Нанесение тонких пленок в вакууме на подложки из синтетического опала
The influence of thermal evaporation, ion-plasma magnetron sputtering, and ion-beam deposition methods of thin films on the surface characteristics of photonic crystals is examined. Schemes of thin film formation processes on opal matrices and designs of technological equipment are presented. The re...
Збережено в:
| Дата: | 2005 |
|---|---|
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Українська |
| Опубліковано: |
PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
2005
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2005.2.49 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Technology and design in electronic equipment |
Репозитарії
Technology and design in electronic equipment| _version_ | 1863855188939374592 |
|---|---|
| author | Panfilov, Yu. V. Samoylovich, M. I. Bulygina, E. V. |
| author_facet | Panfilov, Yu. V. Samoylovich, M. I. Bulygina, E. V. |
| author_sort | Panfilov, Yu. V. |
| baseUrl_str | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/oai |
| collection | OJS |
| datestamp_date | 2026-04-29T15:52:35Z |
| description | The influence of thermal evaporation, ion-plasma magnetron sputtering, and ion-beam deposition methods of thin films on the surface characteristics of photonic crystals is examined. Schemes of thin film formation processes on opal matrices and designs of technological equipment are presented. The results of electrical resistance measurements of the films and surface topography characteristics of photonic crystal samples obtained using an atomic force microscope are provided. |
| first_indexed | 2026-04-30T01:00:23Z |
| format | Article |
| id | oai:tkea.com.ua:article-1072 |
| institution | Technology and design in electronic equipment |
| keywords_txt_mv | keywords |
| language | Ukrainian |
| last_indexed | 2026-04-30T01:00:23Z |
| publishDate | 2005 |
| publisher | PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers |
| record_format | ojs |
| spelling | oai:tkea.com.ua:article-10722026-04-29T15:52:35Z Deposition of thin films in vacuum on synthetic opal substrates Нанесение тонких пленок в вакууме на подложки из синтетического опала Panfilov, Yu. V. Samoylovich, M. I. Bulygina, E. V. thin films photonic crystal opal matrix thermal evaporation ion-plasma sputtering ion-beam deposition тонкие пленки фотонный кристалл опаловая матрица термическое испарение ионно-плазменное распыление ионно-лучевое осаждение The influence of thermal evaporation, ion-plasma magnetron sputtering, and ion-beam deposition methods of thin films on the surface characteristics of photonic crystals is examined. Schemes of thin film formation processes on opal matrices and designs of technological equipment are presented. The results of electrical resistance measurements of the films and surface topography characteristics of photonic crystal samples obtained using an atomic force microscope are provided. Рассмотрено влияние методов термического испарения, ионно-плазменного магнетронного распыления и осаждения тонких пленок из ионного пучка на характеристики поверхности фотонных кристаллов. Приведены схемы процессов формирования тонких пленок на опаловых матрицах и конструкции технологической оснастки. Представлены результаты измерения электрического сопротивления пленок и характеристики топографии поверхности образцов фотонных кристаллов, полученные с помощью атомно-силового микроскопа. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2005-04-29 Article Article Peer-reviewed Article application/pdf https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2005.2.49 Technology and design in electronic equipment; No. 2 (2005): Tekhnologiya i konstruirovanie v elektronnoi apparature; 49-52 Технологія та конструювання в електронній апаратурі; № 2 (2005): Технология и конструирование в электронной аппаратуре; 49-52 3083-6549 3083-6530 uk https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2005.2.49/978 Copyright (c) 2005 Panfilov Yu. V., Samoylovich M. I., Bulygina E. V. http://creativecommons.org/licenses/by/4.0/ |
| spellingShingle | тонкие пленки фотонный кристалл опаловая матрица термическое испарение ионно-плазменное распыление ионно-лучевое осаждение Panfilov, Yu. V. Samoylovich, M. I. Bulygina, E. V. Нанесение тонких пленок в вакууме на подложки из синтетического опала |
| title | Нанесение тонких пленок в вакууме на подложки из синтетического опала |
| title_alt | Deposition of thin films in vacuum on synthetic opal substrates |
| title_full | Нанесение тонких пленок в вакууме на подложки из синтетического опала |
| title_fullStr | Нанесение тонких пленок в вакууме на подложки из синтетического опала |
| title_full_unstemmed | Нанесение тонких пленок в вакууме на подложки из синтетического опала |
| title_short | Нанесение тонких пленок в вакууме на подложки из синтетического опала |
| title_sort | нанесение тонких пленок в вакууме на подложки из синтетического опала |
| topic | тонкие пленки фотонный кристалл опаловая матрица термическое испарение ионно-плазменное распыление ионно-лучевое осаждение |
| topic_facet | thin films photonic crystal opal matrix thermal evaporation ion-plasma sputtering ion-beam deposition тонкие пленки фотонный кристалл опаловая матрица термическое испарение ионно-плазменное распыление ионно-лучевое осаждение |
| url | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2005.2.49 |
| work_keys_str_mv | AT panfilovyuv depositionofthinfilmsinvacuumonsyntheticopalsubstrates AT samoylovichmi depositionofthinfilmsinvacuumonsyntheticopalsubstrates AT bulyginaev depositionofthinfilmsinvacuumonsyntheticopalsubstrates AT panfilovyuv nanesenietonkihplenokvvakuumenapodložkiizsintetičeskogoopala AT samoylovichmi nanesenietonkihplenokvvakuumenapodložkiizsintetičeskogoopala AT bulyginaev nanesenietonkihplenokvvakuumenapodložkiizsintetičeskogoopala |