Перспективы развития тонкопленочных микросборок
Based on the analysis of certain structural and technological options, the prospects for increasing the integration of thin-film microassemblies with substrates made of sitall, polycor, sapphire, and silicon are considered. The technology for manufacturing chromium resistors on silicon is described....
Збережено в:
| Дата: | 2005 |
|---|---|
| Автор: | |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Українська |
| Опубліковано: |
PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
2005
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2005.1.03 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Technology and design in electronic equipment |
Репозитарії
Technology and design in electronic equipmentСхожі ресурси
Микросборка на кремниевой плате для акселерометра
за авторством: Spirin, V. G.
Опубліковано: (2013)
за авторством: Spirin, V. G.
Опубліковано: (2013)
Перспективы развития тонкопленочных микросборок
за авторством: Спирин, В.Г.
Опубліковано: (2005)
за авторством: Спирин, В.Г.
Опубліковано: (2005)
Монтаж микросборок с подложкой из кремния
за авторством: Spirin, V. G.
Опубліковано: (2005)
за авторством: Spirin, V. G.
Опубліковано: (2005)
Повышение надежности контакта тонкопленочных резисторов
за авторством: Lugin, A. N., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Lugin, A. N., та інші
Опубліковано: (2010)
Конструкторско-технологические варианты коммутационных плат с подложкой из кремния
за авторством: Spirin, V. G.
Опубліковано: (2005)
за авторством: Spirin, V. G.
Опубліковано: (2005)
Многоуровневые платы с толстопленочной полимерной изоляцией
за авторством: Spirin, V. G.
Опубліковано: (2012)
за авторством: Spirin, V. G.
Опубліковано: (2012)
Методы и механизмы геттерирования кремниевых структур в производстве интегральных микросхем
за авторством: Pilipenko, V. A., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Pilipenko, V. A., та інші
Опубліковано: (2013)
Устройства для контроля качества сварных соединений выводов бескорпусных микросхем
за авторством: Spirin, V. G.
Опубліковано: (2013)
за авторством: Spirin, V. G.
Опубліковано: (2013)
Использование пакета программ Touchstone и Academy фирмы EEsof при проектировании элементов и устройств СВЧ и КВЧ
за авторством: Лейбман, А.М.
Опубліковано: (1998)
за авторством: Лейбман, А.М.
Опубліковано: (1998)
Использование КНИ-транзистора в качестве генератора колебаний напряжения
за авторством: Ninidze, G. K., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Ninidze, G. K., та інші
Опубліковано: (2005)
Влияние исходных дефектов на распределение механических напряжений и деформаций при окислении кремния
за авторством: Kulinich, O. A., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Kulinich, O. A., та інші
Опубліковано: (2008)
Монтаж микросборок с подложкой из кремния
за авторством: Спирин, В.Г.
Опубліковано: (2005)
за авторством: Спирин, В.Г.
Опубліковано: (2005)
Влияние слоя поликристаллического кремния на механизмы токопереноса в контактах «металл — p-кремний»
за авторством: Smyntyna, V. A., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Smyntyna, V. A., та інші
Опубліковано: (2011)
Повышение эффективности кремниевых солнечных элементов посредством нанопористого покрытия
за авторством: Dzhafarov, T. D., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Dzhafarov, T. D., та інші
Опубліковано: (2012)
Влияние параметров ВЧ-разряда и параметров нагревателя на температуру подложки в плазмохимическом реакторе «Алмаз» для синтеза углеродных алмазоподобных пленок
за авторством: Hladkovskiy, V. V., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Hladkovskiy, V. V., та інші
Опубліковано: (2014)
Психофизиология работников транспорта: перспективы развития
за авторством: Шафран, Л.М., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Шафран, Л.М., та інші
Опубліковано: (2008)
Исследование влияния электронного облучения на кремниевые тензорезисторы
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2010)
Роль пластической деформации в получении нанокремния
за авторством: Smyntyna, V. A., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Smyntyna, V. A., та інші
Опубліковано: (2011)
