Перспективы развития тонкопленочных микросборок
Based on the analysis of certain structural and technological options, the prospects for increasing the integration of thin-film microassemblies with substrates made of sitall, polycor, sapphire, and silicon are considered. The technology for manufacturing chromium resistors on silicon is described....
Gespeichert in:
| Datum: | 2005 |
|---|---|
| 1. Verfasser: | Spirin, V. G. |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Ukrainisch |
| Veröffentlicht: |
PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
2005
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2005.1.03 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Technology and design in electronic equipment |
Institution
Technology and design in electronic equipmentÄhnliche Einträge
Микросборка на кремниевой плате для акселерометра
von: Spirin, V. G.
Veröffentlicht: (2013)
von: Spirin, V. G.
Veröffentlicht: (2013)
Метод проектирования топологии тонкопленочной микросборки с размерами пленочных элементов 10–50 мкм
von: Spirin, V. G.
Veröffentlicht: (2004)
von: Spirin, V. G.
Veröffentlicht: (2004)
Перспективы развития тонкопленочных микросборок
von: Спирин, В.Г.
Veröffentlicht: (2005)
von: Спирин, В.Г.
Veröffentlicht: (2005)
Монтаж микросборок с подложкой из кремния
von: Spirin, V. G.
Veröffentlicht: (2005)
von: Spirin, V. G.
Veröffentlicht: (2005)
Повышение надежности контакта тонкопленочных резисторов
von: Lugin, A. N., et al.
Veröffentlicht: (2010)
von: Lugin, A. N., et al.
Veröffentlicht: (2010)
Конструкторско-технологические варианты коммутационных плат с подложкой из кремния
von: Spirin, V. G.
Veröffentlicht: (2005)
von: Spirin, V. G.
Veröffentlicht: (2005)
Методы и механизмы геттерирования кремниевых структур в производстве интегральных микросхем
von: Pilipenko, V. A., et al.
Veröffentlicht: (2013)
von: Pilipenko, V. A., et al.
Veröffentlicht: (2013)
Многоуровневые платы с толстопленочной полимерной изоляцией
von: Spirin, V. G.
Veröffentlicht: (2012)
von: Spirin, V. G.
Veröffentlicht: (2012)
Устройства для контроля качества сварных соединений выводов бескорпусных микросхем
von: Spirin, V. G.
Veröffentlicht: (2013)
von: Spirin, V. G.
Veröffentlicht: (2013)
Метод компоновки плат микросборки
von: Spirin, V. G.
Veröffentlicht: (2004)
von: Spirin, V. G.
Veröffentlicht: (2004)
Оценка производственных погрешностей тонкопленочных элементов
von: Spirin, V. G.
Veröffentlicht: (2004)
von: Spirin, V. G.
Veröffentlicht: (2004)
Использование пакета программ Touchstone и Academy фирмы EEsof при проектировании элементов и устройств СВЧ и КВЧ
von: Лейбман, А.М.
Veröffentlicht: (1998)
von: Лейбман, А.М.
Veröffentlicht: (1998)
Использование КНИ-транзистора в качестве генератора колебаний напряжения
von: Ninidze, G. K., et al.
Veröffentlicht: (2005)
von: Ninidze, G. K., et al.
Veröffentlicht: (2005)
Компенсация систематических погрешностей тонкопленочных элементов через элементы фотошаблона
von: Spirin, V. G.
Veröffentlicht: (2004)
von: Spirin, V. G.
Veröffentlicht: (2004)
Влияние исходных дефектов на распределение механических напряжений и деформаций при окислении кремния
von: Kulinich, O. A., et al.
Veröffentlicht: (2008)
von: Kulinich, O. A., et al.
Veröffentlicht: (2008)
Влияние слоя поликристаллического кремния на механизмы токопереноса в контактах «металл — p-кремний»
von: Smyntyna, V. A., et al.
Veröffentlicht: (2011)
von: Smyntyna, V. A., et al.
Veröffentlicht: (2011)
Монтаж микросборок с подложкой из кремния
von: Спирин, В.Г.
Veröffentlicht: (2005)
von: Спирин, В.Г.
Veröffentlicht: (2005)
Повышение эффективности силового размещения компонентов
von: Dmitriev, P. I., et al.
Veröffentlicht: (2004)
von: Dmitriev, P. I., et al.
Veröffentlicht: (2004)
Повышение эффективности кремниевых солнечных элементов посредством нанопористого покрытия
von: Dzhafarov, T. D., et al.
Veröffentlicht: (2012)
von: Dzhafarov, T. D., et al.
Veröffentlicht: (2012)
Психофизиология работников транспорта: перспективы развития
von: Шафран, Л.М., et al.
Veröffentlicht: (2008)
von: Шафран, Л.М., et al.
Veröffentlicht: (2008)
Исследование влияния электронного облучения на кремниевые тензорезисторы
von: Druzhinin, A. A., et al.
Veröffentlicht: (2010)
von: Druzhinin, A. A., et al.
Veröffentlicht: (2010)
Влияние параметров ВЧ-разряда и параметров нагревателя на температуру подложки в плазмохимическом реакторе «Алмаз» для синтеза углеродных алмазоподобных пленок
von: Hladkovskiy, V. V., et al.
