Нанесение тонких пленок в вакууме на подложки из синтетического опала

• Дата: 2005
• Автори: Panfilov, Yu. V., Samoylovich, M. I., Bulygina, E. V.
• Формат: Стаття
• Мова: Українська
• Опубліковано: PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2005
• Теми: тонкие пленки; фотонный кристалл; опаловая матрица; термическое испарение; ионно-плазменное распыление; ионно-лучевое осаждение
• Онлайн доступ: https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2005.2.49
• Назва журналу: Technology and design in electronic equipment

The influence of thermal evaporation, ion-plasma magnetron sputtering, and ion-beam deposition methods of thin films on the surface characteristics of photonic crystals is examined. Schemes of thin film formation processes on opal matrices and designs of technological equipment are presented. The re...