Исследование пленок поликристаллического кремния для применения в фильтровых спектральных приборах

• Datum: 2005
• 1. Verfasser: Javadov, N. G.
• Format: Artikel
• Sprache: Ukrainisch
• Veröffentlicht: PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2005
• Schlagworte: спектральные фильтровые приборы; озонометр; фоторезистор; пленка поликристаллического кремния; размер зерна; фоточувствительность
• Online Zugang: https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2005.1.40
• Назва журналу: Technology and design in electronic equipment

Предложено использовать мелкозернистые пленки поли­кристаллического кремния в качестве отсекающих фоторезисторов, спектральный диапазон пропускания которых можно регулировать размером зерен. Использование пленок поликристаллического кремния вместо монохроматических фильтров на основе стекла позволяе...