Лазерное текстурирование поверхности предварительно нагретого монокристалла кремния
A method of laser engraving based on effective modification of the crystal lattice during the formation of a textured silicon crystal surface has been implemented. It is shown that for burning silicon at the phase transition, a laser with pulse power much lower than that required in the solid phas...
Збережено в:
| Дата: | 2005 |
|---|---|
| Автор: | |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Українська |
| Опубліковано: |
PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
2005
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2005.2.53 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Technology and design in electronic equipment |