)
Получение электролизом в двухслойных ваннах наноструктурированных осадков золота и серебра
за авторством: Козин, Л.Ф., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Козин, Л.Ф., та інші
Опубліковано: (2011)
Особенности топологии поверхности слоистых кристаллов In₄Se₃
за авторством: Balitsky, A. A.
Опубліковано: (2006)
за авторством: Balitsky, A. A.
Опубліковано: (2006)
Двумерный оператор Паули в магнитном поле
за авторством: Гриневич, П.Г., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Гриневич, П.Г., та інші
Опубліковано: (2011)
Теплоемкость электронного газа на поверхности нанотрубки со сверхрешеткой в магнитном поле
за авторством: Ермолаев, А.М., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Ермолаев, А.М., та інші
Опубліковано: (2011)
Manifestation of the Upper Hubbard band in the 2D Hubbard model at low electron density
за авторством: Kagan, M.Yu., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Kagan, M.Yu., та інші
Опубліковано: (2011)
Квантовые осцилляции в перестраиваемом графеновом бислое
за авторством: Фальковский, Л.А.
Опубліковано: (2011)
за авторством: Фальковский, Л.А.
Опубліковано: (2011)
Импактные структуры в морях и океанах
за авторством: Гуров, Е.П.
Опубліковано: (2016)
за авторством: Гуров, Е.П.
Опубліковано: (2016)
Магнитосопротивление наноуглеродных материалов на основе углеродных нанотрубок
за авторством: Лень, Т.А., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Лень, Т.А., та інші
Опубліковано: (2011)
Получение поверхностно-барьерных структур на основе четырехкомпонентных твердых растворов А4В6
за авторством: Tkachuk, A. I., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Tkachuk, A. I., та інші
Опубліковано: (2007)
Влияние температуры обработки на структурные и оптические свойства наноструктурированных ZnO:Al-плёнок, формируемых золь–гель-методом
за авторством: Сидский, В.В., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Сидский, В.В., та інші
Опубліковано: (2014)
Усиление наноструктурированной поверхностью серебра инфракрасного поглощения низкотемпературных тонких пленок урацила
за авторством: Иванов, А.Ю., та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: Иванов, А.Ю., та інші
Опубліковано: (2016)
Характеристики фотодиодов со структурой «собственный оксид – InSe», облученных высокоэнергетическими электронами
за авторством: Sydor, O. N., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Sydor, O. N., та інші
Опубліковано: (2012)
Гетеропереходы, сформированные отжигом слоистых кристаллов GaSe и InSe в парах цинка
за авторством: Kudrynskyi, Z. R., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Kudrynskyi, Z. R., та інші
Опубліковано: (2012)
Формирование нанопленок Cu, Ag, Au под воздействием атомов водорода
за авторством: Zhavzharov, E. L., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Zhavzharov, E. L., та інші
Опубліковано: (2015)
Формирование наноструктурированных пленок иридия и поликластерного алмаза
за авторством: Белянин, А.Ф., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Белянин, А.Ф., та інші
Опубліковано: (2007)
Fractional ac Josephson effect in unconventional superconductors
за авторством: Hyok-Jon Kwon, та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Hyok-Jon Kwon, та інші
Опубліковано: (2004)
Effect of step-edge on spectral properties and planar stability of metallic bigraphene
за авторством: Eremenko, V.V., та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: Eremenko, V.V., та інші
Опубліковано: (2016)
Матричный синтез и структурно-сорбционные свойства пористых полимерных материалов
за авторством: Опанасенко, М.В.
Опубліковано: (2008)
за авторством: Опанасенко, М.В.
Опубліковано: (2008)
Формованные наноматериалы на основе активных углей из отходов полиэтилентерефталата
за авторством: Сыч, Н.В., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Сыч, Н.В., та інші
Опубліковано: (2008)
Влияние упругих деформаций на локальные токовые характеристики отдельных нанокластеров Ge на Si, исследованных методом проводящей атомно-силовой микроскопии
за авторством: Рубежанская, М.Ю.
Опубліковано: (2012)
за авторством: Рубежанская, М.Ю.
Опубліковано: (2012)
The spatial separation of electron-hole pairs in Si/Ge heterostructures
за авторством: Lysenko, V.S., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Lysenko, V.S., та інші
Опубліковано: (2015)
Влияние механохимического активирования на сорбционные свойства природных минералов
за авторством: Псарева, Т.С., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Псарева, Т.С., та інші
Опубліковано: (2008)
Магнитные свойства наночастиц Fе3O4, полученных жидко- и твердофазным синтезом
за авторством: Горбик, П.П., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Горбик, П.П., та інші
Опубліковано: (2009)
Структура та магнітні властивості нанокомпозитів магнетит/діоксид кремнію
за авторством: Семко, Л.С., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Семко, Л.С., та інші
Опубліковано: (2008)
Інкапсулювання наночастинок AgI кремнеземом
за авторством: Мудрак, І.М., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Мудрак, І.М., та інші
Опубліковано: (2009)
Створення та фізико-хімічні властивості композитних систем «мезопориста неорганічна матриця/оксид цинку»
за авторством: Кишеня, Я.В., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Кишеня, Я.В., та інші
Опубліковано: (2009)
Влияние магнитного поля на сенсорные характеристики композиционных материалов на основе нанокристаллического никеля
за авторством: Семко, Л.С., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Семко, Л.С., та інші
Опубліковано: (2008)
Схожі ресурси
-
Ненакаливаемые катоды на основе углеродных наноструктурированных слоистых структур
за авторством: Belyanin, A. F., та інші
Опубліковано: (2013) -
Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике
за авторством: Belyanin, A. F., та інші
Опубліковано: (2005) -
Формирование наноструктурированных пленок иридия и поликластерного алмаза
за авторством: Belyanin, A. F., та інші
Опубліковано: (2007) -
Получение наноструктурированных пленок AlN и ZnO и их применение в электронной технике
за авторством: Белянин, А.Ф., та інші
Опубліковано: (2005) -
Наноструктурированные пленки ZnO для устройств микроэлектроники и оптики
за авторством: Belyanin, A. F., та інші
Опубліковано: (2006)