Исследование пленок поликристаллического кремния для применения в фильтровых спектральных приборах

• Date: 2005
• Main Author: Javadov, N. G.
• Format: Article
• Language: Ukrainian
• Published: PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2005
• Subjects: спектральные фильтровые приборы; озонометр; фоторезистор; пленка поликристаллического кремния; размер зерна; фоточувствительность
• Online Access: https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2005.1.40
• Journal Title: Technology and design in electronic equipment

Предложено использовать мелкозернистые пленки поли­кристаллического кремния в качестве отсекающих фоторезисторов, спектральный диапазон пропускания которых можно регулировать размером зерен. Использование пленок поликристаллического кремния вместо монохроматических фильтров на основе стекла позволяет упростить конструкцию фильтровых спектральных приборов для дистанционного измерения малых газовых составляющих атмосферы.