Veröffentlicht: (2014)
von: Hladkovskiy, V. V., et al.
Veröffentlicht: (2014)
Роль пластической деформации в получении нанокремния
von: Smyntyna, V. A., et al.
Veröffentlicht: (2011)
von: Smyntyna, V. A., et al.
Veröffentlicht: (2011)
Детекторы оптического сигнала на основе структур Au-nSi-Al, Au-nSi
von: Yodgorova, D. M., et al.
Veröffentlicht: (2005)
von: Yodgorova, D. M., et al.
Veröffentlicht: (2005)
Cвязь параметров спектральной плотности фликкер-шума с особенностями внутренней структуры системы
von: Kolodiy, Z. A., et al.
Veröffentlicht: (2009)
von: Kolodiy, Z. A., et al.
Veröffentlicht: (2009)
Предэпитаксиальная обработка подложек GaSb для жидкофазного выращивания гомоэпитаксиальных слоев
von: Andronova, О. V., et al.
Veröffentlicht: (2008)
von: Andronova, О. V., et al.
Veröffentlicht: (2008)
ПРОГНОЗУВАННЯ ЩІЛЬНОСТІ УПАКОВКИ БІНАРНОЇ СУМІШІ ПОЛІДИСПЕРСНИХ ПОРОШКІВ ТУГОПЛАВКИХ СПОЛУК
von: Кущ, Володимир, et al.
Veröffentlicht: (2025)
von: Кущ, Володимир, et al.
Veröffentlicht: (2025)
Массоперенос при жидкофазной эпитаксии двухслойных систем
von: Dranchuk, S. M., et al.
Veröffentlicht: (2012)
von: Dranchuk, S. M., et al.
Veröffentlicht: (2012)
Тепловой режим радиоэлектронного блока с изотермической подложкой и регулируемой температурой
von: Baturkin, V. M.
Veröffentlicht: (2004)
von: Baturkin, V. M.
Veröffentlicht: (2004)
Формирование МОП-транзисторов с изоляцией активных элементов окисленным пористым кремнием
von: Novosyadlyi, S. P., et al.
Veröffentlicht: (2009)
von: Novosyadlyi, S. P., et al.
Veröffentlicht: (2009)
Лазерное текстурирование поверхности предварительно нагретого монокристалла кремния
von: Krapivko, H. I.
Veröffentlicht: (2005)
von: Krapivko, H. I.
Veröffentlicht: (2005)
Получение пригодного для сенсорики пористого кремния методом неэлектролитического травления MacEtch
von: Iatsunskyi, I. R.
Veröffentlicht: (2013)
von: Iatsunskyi, I. R.
Veröffentlicht: (2013)
Получение полуизолирующего кремния для высоковольтных приборов
von: Turtsevich, A. S.
Veröffentlicht: (2008)
von: Turtsevich, A. S.
Veröffentlicht: (2008)
Система измерения магнитного поля и температуры с цифровой обработкой сигнала
von: Druzhinin, A. A., et al.
Veröffentlicht: (2013)
von: Druzhinin, A. A., et al.
Veröffentlicht: (2013)
Двухфункциональный датчик давления-температуры на основе нитевидных кристаллов кремния
von: Druzhinin, A. A., et al.
Veröffentlicht: (2013)
von: Druzhinin, A. A., et al.
Veröffentlicht: (2013)
Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста
von: Nalivaiko, O. Yu., et al.
Veröffentlicht: (2009)
von: Nalivaiko, O. Yu., et al.
Veröffentlicht: (2009)
Высокотемпературные датчики давления с тензорезисторами на основе нитевидных кристаллов кремния
von: Druzhinin, A. A., et al.
Veröffentlicht: (2012)
von: Druzhinin, A. A., et al.
Veröffentlicht: (2012)
Электрическое сопротивление контакта тонкопленочных резисторов
von: Lougin, A. N., et al.
Veröffentlicht: (2006)
von: Lougin, A. N., et al.
Veröffentlicht: (2006)
Электрическое сопротивление контакта тонкопленочных резисторов
von: Лугин, А.Н., et al.
Veröffentlicht: (2006)
von: Лугин, А.Н., et al.
Veröffentlicht: (2006)
Повышение надежности контакта тонкопленочных резисторов
von: Лугин, А.Н., et al.
Veröffentlicht: (2010)
von: Лугин, А.Н., et al.
Veröffentlicht: (2010)
Ähnliche Einträge
-
Микросборка на кремниевой плате для акселерометра
von: Spirin, V. G.
Veröffentlicht: (2013) -
Метод проектирования топологии тонкопленочной микросборки с размерами пленочных элементов 10–50 мкм
von: Spirin, V. G.
Veröffentlicht: (2004) -
Перспективы развития тонкопленочных микросборок
von: Спирин, В.Г.
Veröffentlicht: (2005) -
Монтаж микросборок с подложкой из кремния
von: Spirin, V. G.
Veröffentlicht: (2005) -
Повышение надежности контакта тонкопленочных резисторов
von: Lugin, A. N., et al.
Veröffentlicht: (2010)