Нанесение тонких пленок в вакууме на подложки из синтетического опала

• Date: 2005
• Main Authors: Panfilov, Yu. V., Samoylovich, M. I., Bulygina, E. V.
• Format: Article
• Language: Ukrainian
• Published: PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2005
• Subjects: тонкие пленки; фотонный кристалл; опаловая матрица; термическое испарение; ионно-плазменное распыление; ионно-лучевое осаждение
• Online Access: https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2005.2.49
• Journal Title: Technology and design in electronic equipment

The influence of thermal evaporation, ion-plasma magnetron sputtering, and ion-beam deposition methods of thin films on the surface characteristics of photonic crystals is examined. Schemes of thin film formation processes on opal matrices and designs of technological equipment are presented. The re...