Cвязь параметров спектральной плотности фликкер-шума с особенностями внутренней структуры системы
за авторством: Kolodiy, Z. A., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Kolodiy, Z. A., та інші
Опубліковано: (2009)
Детекторы оптического сигнала на основе структур Au-nSi-Al, Au-nSi
за авторством: Yodgorova, D. M., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Yodgorova, D. M., та інші
Опубліковано: (2005)
Предэпитаксиальная обработка подложек GaSb для жидкофазного выращивания гомоэпитаксиальных слоев
за авторством: Andronova, О. V., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Andronova, О. V., та інші
Опубліковано: (2008)
Массоперенос при жидкофазной эпитаксии двухслойных систем
за авторством: Dranchuk, S. M., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Dranchuk, S. M., та інші
Опубліковано: (2012)
ПРОГНОЗУВАННЯ ЩІЛЬНОСТІ УПАКОВКИ БІНАРНОЇ СУМІШІ ПОЛІДИСПЕРСНИХ ПОРОШКІВ ТУГОПЛАВКИХ СПОЛУК
за авторством: Кущ, Володимир, та інші
Опубліковано: (2025)
за авторством: Кущ, Володимир, та інші
Опубліковано: (2025)
Формирование МОП-транзисторов с изоляцией активных элементов окисленным пористым кремнием
за авторством: Novosyadlyi, S. P., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Novosyadlyi, S. P., та інші
Опубліковано: (2009)
Лазерное текстурирование поверхности предварительно нагретого монокристалла кремния
за авторством: Krapivko, H. I.
Опубліковано: (2005)
за авторством: Krapivko, H. I.
Опубліковано: (2005)
Получение пригодного для сенсорики пористого кремния методом неэлектролитического травления MacEtch
за авторством: Iatsunskyi, I. R.
Опубліковано: (2013)
за авторством: Iatsunskyi, I. R.
Опубліковано: (2013)
Получение полуизолирующего кремния для высоковольтных приборов
за авторством: Turtsevich, A. S.
Опубліковано: (2008)
за авторством: Turtsevich, A. S.
Опубліковано: (2008)
Электрическое сопротивление контакта тонкопленочных резисторов
за авторством: Lougin, A. N., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Lougin, A. N., та інші
Опубліковано: (2006)
Электрическое сопротивление контакта тонкопленочных резисторов
за авторством: Лугин, А.Н., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Лугин, А.Н., та інші
Опубліковано: (2006)
Повышение надежности контакта тонкопленочных резисторов
за авторством: Лугин, А.Н., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Лугин, А.Н., та інші
Опубліковано: (2010)
Оценка производственных погрешностей тонкопленочных элементов
за авторством: Спирин, В.Г.
Опубліковано: (2004)
за авторством: Спирин, В.Г.
Опубліковано: (2004)
Система измерения магнитного поля и температуры с цифровой обработкой сигнала
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2013)
Двухфункциональный датчик давления-температуры на основе нитевидных кристаллов кремния
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2013)
Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста
за авторством: Nalivaiko, O. Yu., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Nalivaiko, O. Yu., та інші
Опубліковано: (2009)
Высокотемпературные датчики давления с тензорезисторами на основе нитевидных кристаллов кремния
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2012)
Віртуальна бібліотека – елемент інтелектуальної системи для координації наукових досліджень
за авторством: Даревич, Р.Р., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Даревич, Р.Р., та інші
Опубліковано: (2009)
Эффективность и масштабируемость параллельных одношаговых блочных методов решения задачи Коши
за авторством: Фельдман, Л.П., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Фельдман, Л.П., та інші
Опубліковано: (2009)
Фотоэлектрические цифровые преобразователи перемещений шкально-матричного кодирования
за авторством: Габидулин, М.А.
Опубліковано: (2009)
за авторством: Габидулин, М.А.
Опубліковано: (2009)
Основные этапы диагностирования при участии удаленных консультантов
за авторством: Комлевая, Н.О., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Комлевая, Н.О., та інші
Опубліковано: (2009)
Расчет вектор-функции дохода и расхода для большемасштабных распределенных вычислительных систем
за авторством: Хорошевский, В.Г., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Хорошевский, В.Г., та інші
Опубліковано: (2009)