Перспективы развития тонкопленочных микросборок
Based on the analysis of certain structural and technological options, the prospects for increasing the integration of thin-film microassemblies with substrates made of sitall, polycor, sapphire, and silicon are considered. The technology for manufacturing chromium resistors on silicon is described....
Збережено в:
| Дата: | 2005 |
|---|---|
| Автор: | |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Українська |
| Опубліковано: |
PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
2005
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2005.1.03 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Technology and design in electronic equipment |