Исследование пленок поликристаллического кремния для применения в фильтровых спектральных приборах
Предложено использовать мелкозернистые пленки поликристаллического кремния в качестве отсекающих фоторезисторов, спектральный диапазон пропускания которых можно регулировать размером зерен. Использование пленок поликристаллического кремния вместо монохроматических фильтров на основе стекла позволяе...
Збережено в:
| Дата: | 2005 |
|---|---|
| Автор: | |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Українська |
| Опубліковано: |
PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
2005
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2005.1.40 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Technology and design in electronic equipment |
Репозитарії
Technology and design in electronic equipment| _version_ | 1864036381404168192 |
|---|---|
| author | Javadov, N. G. |
| author_facet | Javadov, N. G. |
| author_sort | Javadov, N. G. |
| baseUrl_str | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/oai |
| collection | OJS |
| datestamp_date | 2026-05-01T07:01:58Z |
| description | Предложено использовать мелкозернистые пленки поликристаллического кремния в качестве отсекающих фоторезисторов, спектральный диапазон пропускания которых можно регулировать размером зерен. Использование пленок поликристаллического кремния вместо монохроматических фильтров на основе стекла позволяет упростить конструкцию фильтровых спектральных приборов для дистанционного измерения малых газовых составляющих атмосферы. |
| first_indexed | 2026-05-02T01:00:21Z |
| format | Article |
| id | oai:tkea.com.ua:article-1088 |
| institution | Technology and design in electronic equipment |
| keywords_txt_mv | keywords |
| language | Ukrainian |
| last_indexed | 2026-05-02T01:00:21Z |
| publishDate | 2005 |
| publisher | PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers |
| record_format | ojs |
| spelling | oai:tkea.com.ua:article-10882026-05-01T07:01:58Z Study of polycrystalline silicon films for application in spectral filter devices Исследование пленок поликристаллического кремния для применения в фильтровых спектральных приборах Javadov, N. G. spectral filter devices ozonometer photoresistor polycrystalline silicon film grain size photosensitivity спектральные фильтровые приборы озонометр фоторезистор пленка поликристаллического кремния размер зерна фоточувствительность Предложено использовать мелкозернистые пленки поликристаллического кремния в качестве отсекающих фоторезисторов, спектральный диапазон пропускания которых можно регулировать размером зерен. Использование пленок поликристаллического кремния вместо монохроматических фильтров на основе стекла позволяет упростить конструкцию фильтровых спектральных приборов для дистанционного измерения малых газовых составляющих атмосферы. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2005-02-28 Article Article Peer-reviewed Article application/pdf https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2005.1.40 Technology and design in electronic equipment; No. 1 (2005): Tekhnologiya i konstruirovanie v elektronnoi apparature; 40-41 Технологія та конструювання в електронній апаратурі; № 1 (2005): Технология и конструирование в электронной аппаратуре; 40-41 3083-6549 3083-6530 uk https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2005.1.40/993 Copyright (c) 2005 Javadov N. G. http://creativecommons.org/licenses/by/4.0/ |
| spellingShingle | спектральные фильтровые приборы озонометр фоторезистор пленка поликристаллического кремния размер зерна фоточувствительность Javadov, N. G. Исследование пленок поликристаллического кремния для применения в фильтровых спектральных приборах |
| title | Исследование пленок поликристаллического кремния для применения в фильтровых спектральных приборах |
| title_alt | Study of polycrystalline silicon films for application in spectral filter devices |
| title_full | Исследование пленок поликристаллического кремния для применения в фильтровых спектральных приборах |
| title_fullStr | Исследование пленок поликристаллического кремния для применения в фильтровых спектральных приборах |
| title_full_unstemmed | Исследование пленок поликристаллического кремния для применения в фильтровых спектральных приборах |
| title_short | Исследование пленок поликристаллического кремния для применения в фильтровых спектральных приборах |
| title_sort | исследование пленок поликристаллического кремния для применения в фильтровых спектральных приборах |
| topic | спектральные фильтровые приборы озонометр фоторезистор пленка поликристаллического кремния размер зерна фоточувствительность |
| topic_facet | spectral filter devices ozonometer photoresistor polycrystalline silicon film grain size photosensitivity спектральные фильтровые приборы озонометр фоторезистор пленка поликристаллического кремния размер зерна фоточувствительность |
| url | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2005.1.40 |
| work_keys_str_mv | AT javadovng studyofpolycrystallinesiliconfilmsforapplicationinspectralfilterdevices AT javadovng issledovanieplenokpolikristalličeskogokremniâdlâprimeneniâvfilʹtrovyhspektralʹnyhpriborah |