Лазерное текстурирование поверхности предварительно нагретого монокристалла кремния
A method of laser engraving based on effective modification of the crystal lattice during the formation of a textured silicon crystal surface has been implemented. It is shown that for burning silicon at the phase transition, a laser with pulse power much lower than that required in the solid phas...
Збережено в:
| Дата: | 2005 |
|---|---|
| Автор: | |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Українська |
| Опубліковано: |
PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
2005
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2005.2.53 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Technology and design in electronic equipment |
Репозитарії
Technology and design in electronic equipment| _version_ | 1863855188930985984 |
|---|---|
| author | Krapivko, H. I. |
| author_facet | Krapivko, H. I. |
| author_sort | Krapivko, H. I. |
| baseUrl_str | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/oai |
| collection | OJS |
| datestamp_date | 2026-04-29T15:52:35Z |
| description |
A method of laser engraving based on effective modification of the crystal lattice during the formation of a textured silicon crystal surface has been implemented. It is shown that for burning silicon at the phase transition, a laser with pulse power much lower than that required in the solid phase is sufficient.
|
| first_indexed | 2026-04-30T01:00:23Z |
| format | Article |
| id | oai:tkea.com.ua:article-1073 |
| institution | Technology and design in electronic equipment |
| keywords_txt_mv | keywords |
| language | Ukrainian |
| last_indexed | 2026-04-30T01:00:23Z |
| publishDate | 2005 |
| publisher | PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers |
| record_format | ojs |
| spelling | oai:tkea.com.ua:article-10732026-04-29T15:52:35Z Laser texturing of the surface of a preheated silicon single crystal Лазерное текстурирование поверхности предварительно нагретого монокристалла кремния Krapivko, H. I. laser treatment silicon surface texturing лазерное воздействие кремний текстурирование поверхности A method of laser engraving based on effective modification of the crystal lattice during the formation of a textured silicon crystal surface has been implemented. It is shown that for burning silicon at the phase transition, a laser with pulse power much lower than that required in the solid phase is sufficient. Осуществлен метод лазерной гравировки, основанный на эффективном изменении кристаллической решетки при формировании текстурированной поверхности кристалла кремния. Показано, что для прожигания кремния на переходе фаз необходим лазер с импульсной мощностью намного меньшей, чем в твердой фазе. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2005-04-29 Article Article Peer-reviewed Article application/pdf https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2005.2.53 Technology and design in electronic equipment; No. 2 (2005): Tekhnologiya i konstruirovanie v elektronnoi apparature; 53-55 Технологія та конструювання в електронній апаратурі; № 2 (2005): Технология и конструирование в электронной аппаратуре; 53-55 3083-6549 3083-6530 uk https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2005.2.53/979 Copyright (c) 2005 Krapivko H. I. http://creativecommons.org/licenses/by/4.0/ |
| spellingShingle | лазерное воздействие кремний текстурирование поверхности Krapivko, H. I. Лазерное текстурирование поверхности предварительно нагретого монокристалла кремния |
| title | Лазерное текстурирование поверхности предварительно нагретого монокристалла кремния |
| title_alt | Laser texturing of the surface of a preheated silicon single crystal |
| title_full | Лазерное текстурирование поверхности предварительно нагретого монокристалла кремния |
| title_fullStr | Лазерное текстурирование поверхности предварительно нагретого монокристалла кремния |
| title_full_unstemmed | Лазерное текстурирование поверхности предварительно нагретого монокристалла кремния |
| title_short | Лазерное текстурирование поверхности предварительно нагретого монокристалла кремния |
| title_sort | лазерное текстурирование поверхности предварительно нагретого монокристалла кремния |
| topic | лазерное воздействие кремний текстурирование поверхности |
| topic_facet | laser treatment silicon surface texturing лазерное воздействие кремний текстурирование поверхности |
| url | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2005.2.53 |
| work_keys_str_mv | AT krapivkohi lasertexturingofthesurfaceofapreheatedsiliconsinglecrystal AT krapivkohi lazernoeteksturirovaniepoverhnostipredvaritelʹnonagretogomonokristallakremniâ |